Ogledalo za skeniranje mikromašinskog uranjanja pomoću BoPET šarki

Korištenje ogledala za skeniranje potopljenih u vodu u ultrazvučnoj i fotoakustičnoj mikroskopiji pokazalo se korisnim za skeniranje fokusiranih zraka i ultrazvučnih zraka. Kako bi se dodatno poboljšao proces proizvodnje, razvijena je nova metoda koja omogućava minijaturizaciju i masovnu proizvodnju ovih ogledala. 3D multifizički model konačnih elemenata je također kreiran kako bi se precizno simuliralo elektromehaničko ponašanje ogledala, kako statički tako i dinamički. Eksperimentalni testovi i karakterizacije uspješno su potvrdili performanse skeniranja ogledala za skeniranje potopljenih u vodu.

U ovoj studiji, uvedeno je mikromašinsko dvoosno ogledalo za skeniranje potapanjem u vodu koristeći BoPET (biaksijalno orijentirani polietilen tereftalat) šarke. Proces proizvodnje uključuje duboko plazma jetkanje na hibridnoj podlozi od silicijuma i BoPET-a, što omogućava oblikovanje uzoraka visoke rezolucije i kapacitet proizvodnje. Prototip ogledala za skeniranje proizveden ovim pristupom ima dimenzije 5x5x5 mm^3, što je uporedivo sa tipičnim ogledalima za mikro skeniranje na bazi silikona. Veličina ploče zrcala je 4x4 mm^2, pružajući veći otvor za optičko ili akustičko upravljanje snopom.

Rezonantne frekvencije brze i spore ose su izmjerene na 420 Hz i 190 Hz, respektivno, kada se rade u zraku. Međutim, kada se urone u vodu, ove frekvencije se smanjuju na 330 Hz odnosno 160 Hz. Uglovi nagiba reflektirajućeg ogledala variraju u zavisnosti od pogonskih struja, pokazujući linearnu vezu sa uglovima nagiba do ±3,5° oko brze i spore ose. Istovremenim pokretanjem obje ose, mogu se postići stabilni i ponovljivi uzorci rasterskog skeniranja iu zračnom i u vodenom okruženju.

Mikromašinska ogledala za skeniranje potapanjem u vodu imaju ogroman potencijal za širok spektar aplikacija skenirajuće optičke i akustične mikroskopije, kako u zračnom tako iu tečnom okruženju. Ovaj novi proces proizvodnje i dizajn nude efikasna i pouzdana rješenja, utirući put napretku u tehnologijama snimanja.

Naravno, evo primjera često postavljanih pitanja za "Mikromašinsko ogledalo za skeniranje uronjavanjem koristeći BoPET šarke":
1. Šta je mikromašinsko uranjajuće ogledalo za skeniranje?
Mikromašinsko uranjajuće ogledalo za skeniranje je mali uređaj koji se koristi za usmjeravanje i skeniranje svjetlosti u različitim aplikacijama kao što su lasersko skeniranje, medicinsko snimanje i tehnologije prikaza.

2. Šta su BoPET šarke?
BoPET (biaksijalno orijentisani polietilen tereftalat) šarke su fleksibilni, jaki i lagani materijali za šarke koji se zbog svojih odličnih mehaničkih svojstava obično koriste u aplikacijama mikromašine.

3. Koje su prednosti upotrebe BoPET šarki u ogledalu za skeniranje?
BoPET šarke nude vrhunsku fleksibilnost, izdržljivost i nisku cijenu proizvodnje, što ih čini idealnim za upotrebu u mikromašinskim ogledalima za skeniranje za različite primjene.

4. Kako radi mikromašinsko uranjajuće ogledalo za skeniranje?
Mikromašinsko ogledalo za skeniranje koristi BoPET šarke za stvaranje fleksibilnog i preciznog mehanizma za skeniranje koji efikasno usmjerava i skenira svjetlost na kontroliran način.

5. Koje su potencijalne primjene mikromašinskog ogledala za skeniranje?
Ogledalo za skeniranje mikromašinom ima širok raspon potencijalnih primjena uključujući lasersko skeniranje, endoskopsko snimanje, optičku koherentnu tomografiju i prikaze proširene stvarnosti.