Aosite, पासून 1993
अल्ट्रासाऊंड आणि फोटोकॉस्टिक मायक्रोस्कोपीमध्ये पाण्याचे विसर्जन स्कॅनिंग मिररचा वापर फोकस केलेले बीम आणि अल्ट्रासाऊंड बीम स्कॅन करण्यासाठी फायदेशीर असल्याचे सिद्ध झाले आहे. फॅब्रिकेशन प्रक्रिया आणखी वाढविण्यासाठी, एक नवीन पद्धत विकसित केली गेली आहे जी या आरशांचे सूक्ष्मीकरण आणि मोठ्या प्रमाणात उत्पादन करण्यास परवानगी देते. स्थिर आणि गतिमान दोन्ही प्रकारे आरशांच्या इलेक्ट्रोमेकॅनिकल वर्तनाचे अचूक अनुकरण करण्यासाठी 3D मल्टीफिजिक्स मर्यादित घटक मॉडेल देखील तयार केले गेले आहे. प्रायोगिक चाचण्या आणि वैशिष्ट्यांनी जल विसर्जन स्कॅनिंग मिररचे स्कॅनिंग कार्यप्रदर्शन यशस्वीरित्या सत्यापित केले आहे.
या अभ्यासामध्ये, BoPET (biaxial oriented polyethylene terephthalate) Hinge चा वापर करून मायक्रोमशिनयुक्त दोन-अक्षीय पाण्याचे विसर्जन स्कॅनिंग मिरर सादर करण्यात आला आहे. फॅब्रिकेशन प्रक्रियेमध्ये हायब्रीड सिलिकॉन-BoPET सब्सट्रेटवर डीप प्लाझ्मा एचिंग समाविष्ट आहे, उच्च-रिझोल्यूशन पॅटर्निंग आणि व्हॉल्यूम उत्पादन क्षमता सक्षम करते. या पद्धतीचा वापर करून तयार केलेला प्रोटोटाइप स्कॅनिंग मिरर 5x5x5 मिमी^3 मोजतो, जो सामान्य सिलिकॉन-आधारित मायक्रो-स्कॅनिंग मिररशी तुलना करता येतो. मिरर प्लेटचा आकार 4x4 mm^2 आहे, जो ऑप्टिकल किंवा ध्वनिक बीम स्टीयरिंगसाठी मोठे छिद्र प्रदान करतो.
वेगवान आणि मंद अक्षांची रेझोनान्स फ्रिक्वेन्सी हवेत चालवताना अनुक्रमे 420 Hz आणि 190 Hz मोजली जाते. तथापि, पाण्यात विसर्जित केल्यावर, ही वारंवारता अनुक्रमे 330 Hz आणि 160 Hz पर्यंत कमी होते. परावर्तित मिररचे झुकणारे कोन ड्राइव्ह करंट्ससह बदलतात, वेगवान आणि मंद अक्षांच्या भोवती ±3.5° पर्यंत झुकाव कोनांसह एक रेषीय संबंध दर्शवितात. एकाच वेळी दोन्ही अक्ष चालवून, हवा आणि पाण्याच्या दोन्ही वातावरणात स्थिर आणि पुनरावृत्ती करण्यायोग्य रास्टर स्कॅन नमुने मिळवता येतात.
मायक्रोमशिन्ड वॉटर इमर्शन स्कॅनिंग मिररमध्ये हवा आणि द्रव वातावरणात, ऑप्टिकल आणि अकौस्टिक मायक्रोस्कोपी ऍप्लिकेशन्सच्या विस्तृत श्रेणी स्कॅनिंगसाठी प्रचंड क्षमता आहे. ही नवीन फॅब्रिकेशन प्रक्रिया आणि डिझाइन कार्यक्षम आणि विश्वासार्ह उपाय देतात, ज्यामुळे इमेजिंग तंत्रज्ञानातील प्रगतीचा मार्ग मोकळा होतो.
नक्कीच, येथे "BoPET Hinges वापरून मायक्रोमशीन इमर्शन स्कॅनिंग मिरर" साठी एक नमुना FAQ आहे:
1. मायक्रोमशिन इमर्सन स्कॅनिंग मिरर म्हणजे काय?
मायक्रोमॅचिन केलेले विसर्जन स्कॅनिंग मिरर हे लेसर स्कॅनिंग, मेडिकल इमेजिंग आणि डिस्प्ले तंत्रज्ञान यासारख्या विविध अनुप्रयोगांमध्ये प्रकाश निर्देशित करण्यासाठी आणि स्कॅनिंगसाठी वापरले जाणारे एक लहान उपकरण आहे.
2. BoPET बिजागर काय आहेत?
BoPET (Biaxially-oriented polyethylene terephthalate) बिजागर हे लवचिक, मजबूत आणि हलके बिजागर साहित्य आहेत जे त्यांच्या उत्कृष्ट यांत्रिक गुणधर्मांमुळे सामान्यतः मायक्रोमशिनिंग ऍप्लिकेशन्समध्ये वापरले जातात.
3. स्कॅनिंग मिररमध्ये BoPET हिंग्ज वापरण्याचे फायदे काय आहेत?
BoPET बिजागर उच्च लवचिकता, टिकाऊपणा आणि कमी खर्चात उत्पादन देतात, ज्यामुळे ते विविध ऍप्लिकेशन्ससाठी मायक्रोमशीन स्कॅनिंग मिररमध्ये वापरण्यासाठी आदर्श बनतात.
4. मायक्रोमशिन केलेले विसर्जन स्कॅनिंग मिरर कसे कार्य करते?
मायक्रोमशिन्ड इमर्शन स्कॅनिंग मिरर एक लवचिक आणि अचूक स्कॅनिंग यंत्रणा तयार करण्यासाठी BoPET बिजागरांचा वापर करते जे नियंत्रित पद्धतीने प्रकाशाला कार्यक्षमतेने निर्देशित करते आणि स्कॅन करते.
5. मायक्रोमशीन इमर्शन स्कॅनिंग मिररचे संभाव्य अनुप्रयोग काय आहेत?
मायक्रोमशिन्ड इमर्शन स्कॅनिंग मिररमध्ये लेझर स्कॅनिंग, एंडोस्कोपिक इमेजिंग, ऑप्टिकल कोहेरेन्स टोमोग्राफी आणि ऑगमेंटेड रिॲलिटी डिस्प्ले यासह संभाव्य अनुप्रयोगांची विस्तृत श्रेणी आहे.