奥斯特，自 1993
使用 BoPET 铰链的微机械浸入式扫描镜
事实证明，在超声波和光声显微镜中使用水浸扫描镜有利于扫描聚焦光束和超声波束。 为了进一步改进制造工艺，开发了一种新方法，可以实现这些镜子的小型化和大规模生产。 还创建了 3D 多物理场有限元模型，以准确模拟镜子的静态和动态机电行为。 实验测试和表征成功验证了水浸式扫描镜的扫描性能。
在这项研究中，介绍了一种使用 BoPET（双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯）铰链的微机械双轴水浸扫描镜。 制造工艺涉及在混合硅-BoPET 基板上进行深度等离子蚀刻，从而实现高分辨率图案化和批量制造能力。 使用这种方法生产的原型扫描镜尺寸为 5x5x5 mm^3，与典型的硅基微扫描镜相当。 镜板尺寸为 4x4 mm^2，为光学或声束控制提供更大的孔径。
在空气中操作时，测得快轴和慢轴的共振频率分别为 420 Hz 和 190 Hz。 然而，当浸入水中时，这些频率分别降低至 330 Hz 和 160 Hz。 反射镜的倾斜角度随驱动电流的变化而变化，在快轴和慢轴周围的倾斜角度呈±3.5°的线性关系。 通过同时驱动两个轴，可以在空气和水环境中实现稳定且可重复的光栅扫描模式。
微机械水浸扫描镜在空气和液体环境中的各种扫描光学和声学显微镜应用中具有巨大的潜力。 这种新的制造工艺和设计提供了高效可靠的解决方案，为成像技术的进步铺平了道路。
当然，这是“使用 BoPET 铰链的微机械浸入式扫描镜”的常见问题解答示例：
1. 什么是微机械浸没扫描镜？
微机械浸没式扫描镜是一种小型设备，用于在激光扫描、医学成像和显示技术等各种应用中引导和扫描光。
2. 什么是 BoPET 铰链？
BoPET（双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯）铰链是一种灵活、坚固且轻质的铰链材料，由于其优异的机械性能而常用于微加工应用。
3. 在扫描镜中使用 BoPET 铰链有哪些优点？
BoPET 铰链具有卓越的灵活性、耐用性和低成本制造能力，非常适合用于各种应用的微机械扫描镜。
4. 微机械浸没式扫描镜如何工作？
微机械浸入式扫描镜使用 BoPET 铰链创建灵活而精确的扫描机制，以受控方式有效引导和扫描光线。
5. 微机械浸没式扫描镜有哪些潜在应用？
微机械浸没扫描镜具有广泛的潜在应用，包括激光扫描、内窥镜成像、光学相干断层扫描和增强现实显示。
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