Micromachined Immersion Scanning Mirror Bi Bikaranîna BoPET Hinges

Bikaranîna neynikên şopandina avê di mîkroskopa ultrasound û fotoakustîk de îsbat kiriye ku ji bo şopandina tîrêjên baldar û tîrêjên ultrasound sûdmend e. Ji bo zêdekirina pêvajoya çêkirinê, rêbazek nû hate pêşve xistin ku destûrê dide piçûkkirin û hilberîna girseyî ya van neynikê. Di heman demê de modelek hêmanên dawîn ên pirfizîkî yên 3D jî hatîye afirandin ku bi awakî statîkî û dînamîkî behremendiya elektromekanîkî ya neynikê bi duristî simule bike. Testên ezmûnî û taybetmendiyan bi serfirazî performansa şopandinê ya neynikên şopandina avdanê yên avê verast kirine.

Di vê lêkolînê de, neynikek şopandina avê ya du-texlî ya mîkromakînekirî ku bi karanîna BoPET (terefthalate polyethylene biaxially oriented) Hinge hatî bikar anîn. Pêvajoya çêkirinê li ser hîbrîdek silicon-BoPET veguheztina plazmaya kûr vedihewîne, ku qabîliyeta çêkirina qalibê bi rezîliya bilind û çêkerê çêdike. Neynika şopandinê ya prototîpa ku bi karanîna vê nêzîkbûnê hatî hilberandin 5x5x5 mm^3 dipîve, ku bi neynikên mîkro-skanker ên bingehîn ên sîlîkonê re têkildar e. Mezinahiya plakaya neynikê 4x4 mm^2 e, ji bo rêvebirina tîrêjê ya optîkî an akustîk dirûvek mezintir peyda dike.

Dema ku di hewayê de tê xebitandin, frekansên rezonansê yên eksên bilez û hêdî bi rêzdarî 420 Hz û 190 Hz têne pîvandin. Lêbelê, dema ku di nav avê de têne avêtin, ev frekans bi rêzê ve digihîje 330 Hz û 160 Hz. Kulîlkên tilikê yên neynika ronîkirinê li gorî herikên ajotinê diguhezin, ku têkiliyek xêzkirî bi goşeyên tilikê heya ± 3,5° li dora axên bilez û hêdî nîşan dide. Bi ajotina hevdemî ya her du eksê, hem di hawîrdor û hem jî di hawîrdora avê de dikarin qalibên şopandina rasterê ya domdar û dubarekirî werin bidestxistin.

Neynikên şopandina avê yên mîkro-makînekirî potansiyelek mezin ji bo sepanên mîkroskopiya optîkî û akustîk, hem di hawîrdor û hem jî di hawîrdora şil de, dihewîne. Ev pêvajo û sêwirana nû ya çêkirinê çareseriyên bikêr û pêbawer pêşkêşî dike, rê li ber pêşkeftinên di teknolojiyên wênegiriyê de vedike.

Bê guman, li vir nimûneyek FAQ-a ji bo "Neynikê Scanning Immersion Micromachined Using BoPET Hinges" heye.:
1. Neynika şopandina avjeniyê ya mîkromakîne çi ye?
Neynikek şopandina binavbûnê ya mîkro-makîne amûrek piçûk e ku ji bo rêvekirin û şopandina ronahiyê di sepanên cihêreng de, wekî skanandina lazerê, wênekirina bijîjkî, û teknolojiyên pêşandanê de tê bikar anîn.

2. Hingesên BoPET çi ne?
BoPET (biaxially-oriented polyethylene terephthalate) malzemeyên hinge yên maqûl, xurt û sivik in ku ji ber taybetmendiyên xwe yên mekanîkî yên hêja bi gelemperî di sepanên mîkromakînekirinê de têne bikar anîn.

3. Awantajên karanîna çîpên BoPET di neynek şopandinê de çi ne?
Hingesên BoPET nermbûn, domdarî, û hilberîna kêm-mesref pêşkêşî dikin, ku wan ji bo karanîna di neynikên şopandina mîkromakînekirî de ji bo sepanên cihêreng îdeal dike.

4. Neynika şopandina avjeniyê ya mîkromakîn çawa dixebite?
Neynika şopandina avjeniyê ya mîkromakîn çîpên BoPET bikar tîne da ku mekanîzmayek şopandinê ya maqûl û rast biafirîne ku bi rengek bikêrhatî ronahiyê bi rengek kontrolkirî rêve dike û dikole.

5. Serîlêdanên potansiyel ên neynikê seyrûseferê yên mîkromakîne çi ne?
Neynika şopandina binavbûnê ya mîkromakîne xwedan cûrbecûr sepanên potansiyel e, di nav de şopandina lazer, wênekêşana endoskopîk, tomografya hevrêziya optîkî, û pêşandanên rastiya zêdekirî.