Aosite, sukad 1993
Ang paggamit sa water immersion scanning mirrors sa ultrasound ug photoacoustic microscopy napamatud-an nga mapuslanon sa pag-scan sa mga naka-focus nga beam ug ultrasound beam. Aron madugangan pa ang proseso sa paghimo, usa ka bag-ong pamaagi ang naugmad nga nagtugot alang sa miniaturization ug mass production niini nga mga salamin. Usa ka 3D multiphysics finite element nga modelo gihimo usab aron tukma nga masundog ang electromechanical nga kinaiya sa mga salamin, pareho sa statically ug dinamikong paagi. Ang eksperimento nga mga pagsulay ug mga kinaiya malampuson nga nagpamatuod sa pag-scan sa performance sa water immersion scanning mirrors.
Niini nga pagtuon, usa ka micromachined two-axis water immersion scanning mirror gamit ang BoPET (biaxially oriented polyethylene terephthalate) Hinge ang gipaila. Ang proseso sa paghimo naglakip sa lawom nga pag-ukit sa plasma sa usa ka hybrid nga silicon-BoPET nga substrate, nga makapahimo sa taas nga resolusyon nga patterning ug kapasidad sa paghimo sa gidaghanon. Ang prototype nga salamin sa pag-scan nga gihimo gamit kini nga pamaagi nagsukod sa 5x5x5 mm^3, nga ikatandi sa tipikal nga silicon nga nakabase sa micro-scanning nga mga salamin. Ang gidak-on sa salamin nga plato mao ang 4x4 mm ^ 2, nga naghatag og mas dako nga aperture alang sa optical o acoustic beam steering.
Ang mga frequency sa resonance sa paspas ug hinay nga mga axes gisukod nga 420 Hz ug 190 Hz, matag usa, kung gipaandar sa hangin. Bisan pa, kung ituslob sa tubig, kini nga mga frequency mokunhod ngadto sa 330 Hz ug 160 Hz, matag usa. Ang mga anggulo sa pagkiling sa salamin nga nagsalamin magkalainlain sa mga sulog sa pagmaneho, nga nagpakita sa usa ka linear nga relasyon sa mga anggulo sa pagkiling hangtod sa ± 3.5 ° sa palibot sa paspas ug hinay nga mga wasay. Pinaagi sa dungan nga pagmaneho sa duha ka mga wasay, ang lig-on ug balik-balik nga mga pattern sa pag-scan sa raster mahimong makab-ot sa mga palibot sa hangin ug tubig.
Ang micromachined water immersion scanning nga mga salamin adunay dako nga potensyal alang sa usa ka halapad nga pag-scan sa optical ug acoustic microscopy nga mga aplikasyon, pareho sa hangin ug likido nga palibot. Kining bag-ong proseso sa paggama ug disenyo nagtanyag og episyente ug kasaligan nga mga solusyon, nga naghatag ug dalan alang sa mga pag-uswag sa mga teknolohiya sa imaging.
Sigurado, ania ang sampol nga FAQ alang sa "Micromachined Immersion Scanning Mirror Gamit ang BoPET Hinges":
1. Unsa ang usa ka micromachined immersion scanning mirror?
Ang micromachined immersion scanning mirror usa ka gamay nga himan nga gigamit sa pagdirekta ug pag-scan sa kahayag sa lainlaing mga aplikasyon sama sa laser scanning, medical imaging, ug mga teknolohiya sa pagpakita.
2. Unsa ang mga bisagra sa BoPET?
Ang mga bisagra sa BoPET (Biaxially-oriented polyethylene terephthalate) mga flexible, lig-on, ug gaan nga hinge nga mga materyales nga sagad gigamit sa micromachining nga mga aplikasyon tungod sa maayo kaayo nga mekanikal nga mga kabtangan niini.
3. Unsa ang mga bentaha sa paggamit sa mga bisagra sa BoPET sa usa ka salamin sa pag-scan?
Ang mga bisagra sa BoPET nagtanyag og labaw nga pagka-flexible, kalig-on, ug barato nga paggama, nga naghimo niini nga sulundon alang sa paggamit sa micromachined scanning nga mga salamin alang sa lainlaing mga aplikasyon.
4. Giunsa ang micromachined immersion scanning nga salamin sa pagtrabaho?
Ang micromachined immersion scanning mirror naggamit sa mga bisagra sa BoPET aron makahimo og usa ka flexible ug tukma nga mekanismo sa pag-scan nga epektibo nga nagdumala ug nag-scan sa kahayag sa kontroladong paagi.
5. Unsa ang mga potensyal nga aplikasyon sa usa ka micromachined immersion scanning mirror?
Ang micromachined immersion scanning mirror adunay lapad nga mga potensyal nga aplikasyon lakip ang laser scanning, endoscopic imaging, optical coherence tomography, ug augmented reality display.