Аосит, бери 1993
УЗИ жана фотоакустикалык микроскопияда сууга чөмүлүүчү сканирлөөчү күзгүлөрдү колдонуу фокустук нурларды жана ультра үн нурларын сканерлөө үчүн пайдалуу экени далилденген. Даярдоо процессин мындан ары жакшыртуу учун бул айналарды кичирейтууге жана массалык турде жасап чыгарууга мумкундук берген жацы метод иштелип чыкты. Күзгүлөрдүн электромеханикалык жүрүм-турумун статикалык жана динамикалык түрдө так моделдөө үчүн 3D мультифизикалык чектүү элементтердин модели да түзүлгөн. Эксперименталдык сыноолор жана мүнөздөмөлөр сууга чөмүлүүчү сканерлөө күзгүлөрүнүн сканерлөө ишин ийгиликтүү тастыктады.
Бул изилдөөдө BoPET (биаксиалдуу багытталган полиэтилентерефталат) шарнигин колдонуу менен микромашиналанган эки огу сууга чөмүлүүчү сканерлөөчү күзгү киргизилген. Жасалма процесси гибриддик кремний-BoPET субстратында терең плазманы оюп алууну камтыйт, бул жогорку чечилиштеги үлгүлөрдү жана көлөмдү өндүрүү мүмкүнчүлүгүн берет. Бул ыкманы колдонуу менен өндүрүлгөн сканерлөөчү күзгүнүн прототиби 5x5x5 мм^3 өлчөмүндө, бул кремний негизиндеги типтүү микроскандоочу күзгүлөр менен салыштырууга болот. Күзгү плитасынын өлчөмү 4x4 мм^2, оптикалык же акустикалык нурларды башкаруу үчүн чоңураак апертураны камсыз кылат.
Тез жана жай октордун резонанстык жыштыктары абада иштегенде тиешелүүлүгүнө жараша 420 Гц жана 190 Гц болуп өлчөнөт. Бирок, сууга чөмүлгөндө бул жыштыктар тиешелүүлүгүнө жараша 330 Гц жана 160 Гцге чейин төмөндөйт. Чагылдыруучу күзгүнүн эңкейүү бурчтары кыймылдаткыч агымдарына жараша өзгөрүп, тез жана жай октордун тегерегинде ±3,5°ке чейинки эңкейүү бурчтары менен сызыктуу байланышты көрсөтөт. Бир эле учурда эки окту айдоо менен абада да, сууда да туруктуу жана кайталануучу растр сканерлөө үлгүлөрүнө жетишүүгө болот.
Микромашиналанган сууга чөмүлүүчү сканерлөө күзгүлөрү абада да, суюктукта да сканерлөөчү оптикалык жана акустикалык микроскопиялык колдонмолордун кеңири спектри үчүн чоң потенциалга ээ. Бул жаңы өндүрүш процесси жана дизайн эффективдүү жана ишенимдүү чечимдерди сунуштап, сүрөт тартуу технологияларындагы прогресске жол ачат.
Албетте, бул жерде "BoPET илгичтерин колдонуу менен микромашиналанган чөмүлүү сканерлөө күзгүсү" үчүн КБ үлгүсү:
1. Микромашиналуу чөмүлүү сканерлөө күзгүсү деген эмне?
Микромашиналуу чөмүлүүчү сканерлөө күзгүсү – бул лазердик сканерлөө, медициналык сүрөттөө жана дисплей технологиялары сыяктуу ар кандай тиркемелерде жарыкты багыттоо жана сканерлөө үчүн колдонулган кичинекей түзүлүш.
2. BoPET илгичтери деген эмне?
BoPET (Biaxially-oriented polyethyleneterefthhalate) шарнирлери ийкемдүү, бышык жана жеңил илгич материалдары болуп саналат, алар эң сонун механикалык касиеттеринен улам микромашинингде кеңири колдонулат.
3. BoPET илгичтерин сканерлөө күзгүсүндө колдонуунун кандай артыкчылыктары бар?
BoPET илгичтери жогорку ийкемдүүлүктү, бышыктыкты жана арзан өндүрүштү сунуштайт, бул аларды ар кандай тиркемелер үчүн микромашинардык сканерлөө күзгүлөрүндө колдонуу үчүн идеалдуу кылат.
4. Микромашиналык чөмүлүү сканерлөө күзгүсү кантип иштейт?
Микромашиновкаланган чөмүлүүчү сканерлөө күзгүсү BoPET илгичтерин ийкемдүү жана так сканерлөө механизмин түзүү үчүн колдонот, ал жарыкты башкарылуучу ыкма менен эффективдүү багыттайт жана сканерлейт.
5. Микромашиналуу чөмүлүү сканерлөө күзгүнүн потенциалдуу колдонмолору кандай?
Микромашиналуу чөмүлүүчү сканерлөө күзгүсү лазердик сканерлөө, эндоскопиялык сүрөттөө, оптикалык когеренттик томография жана кеңейтилген реалдуулук дисплейлерин камтыган кеңири спектрге ээ.