Micromachined Immersion Scanning Mirror Gamit ang BoPET Hinges

Ang paggamit ng water immersion scanning mirror sa ultrasound at photoacoustic microscopy ay napatunayang kapaki-pakinabang para sa pag-scan ng mga nakatutok na beam at ultrasound beam. Upang higit pang mapahusay ang proseso ng paggawa, isang bagong paraan ang binuo na nagbibigay-daan para sa miniaturization at mass production ng mga salamin na ito. Ang isang 3D multiphysics finite element model ay ginawa din upang tumpak na gayahin ang electromechanical na gawi ng mga salamin, parehong static at dynamic. Matagumpay na na-verify ng mga eksperimental na pagsubok at characterization ang pagganap ng pag-scan ng mga salamin sa pag-scan ng tubig sa ilalim ng tubig.

Sa pag-aaral na ito, isang micromachined two-axis water immersion scanning mirror gamit ang BoPET (biaxially oriented polyethylene terephthalate) Hinge ay ipinakilala. Ang proseso ng paggawa ay nagsasangkot ng malalim na pag-ukit ng plasma sa isang hybrid na silicon-BoPET na substrate, na nagpapagana ng mataas na resolution na patterning at kakayahan sa paggawa ng volume. Ang prototype scanning mirror na ginawa gamit ang diskarteng ito ay may sukat na 5x5x5 mm^3, na maihahambing sa tipikal na silicon-based na micro-scanning na salamin. Ang laki ng mirror plate ay 4x4 mm^2, na nagbibigay ng mas malaking aperture para sa optical o acoustic beam steering.

Ang mga resonance frequency ng mabilis at mabagal na axes ay sinusukat na 420 Hz at 190 Hz, ayon sa pagkakabanggit, kapag pinapatakbo sa hangin. Gayunpaman, kapag inilubog sa tubig, bumababa ang mga frequency na ito sa 330 Hz at 160 Hz, ayon sa pagkakabanggit. Ang mga anggulo ng pagtabingi ng sumasalamin na salamin ay nag-iiba sa mga agos ng drive, na nagpapakita ng isang linear na relasyon sa mga anggulo ng pagtabingi hanggang ±3.5° sa paligid ng mabilis at mabagal na mga palakol. Sa pamamagitan ng sabay na pagmamaneho sa parehong mga palakol, ang matatag at paulit-ulit na mga pattern ng pag-scan ng raster ay maaaring makamit sa parehong hangin at tubig na kapaligiran.

Ang micromachined water immersion scanning mirrors ay mayroong napakalaking potensyal para sa malawak na hanay ng pag-scan ng optical at acoustic microscopy applications, parehong sa hangin at likidong kapaligiran. Ang bagong proseso ng paggawa at disenyo ay nag-aalok ng mahusay at maaasahang mga solusyon, na nagbibigay daan para sa mga pagsulong sa mga teknolohiya ng imaging.

Sige, narito ang isang sample na FAQ para sa "Micromachined Immersion Scanning Mirror Gamit ang BoPET Hinges":
1. Ano ang isang micromachined immersion scanning mirror?
Ang micromachined immersion scanning mirror ay isang maliit na device na ginagamit para sa pagdidirekta at pag-scan ng liwanag sa iba't ibang mga application tulad ng laser scanning, medical imaging, at mga teknolohiya ng display.

2. Ano ang mga bisagra ng BoPET?
Ang mga bisagra ng BoPET (Biaxially-oriented polyethylene terephthalate) ay flexible, malakas, at magaan na hinge na materyales na karaniwang ginagamit sa mga micromachining application dahil sa kanilang mahusay na mekanikal na katangian.

3. Ano ang mga pakinabang ng paggamit ng BoPET hinges sa isang scanning mirror?
Ang mga bisagra ng BoPET ay nag-aalok ng higit na kakayahang umangkop, tibay, at murang pagmamanupaktura, na ginagawang perpekto ang mga ito para gamitin sa micromachined scanning mirrors para sa iba't ibang aplikasyon.

4. Paano gumagana ang micromachined immersion scanning mirror?
Ginagamit ng micromachined immersion scanning mirror ang mga bisagra ng BoPET upang lumikha ng nababaluktot at tumpak na mekanismo ng pag-scan na mahusay na nagdidirekta at nag-scan ng liwanag sa isang kontroladong paraan.

5. Ano ang mga potensyal na aplikasyon ng isang micromachined immersion scanning mirror?
Ang micromachined immersion scanning mirror ay may malawak na hanay ng mga potensyal na aplikasyon kabilang ang laser scanning, endoscopic imaging, optical coherence tomography, at augmented reality display.