Mikromechaniniu būdu apdorotas panardinamasis nuskaitymo veidrodis naudojant BoPET vyrius

Įrodyta, kad vandens panardinimo skenavimo veidrodžių naudojimas ultragarso ir fotoakustinėje mikroskopijoje yra naudingas nuskaitant sufokusuotus pluoštus ir ultragarso pluoštus. Siekiant dar labiau pagerinti gamybos procesą, buvo sukurtas naujas metodas, leidžiantis miniatiūrizuoti ir masiškai gaminti šiuos veidrodžius. Taip pat buvo sukurtas 3D daugiafizinis baigtinių elementų modelis, skirtas tiksliai imituoti veidrodžių elektromechaninį elgesį tiek statiškai, tiek dinamiškai. Eksperimentiniai bandymai ir apibūdinimai sėkmingai patvirtino vandens panardinamų nuskaitymo veidrodžių skenavimo našumą.

Šiame tyrime buvo pristatytas mikromechaninis dviejų ašių panardinamasis vandens nuskaitymo veidrodis, naudojant BoPET (dviašai orientuoto polietileno tereftalato) vyrį. Gamybos procesas apima gilų plazmos ėsdinimą ant hibridinio silicio-BoPET substrato, leidžiančio sudaryti didelės skiriamosios gebos modelius ir gaminti tūrį. Nuskaitymo veidrodžio prototipas, pagamintas naudojant šį metodą, yra 5x5x5 mm^3, o tai panašu į įprastus silicio mikroskenavimo veidrodžius. Veidrodžio plokštės dydis yra 4x4 mm^2, todėl yra didesnė optinio ar akustinio pluošto valdymo apertūra.

Greitosios ir lėtosios ašių rezonanso dažniai matuojami atitinkamai 420 Hz ir 190 Hz veikiant ore. Tačiau panardinus į vandenį šie dažniai sumažėja atitinkamai iki 330 Hz ir 160 Hz. Atspindinčiojo veidrodžio pasvirimo kampai skiriasi priklausomai nuo pavaros srovės, o tai rodo tiesinį ryšį su pasvirimo kampais iki ±3,5° aplink greitąją ir lėtą ašis. Vienu metu varant abi ašis, galima pasiekti stabilius ir pasikartojančius rastrinius nuskaitymo modelius tiek oro, tiek vandens aplinkoje.

Mikromechaniškai apdoroti panardinami vandens nuskaitymo veidrodžiai turi didžiulį potencialą įvairioms optinėms ir akustinėms mikroskopijos programoms tiek ore, tiek skystoje aplinkoje. Šis naujas gamybos procesas ir dizainas siūlo veiksmingus ir patikimus sprendimus, atveriančius kelią vaizdo gavimo technologijų pažangai.

Žinoma, čia yra pavyzdinis DUK apie „Mikromechaniškai apdorotą panardinamą nuskaitymo veidrodį naudojant BoPET vyrius“:
1. Kas yra mikromechaniškai apdorotas panardinamasis nuskaitymo veidrodis?
Mikromechaninis panardinamasis skenavimo veidrodis yra mažas prietaisas, naudojamas šviesai nukreipti ir nuskaityti įvairiose srityse, tokiose kaip lazerinis skenavimas, medicininis vaizdavimas ir rodymo technologijos.

2. Kas yra BoPET vyriai?
BoPET (b

3. Kokie yra BoPET vyrių naudojimo nuskaitymo veidrodyje pranašumai?
BoPET vyriai pasižymi išskirtiniu lankstumu, ilgaamžiškumu ir nebrangiomis gamybos sąnaudomis, todėl puikiai tinka naudoti mikromechaniškai apdorotuose nuskaitymo veidrodžiuose įvairioms reikmėms.

4. Kaip veikia mikromechaniškai apdorotas panardinamasis nuskaitymo veidrodis?
Mikromechaniškai apdorotas panardinamasis nuskaitymo veidrodis naudoja BoPET vyrius, kad sukurtų lankstų ir tikslų nuskaitymo mechanizmą, kuris efektyviai nukreipia ir kontroliuojamai nuskaito šviesą.

5. Kokie galimi mikromechaniškai apdoroto panardinamojo nuskaitymo veidrodžio pritaikymai?
Mikromechaniškai apdorotas panardinamasis nuskaitymo veidrodis turi daugybę galimų pritaikymų, įskaitant lazerinį skenavimą, endoskopinį vaizdą, optinę koherentinę tomografiją ir papildytosios realybės ekranus.