Aosite, देखि 1993
अल्ट्रासाउन्ड र फोटोअकोस्टिक माइक्रोस्कोपीमा पानी इमर्सन स्क्यानिङ मिररहरूको प्रयोग फोकस गरिएको बीमहरू र अल्ट्रासाउन्ड बीमहरू स्क्यान गर्नको लागि लाभदायक साबित भएको छ। निर्माण प्रक्रियालाई थप बृद्धि गर्न, एउटा नयाँ विधि विकसित गरिएको छ जसले यी ऐनाहरूको लघुकरण र ठूलो उत्पादनको लागि अनुमति दिन्छ। एक थ्रीडी मल्टिफिजिक्स परिमित तत्व मोडेल पनि स्थिर र गतिशील रूपमा ऐनाको इलेक्ट्रोमेकानिकल व्यवहारलाई सही रूपमा नक्कल गर्न सिर्जना गरिएको छ। प्रयोगात्मक परीक्षण र विशेषताहरूले पानी इमर्सन स्क्यानिङ मिररहरूको स्क्यानिङ कार्यसम्पादनलाई सफलतापूर्वक प्रमाणित गरेको छ।
यस अध्ययनमा, BoPET (biaxially oriented polyethylene terephthalate) Hinge को प्रयोग गरेर माइक्रोमेचिन गरिएको दुई-अक्ष पानी इमर्सन स्क्यानिङ मिरर प्रस्तुत गरिएको छ। निर्माण प्रक्रियामा हाइब्रिड सिलिकन-BoPET सब्सट्रेटमा गहिरो प्लाज्मा नक्काशी समावेश छ, उच्च-रिजोल्युसन ढाँचा र भोल्युम उत्पादन क्षमता सक्षम पार्दै। यो दृष्टिकोण प्रयोग गरेर उत्पादन गरिएको प्रोटोटाइप स्क्यानिङ मिररले 5x5x5 mm^3 मापन गर्छ, जुन सामान्य सिलिकन-आधारित माइक्रो-स्क्यानिङ मिररसँग तुलना गर्न सकिन्छ। मिरर प्लेट साइज 4x4 mm^2 हो, जसले अप्टिकल वा ध्वनिक बीम स्टेयरिङको लागि ठूलो एपर्चर प्रदान गर्दछ।
द्रुत र ढिलो अक्षहरूको अनुनाद आवृत्तिहरू क्रमशः 420 Hz र 190 Hz मापन गरिन्छ, जब हावामा सञ्चालन गरिन्छ। यद्यपि, जब पानीमा डुबाइन्छ, यी फ्रिक्वेन्सीहरू क्रमशः 330 हर्ट्ज र 160 हर्ट्जमा घट्छन्। प्रतिबिम्बित ऐनाको झुकाव कोणहरू ड्राइभ धाराहरूसँग भिन्न हुन्छन्, छिटो र ढिलो अक्षहरू वरिपरि ±3.5° सम्म झुकाव कोणहरूसँग रेखीय सम्बन्ध देखाउँदछ। दुबै अक्षहरू एकैसाथ चलाएर, स्थिर र दोहोर्याउन मिल्ने रास्टर स्क्यान ढाँचाहरू हावा र पानी दुवै वातावरणमा प्राप्त गर्न सकिन्छ।
माइक्रोमेचिन गरिएको पानी इमर्सन स्क्यानिङ मिररहरूले हावा र तरल वातावरण दुवैमा स्क्यानिङ अप्टिकल र ध्वनिक माइक्रोस्कोपी अनुप्रयोगहरूको विस्तृत दायराको लागि अपार क्षमता राख्छन्। यो नयाँ निर्माण प्रक्रिया र डिजाइनले कुशल र भरपर्दो समाधानहरू प्रदान गर्दछ, इमेजिङ प्रविधिहरूमा प्रगतिको लागि मार्ग प्रशस्त गर्दछ।
पक्कै, यहाँ "BoPET Hinges प्रयोग गरेर माइक्रोमेचिन इमर्सन स्क्यानिङ मिरर" को लागी एक नमूना FAQ छ।:
1. माइक्रोमेचिन इमर्सन स्क्यानिङ मिरर के हो?
एक माइक्रोमेचिन इमर्सन स्क्यानिङ मिरर लेजर स्क्यानिङ, मेडिकल इमेजिङ, र प्रदर्शन प्रविधिहरू जस्ता विभिन्न अनुप्रयोगहरूमा प्रकाश निर्देशन र स्क्यान गर्न प्रयोग गरिने सानो यन्त्र हो।
2. BoPET hinges के हो?
BoPET (Biaxially-oriented polyethylene terephthalate) टिकाहरू लचिलो, बलियो र हल्का तौलका काज सामग्री हुन् जुन तिनीहरूको उत्कृष्ट मेकानिकल गुणहरूको कारणले गर्दा सामान्यतया माइक्रोमेसिनिङ अनुप्रयोगहरूमा प्रयोग गरिन्छ।
3. स्क्यानिङ मिररमा BoPET hinges प्रयोग गर्दा के फाइदाहरू छन्?
BoPET hinges ले उच्च लचिलोपन, स्थायित्व, र कम लागत उत्पादन प्रदान गर्दछ, तिनीहरूलाई विभिन्न अनुप्रयोगहरूको लागि micromachined स्क्यानिङ मिररहरूमा प्रयोगको लागि आदर्श बनाउँछ।
4. माइक्रोमेचिन इमर्सन स्क्यानिङ मिररले कसरी काम गर्छ?
micromachined इमर्सन स्क्यानिङ मिररले BoPET hinges लाई लचिलो र सटीक स्क्यानिङ मेकानिजम सिर्जना गर्न प्रयोग गर्दछ जसले प्रभावकारी रूपमा नियन्त्रित रूपमा प्रकाशलाई निर्देशित र स्क्यान गर्दछ।
5. माइक्रोमेचिन इमर्सन स्क्यानिङ मिररको सम्भावित अनुप्रयोगहरू के हुन्?
माइक्रोम्याचिन इमर्सन स्क्यानिङ मिररमा लेजर स्क्यानिङ, एन्डोस्कोपिक इमेजिङ, अप्टिकल कोहेरेन्स टोमोग्राफी, र अग्मेन्टेड रियलिटी डिस्प्ले सहित सम्भावित अनुप्रयोगहरूको विस्तृत श्रृंखला छ।