Mikrogemasjineerde onderdompelingskandspieël met BoPET-skarniere

Die gebruik van waterdompelskanderingsspieëls in ultraklank en fotoakoestiese mikroskopie het bewys dat dit voordelig is vir die skandering van gefokusde strale en ultraklankstrale. Om die vervaardigingsproses verder te verbeter, is 'n nuwe metode ontwikkel wat miniaturisering en massaproduksie van hierdie spieëls moontlik maak. 'n 3D multifisika eindige element model is ook geskep om die elektromeganiese gedrag van die spieëls akkuraat te simuleer, beide staties en dinamies. Eksperimentele toetse en karakteriserings het die skanderingprestasie van die waterdompelskanderingsspieëls suksesvol geverifieer.

In hierdie studie is 'n mikrogemasjineerde twee-assige waterdompelskanderingsspieël wat BoPET (biaksiaal georiënteerde poliëtileentereftalaat) skarnier gebruik, bekendgestel. Die vervaardigingsproses behels diep plasma-ets op 'n hibriede silikon-BoPET-substraat, wat hoë-resolusie-patroonvorming en volume-vervaardigingsvermoë moontlik maak. Die prototipe-skanderingsspieël wat met hierdie benadering vervaardig is, meet 5x5x5 mm^3, wat vergelykbaar is met tipiese silikon-gebaseerde mikro-skanderingsspieëls. Die spieëlplaatgrootte is 4x4 mm^2, wat 'n groter opening bied vir optiese of akoestiese straalstuur.

Resonansie frekwensies van die vinnige en stadige asse word gemeet as 420 Hz en 190 Hz, onderskeidelik, wanneer dit in lug bedryf word. Wanneer dit egter in water gedompel word, verminder hierdie frekwensies tot onderskeidelik 330 Hz en 160 Hz. Die kantelhoeke van die reflekterende spieël wissel met dryfstrome, wat 'n lineêre verwantskap toon met kantelhoeke tot ±3.5° om die vinnige en stadige asse. Deur beide asse gelyktydig te bestuur, kan stabiele en herhaalbare rasterskanderingpatrone in beide lug- en wateromgewings verkry word.

Die mikrogemasjineerde wateronderdompelings-skanderingsspieëls hou geweldige potensiaal vir 'n wye reeks skanderingsoptiese en akoestiese mikroskopietoepassings in, beide in lug- en vloeibare omgewings. Hierdie nuwe vervaardigingsproses en ontwerp bied doeltreffende en betroubare oplossings, wat die weg baan vir vooruitgang in beeldtegnologie.

Sekerlik, hier is 'n voorbeeld van gereelde vrae vir die "Mikromasjineerde Immersion Scanning Mirror Using BoPET Hinges":
1. Wat is 'n mikrogemasjineerde dompelskanderingsspieël?
'n Mikrogemasjineerde dompelskanderingsspieël is 'n klein toestel wat gebruik word om lig in verskeie toepassings soos laserskandering, mediese beelding en vertoontegnologie te rig en te skandeer.

2. Wat is BoPET-skarniere?
BoPET (Biasiaal-georiënteerde poliëtileentereftalaat) skarniere is buigsame, sterk en liggewig skarniermateriale wat algemeen in mikrobewerkingstoepassings gebruik word as gevolg van hul uitstekende meganiese eienskappe.

3. Wat is die voordele van die gebruik van BoPET-skarniere in 'n skanderingspieël?
BoPET-skarniere bied voortreflike buigsaamheid, duursaamheid en laekoste-vervaardiging, wat hulle ideaal maak vir gebruik in mikrogemasjineerde skanderingspieëls vir verskeie toepassings.

4. Hoe werk die mikrogemasjineerde dompelskandeer-spieël?
Die mikrogemasjineerde dompelskanderingsspieël gebruik die BoPET-skarniere om 'n buigsame en presiese skandeermeganisme te skep wat lig doeltreffend op 'n beheerde wyse rig en skandeer.

5. Wat is die potensiële toepassings van 'n mikrogemasjineerde dompelskanderingsspieël?
Die mikrogemasjineerde onderdompelingskanderingsspieël het 'n wye reeks potensiële toepassings, insluitend laserskandering, endoskopiese beelding, optiese koherensie-tomografie en vergrote werklikheidsvertonings.