Mikroobrobione zanurzeniowe lustro skanujące z zawiasami BoPET

Zastosowanie zanurzeniowych luster skaningowych w mikroskopii ultradźwiękowej i fotoakustycznej okazało się korzystne przy skanowaniu wiązek skupionych i wiązek ultradźwiękowych. Aby jeszcze bardziej usprawnić proces produkcyjny, opracowano nową metodę, która pozwala na miniaturyzację i masową produkcję tych lusterek. Stworzono również wielofizyczny model 3D elementów skończonych, aby dokładnie symulować elektromechaniczne zachowanie zwierciadeł, zarówno statycznie, jak i dynamicznie. Testy eksperymentalne i charakterystyki pomyślnie zweryfikowały skuteczność skanowania zanurzalnych w wodzie luster skanujących.

W tym badaniu wprowadzono mikroobrobione dwuosiowe zanurzeniowe lustro skanujące wykorzystujące zawias BoPET (dwuosiowo zorientowany politereftalan etylenu). Proces produkcyjny obejmuje głębokie trawienie plazmowe na hybrydowym podłożu krzemowo-BoPET, umożliwiając tworzenie wzorów o wysokiej rozdzielczości i możliwość produkcji seryjnej. Prototypowe lustro skanujące wyprodukowane w ten sposób ma wymiary 5x5x5 mm^3, co jest porównywalne z typowymi krzemowymi lusterkami mikroskanerowymi. Rozmiar płytki lustrzanej wynosi 4x4 mm^2, co zapewnia większą aperturę do sterowania wiązką optyczną lub akustyczną.

Zmierzone częstotliwości rezonansowe osi szybkiej i wolnej wynoszą odpowiednio 420 Hz i 190 Hz podczas pracy w powietrzu. Jednak po zanurzeniu w wodzie częstotliwości te zmniejszają się odpowiednio do 330 Hz i 160 Hz. Kąty pochylenia zwierciadła odbijającego zmieniają się w zależności od prądu sterującego, wykazując liniową zależność z kątami pochylenia do ±3,5° wokół szybkiej i wolnej osi. Jednoczesne napędzanie obu osi umożliwia uzyskanie stabilnych i powtarzalnych wzorów skanowania rastrowego zarówno w środowisku powietrznym, jak i wodnym.

Mikroobrobione zanurzeniowo w wodzie lustra skanujące mają ogromny potencjał w szerokim zakresie zastosowań skaningowej mikroskopii optycznej i akustycznej, zarówno w środowisku powietrznym, jak i płynnym. Ten nowy proces produkcji i projekt oferują wydajne i niezawodne rozwiązania, torując drogę postępowi w technologiach obrazowania.

Jasne, oto przykładowe często zadawane pytania dotyczące „Mikroobrobionego zanurzeniowego lustra skanującego z zawiasami BoPET”:
1. Co to jest mikroobrobione zanurzeniowe lustro skanujące?
Mikroobrobione zanurzeniowo lustro skanujące to małe urządzenie służące do kierowania i skanowania światła w różnych zastosowaniach, takich jak skanowanie laserowe, obrazowanie medyczne i technologie wyświetlania.

2. Czym są zawiasy BoPET?
Zawiasy BoPET (dwuosiowo zorientowany politereftalan etylenu) to elastyczne, mocne i lekkie materiały na zawiasy, które są powszechnie stosowane w zastosowaniach związanych z mikroobróbką ze względu na ich doskonałe właściwości mechaniczne.

3. Jakie są zalety zastosowania zawiasów BoPET w lustrze skanującym?
Zawiasy BoPET zapewniają doskonałą elastyczność, trwałość i niskie koszty produkcji, dzięki czemu idealnie nadają się do stosowania w lustrach skanujących obrabianych mikroobróbką do różnych zastosowań.

4. Jak działa mikroobrobione zanurzeniowe lustro skanujące?
Mikroobrobione zanurzeniowe lustro skanujące wykorzystuje zawiasy BoPET do stworzenia elastycznego i precyzyjnego mechanizmu skanującego, który skutecznie kieruje i skanuje światło w kontrolowany sposób.

5. Jakie są potencjalne zastosowania mikroobrobionego zanurzeniowego lustra skanującego?
Mikroobrobione zanurzeniowo lustro skanujące ma szeroki zakres potencjalnych zastosowań, w tym skanowanie laserowe, obrazowanie endoskopowe, optyczną tomografię koherentną i wyświetlacze rzeczywistości rozszerzonej.