Mirror tal-Iskanjar tal-Immersjoni Micromachined Bl-użu taċ-Ċappetti tal-BoPET

L-użu tal-mirja tal-iskannjar tal-immersjoni tal-ilma fil-mikroskopija ultrasound u fotoakustika wriet li hija ta 'benefiċċju għall-iskannjar ta' travi ffukati u travi tal-ultrasound. Biex tkompli ttejjeb il-proċess ta 'fabbrikazzjoni, ġie żviluppat metodu ġdid li jippermetti l-minjaturizzazzjoni u l-produzzjoni tal-massa ta' dawn il-mirja. Inħoloq ukoll mudell ta' elementi finiti multifiżiċi 3D biex jissimula b'mod preċiż l-imġiba elettromekkanika tal-mirja, kemm b'mod statiku kif ukoll b'mod dinamiku. Testijiet u karatterizzazzjonijiet sperimentali vverifikaw b'suċċess il-prestazzjoni tal-iskannjar tal-mirja tal-iskannjar tal-immersjoni tal-ilma.

F'dan l-istudju, ġiet introdotta mera tal-iskannjar tal-immersjoni tal-ilma mikromachined b'żewġ assi bl-użu ta 'BoPET (polyethylene terephthalate orjentat biassjali). Il-proċess ta 'fabbrikazzjoni jinvolvi inċiżjoni fil-plażma fil-fond fuq sottostrat ibridu tas-silikon-BoPET, li jippermetti disinn ta' riżoluzzjoni għolja u kapaċità ta 'manifattura ta' volum. Il-mera tal-iskannjar tal-prototip prodotta bl-użu ta 'dan l-approċċ tkejjel 5x5x5 mm ^ 3, li hija komparabbli ma' mirja ta 'mikro-skanjar tipiċi bbażati fuq is-silikon. Id-daqs tal-pjanċa tal-mera huwa 4x4 mm^2, li jipprovdi apertura akbar għall-isteering tar-raġġ ottiku jew akustiku.

Il-frekwenzi tar-reżonanza tal-assi mgħaġġla u bil-mod huma mkejla bħala 420 Hz u 190 Hz, rispettivament, meta jitħaddmu fl-arja. Madankollu, meta mgħaddsa fl-ilma, dawn il-frekwenzi jonqsu għal 330 Hz u 160 Hz, rispettivament. L-angoli tal-inklinazzjoni tal-mera li tirrifletti jvarjaw skont il-kurrenti tas-sewqan, li juru relazzjoni lineari mal-angoli tal-inklinazzjoni sa ± 3.5 ° madwar l-assi veloċi u bil-mod. Billi jsuqu simultanjament iż-żewġ assi, jistgħu jinkisbu mudelli ta 'skannjar tar-raster stabbli u ripetibbli kemm fl-ambjenti tal-arja kif ukoll tal-ilma.

Il-mirja tal-iskanjar tal-immersjoni tal-ilma micromachined għandhom potenzjal immens għal firxa wiesgħa ta 'applikazzjonijiet tal-mikroskopija ottika u akustika tal-iskannjar, kemm f'ambjenti tal-arja kif ukoll likwidi. Dan il-proċess tal-fabbrikazzjoni u d-disinn ġodda joffru soluzzjonijiet effiċjenti u affidabbli, li jwittu t-triq għall-avvanzi fit-teknoloġiji tal-immaġini.

Żgur, hawn kampjun FAQ għall- "Micromachined Immersion Scanning Mirror Bl-Użu taċ-Ċappetti BoPET":
1. X'inhi mera tal-iskannjar tal-immersjoni micromachined?
Mera ta 'skannjar ta' immersjoni micromachined hija apparat żgħir użat biex jidderieġi u jiskenja d-dawl f'diversi applikazzjonijiet bħal skanjar bil-lejżer, immaġini mediċi, u teknoloġiji tal-wiri.

2. X'inhuma ċ-ċappetti tal-BoPET?
Iċ-ċappetti tal-BoPET (polyethylene terephthalate orjentat biaxjali) huma materjali taċ-ċappetti flessibbli, b'saħħithom u ħfief li huma komunement użati f'applikazzjonijiet ta 'mikromachining minħabba l-proprjetajiet mekkaniċi eċċellenti tagħhom.

3. X'inhuma l-vantaġġi tal-użu taċ-ċappetti tal-BoPET f'mera tal-iskannjar?
Iċ-ċappetti BoPET joffru flessibilità superjuri, durabilità, u manifattura bi prezz baxx, li jagħmluhom ideali għall-użu f'mirja tal-iskannjar micromachined għal diversi applikazzjonijiet.

4. Kif taħdem il-mera tal-iskannjar tal-immersjoni micromachined?
Il-mera tal-iskannjar tal-immersjoni micromachined tuża ċ-ċappetti tal-BoPET biex toħloq mekkaniżmu tal-iskannjar flessibbli u preċiż li jidderieġi u jiskenja d-dawl b'mod effiċjenti b'mod ikkontrollat.

5. X'inhuma l-applikazzjonijiet potenzjali ta 'mera ta' skanjar ta 'immersjoni mikromachined?
Il-mera tal-iskannjar tal-immersjoni micromachined għandha firxa wiesgħa ta 'applikazzjonijiet potenzjali inklużi skanjar bil-lejżer, immaġini endoskopiċi, tomografija ta' koerenza ottika u wirjiet ta 'realtà miżjuda.