Микромашинно потопяемо сканиращо огледало, използващо BoPET панти

Използването на сканиращи огледала за потапяне във вода в ултразвуковата и фотоакустичната микроскопия се оказа полезно за сканиране на фокусирани лъчи и ултразвукови лъчи. За допълнително подобряване на производствения процес е разработен нов метод, който позволява миниатюризация и масово производство на тези огледала. Създаден е и 3D мултифизичен модел с крайни елементи за точно симулиране на електромеханичното поведение на огледалата, както статично, така и динамично. Експерименталните тестове и характеристиките успешно потвърдиха ефективността на сканиране на огледалата за сканиране във вода.

В това проучване беше въведено двуосно сканиращо огледало за потапяне във вода, използващо BoPET (биаксиално ориентиран полиетилен терефталат) панта. Процесът на производство включва дълбоко плазмено ецване върху хибридна силициева-BoPET подложка, което позволява моделиране с висока разделителна способност и възможност за обемно производство. Прототипното сканиращо огледало, произведено с помощта на този подход, е с размери 5x5x5 mm^3, което е сравнимо с типичните базирани на силиций микросканиращи огледала. Размерът на огледалната плоча е 4x4 mm^2, осигурявайки по-голям отвор за оптично или акустично управление на лъча.

Измерените резонансни честоти на бързата и бавната оси са съответно 420 Hz и 190 Hz, когато се работи във въздуха. Въпреки това, когато се потопи във вода, тези честоти намаляват съответно до 330 Hz и 160 Hz. Ъглите на наклона на отразяващото огледало варират в зависимост от тока на задвижване, показвайки линейна връзка с ъгли на наклон до ±3,5° около бързата и бавната ос. Чрез едновременно задвижване на двете оси могат да се постигнат стабилни и повтарящи се модели на растерно сканиране както във въздушна, така и във водна среда.

Микромашинните сканиращи огледала за потапяне във вода притежават огромен потенциал за широк спектър от приложения за сканираща оптична и акустична микроскопия, както във въздушна, така и в течна среда. Този нов производствен процес и дизайн предлагат ефективни и надеждни решения, проправяйки пътя за напредък в технологиите за изображения.

Разбира се, тук е примерен ЧЗВ за „Микромашинно потопяемо сканиращо огледало с използване на BoPET панти“:
1. Какво е микромашинно потопяемо сканиращо огледало?
Микромашинното потапящо сканиращо огледало е малко устройство, използвано за насочване и сканиране на светлина в различни приложения като лазерно сканиране, медицински изображения и технологии за показване.

2. Какво представляват BoPET пантите?
BoPET (биаксиално ориентиран полиетилен терефталат) пантите са гъвкави, здрави и леки материали за панти, които обикновено се използват в приложения за микрообработка поради техните отлични механични свойства.

3. Какви са предимствата от използването на BoPET панти в огледало за сканиране?
BoPET пантите предлагат превъзходна гъвкавост, издръжливост и евтино производство, което ги прави идеални за използване в микромашинни сканиращи огледала за различни приложения.

4. Как работи микромашинното потапящо сканиращо огледало?
Микромашинното потапящо сканиращо огледало използва BoPET пантите, за да създаде гъвкав и прецизен сканиращ механизъм, който ефективно насочва и сканира светлината по контролиран начин.

5. Какви са потенциалните приложения на микромашинно потапящо сканиращо огледало?
Микромашинното потапящо сканиращо огледало има широк спектър от потенциални приложения, включително лазерно сканиране, ендоскопско изображение, оптична кохерентна томография и дисплеи с добавена реалност.