Mikroobdelovano potopno skenirajoče ogledalo z uporabo BoPET tečajev

Izkazalo se je, da je uporaba skenirnih zrcal z vodno imerzijo v ultrazvočni in fotoakustični mikroskopiji koristna za skeniranje fokusiranih žarkov in ultrazvočnih žarkov. Za nadaljnjo izboljšavo postopka izdelave je bila razvita nova metoda, ki omogoča miniaturizacijo in množično proizvodnjo teh ogledal. Ustvarjen je bil tudi 3D multifizični model končnih elementov za natančno simulacijo elektromehanskega obnašanja ogledal, tako statično kot dinamično. Eksperimentalni testi in karakterizacije so uspešno potrdili učinkovitost skeniranja ogledal za skeniranje v vodi.

V tej študiji je bilo uvedeno mikrostrojno dvoosno zrcalo za skeniranje, potopljeno v vodo, ki uporablja šarnir BoPET (biaksialno usmerjen polietilen tereftalat). Postopek izdelave vključuje globoko plazemsko jedkanje na hibridnem substratu iz silicija in BoPET-a, kar omogoča vzorčenje visoke ločljivosti in zmogljivost serijske proizvodnje. Prototipno zrcalo za skeniranje, izdelano s tem pristopom, meri 5x5x5 mm^3, kar je primerljivo s tipičnimi ogledali za mikroskeniranje na osnovi silicija. Velikost zrcalne plošče je 4x4 mm^2, kar zagotavlja večjo odprtino za optično ali akustično usmerjanje žarka.

Izmerjene resonančne frekvence hitre in počasne osi so 420 Hz oziroma 190 Hz, ko delujejo v zraku. Ko pa je potopljen v vodo, se te frekvence znižajo na 330 Hz oziroma 160 Hz. Nagibni koti zrcala se spreminjajo s pogonskimi tokovi in ​​kažejo linearno razmerje s koti nagiba do ±3,5° okoli hitre in počasne osi. S hkratnim poganjanjem obeh osi je mogoče doseči stabilne in ponovljive vzorce rastrskega skeniranja v zračnem in vodnem okolju.

Mikrostrojno obdelana vodna potopna skenirna zrcala imajo ogromen potencial za široko paleto aplikacij skenirne optične in akustične mikroskopije, tako v zračnem kot tekočem okolju. Ta nov postopek izdelave in zasnova ponujata učinkovite in zanesljive rešitve ter utirata pot napredku v tehnologijah slikanja.

Seveda, tukaj je vzorec pogostih vprašanj za "Mikrostrojno potopno optično ogledalo z uporabo BoPET tečajev":
1. Kaj je mikrostrojno potopno optično ogledalo?
Mikroobdelovano potopno skenirno ogledalo je majhna naprava, ki se uporablja za usmerjanje in skeniranje svetlobe v različnih aplikacijah, kot so lasersko skeniranje, medicinsko slikanje in zaslonske tehnologije.

2. Kaj so tečaji BoPET?
Tečaji BoPET (dvoosno usmerjen polietilen tereftalat) so prilagodljivi, močni in lahki materiali za tečaje, ki se zaradi svojih odličnih mehanskih lastnosti pogosto uporabljajo v aplikacijah mikrostrojne obdelave.

3. Kakšne so prednosti uporabe tečajev BoPET v ogledalu za skeniranje?
Tečaji BoPET ponujajo vrhunsko prilagodljivost, vzdržljivost in poceni proizvodnjo, zaradi česar so idealni za uporabo v zrcalih za mikrostrojno skeniranje za različne aplikacije.

4. Kako deluje mikroobdelovano potopno optično ogledalo?
Mikrostrojno obdelano potopno skenirno ogledalo uporablja tečaje BoPET za ustvarjanje prilagodljivega in natančnega skenirnega mehanizma, ki učinkovito usmerja in kontrolirano skenira svetlobo.

5. Kakšne so možne uporabe potopnega zrcala za skeniranje z mikrostroji?
Mikrostrojno potopno skenirajoče ogledalo ima široko paleto potencialnih aplikacij, vključno z laserskim skeniranjem, endoskopskim slikanjem, optično koherentno tomografijo in zasloni razširjene resničnosti.