BoPET ヒンジを使用した微細加工液浸走査ミラー

超音波顕微鏡および光音響顕微鏡での水浸走査ミラーの利用は、集束ビームおよび超音波ビームの走査に有益であることが証明されています。 製造プロセスをさらに強化するために、これらのミラーの小型化と大量生産を可能にする新しい方法が開発されました。 ミラーの電気機械的動作を静的および動的の両方で正確にシミュレートするために、3D マルチフィジックス有限要素モデルも作成されました。 実験的テストと特性評価により、水浸走査ミラーの走査性能が正常に検証されました。

本研究では、BoPET（二軸延伸ポリエチレンテレフタレート）ヒンジを使用した微細加工二軸水浸走査ミラーを紹介しました。 製造プロセスには、ハイブリッド シリコン-BoPET 基板上のディープ プラズマ エッチングが含まれ、高解像度のパターニングと大量生産能力が可能になります。 このアプローチを使用して製造されたプロトタイプの走査ミラーのサイズは 5x5x5 mm^3 で、これは一般的なシリコンベースのマイクロ走査ミラーに匹敵します。 ミラー プレートのサイズは 4x4 mm^2 で、光学または音響ビームのステアリングに大きな開口を提供します。

空気中で動作させた場合、速軸と遅軸の共振周波数はそれぞれ 420 Hz と 190 Hz と測定されます。 ただし、水に浸すと、これらの周波数はそれぞれ 330 Hz と 160 Hz に減少します。 反射ミラーの傾斜角は駆動電流に応じて変化し、速軸および遅軸を中心に±3.5°までの傾斜角と線形関係を示します。 両方の軸を同時に駆動することにより、空気環境と水環境の両方で安定した繰り返し可能なラスター スキャン パターンを実現できます。

微細加工された水浸走査ミラーは、空気環境と液体環境の両方で、幅広い走査型光学顕微鏡および音響顕微鏡用途に計り知れない可能性を秘めています。 この新しい製造プロセスと設計は、効率的で信頼性の高いソリューションを提供し、イメージング技術の進歩への道を切り開きます。

確かに、これは「BoPET ヒンジを使用した微細加工液浸走査ミラー」に関するサンプル FAQ です。：
1. 微細加工液浸走査ミラーとは何ですか?
微細加工された液浸走査ミラーは、レーザー走査、医療画像処理、ディスプレイ技術などのさまざまな用途で光を方向付け、走査するために使用される小型のデバイスです。

2. BoPET ヒンジとは何ですか?
BoPET (二軸延伸ポリエチレンテレフタレート) ヒンジは、柔軟性、強度、軽量のヒンジ材料であり、優れた機械的特性により微細加工用途でよく使用されます。

3. 走査ミラーに BoPET ヒンジを使用する利点は何ですか?
BoPET ヒンジは、優れた柔軟性、耐久性、低コストの製造を提供するため、さまざまな用途の微細加工走査ミラーでの使用に最適です。

4. 微細加工された液浸走査ミラーはどのように機能するのでしょうか?
微細加工された液浸走査ミラーは、BoPET ヒンジを使用して、制御された方法で光を効率的に方向付けて走査する、柔軟で正確な走査機構を作成します。

5. 微細加工された液浸走査ミラーの潜在的な用途は何ですか?
微細加工された液浸走査ミラーには、レーザー走査、内視鏡イメージング、光コヒーレンストモグラフィー、拡張現実ディスプレイなど、幅広い用途の可能性があります。