Aosite, kaha 1993
Tšebeliso ea liipone tse qoelisoang ka metsing ka har'a ultrasound le photoacoustic microscopy e ipakile e le molemo bakeng sa ho hlahloba maballo a tsepamisitsoeng le maballo a ultrasound. Ho tsoela pele ho ntlafatsa mokhoa oa ho etsa lihlahisoa, ho entsoe mokhoa o mocha o lumellang hore ho be le miniaturization le tlhahiso e kholo ea liipone tsena. Moetso oa finite finite 3D oa multiphysics o boetse o entsoe ho etsisa ka nepo boitšoaro ba liipone tsa electromechanical, ka mokhoa o tsitsitseng le ka matla. Liteko tsa liteko le libopeho li netefalitse ka katleho ts'ebetso ea skena ea liipone tsa ho qoelisoa ka metsing.
Thutong ena, seipone sa ho qoelisoa ka metsing se nang le micromachined tse peli tsa metsi se sebelisang BoPET (biaxially oriented polyethylene terephthalate) Hinge e hlahisitsoe. Ts'ebetso ea ho etsa masela e kenyelletsa ho kenngoa ha plasma e tebileng holim'a substrate e nyalisitsoeng ea silicon-BoPET, e nolofalletsang mokhoa oa ho etsa liphetho tse phahameng le bokhoni ba ho etsa molumo. Seipone sa ho hlahloba mohlala se hlahisoang ka mokhoa ona se lekanya 5x5x5 mm ^ 3, e ka bapisoang le liipone tse tloaelehileng tsa silicon-based micro-scanning. Boholo ba poleiti ea seipone ke 4x4 mm^2, e fana ka sebaka se seholoanyane bakeng sa tsamaiso ea optical kapa acoustic beam.
Maqhubu a resonance ea lilepe tse potlakileng le tse liehang li lekantsoe ho ba 420 Hz le 190 Hz, ka ho latellana, ha li sebetsoa moeeng. Leha ho le joalo, ha u qoelisoa ka metsing, maqhubu ana a fokotseha ho 330 Hz le 160 Hz, ka ho latellana. Li-angles tse sekamang tsa seipone se bonesang li fapana ho ea ka maqhubu a koloi, li bonts'a kamano e nang le li-angles tse sekameng ho fihla ho ± 3.5° ho potoloha lilepe tse lebelo le tse liehang. Ka ho khanna lilepe tse peli ka nako e le 'ngoe, mekhoa e tsitsitseng le e pheta-phetoang ea raster scan e ka fumaneha maemong a moea le a metsi.
Liipone tsa ho qoelisoa ka metsing tse nang le micromachined li na le bokhoni bo boholo bakeng sa mefuta e mengata e fapaneng ea lits'ebetso tsa maekrofono a acoustic, moeeng le tikolohong ea metsi. Mokhoa ona o mocha oa ho qapa le moralo o fana ka litharollo tse sebetsang hantle le tse tšepahalang, tse bulang tsela bakeng sa tsoelo-pele ea mahlale a litšoantšo.
Ehlile, mona ke mohlala oa FAQ oa "Micromachined Immersion Scanning Mirror U Sebelisa BoPET Hinges":
1. Seipone sa ho qoelisoa se entsoeng ka micromachine ke eng?
Seipone sa ho qoelisoa se nang le micromachined ke sesebelisoa se senyenyane se sebelisetsoang ho tsamaisa le ho hlahloba leseli lits'ebetsong tse fapaneng tse kang laser scanning, imaging ea bongaka, le theknoloji ea pontšo.
2. Lihokelo tsa BoPET ke eng?
Li-hinges tsa BoPET (Biaxially-oriented polyethylene terephthalate) ke lisebelisoa tsa hinge tse tenyetsehang, tse matla, le tse bobebe tse sebelisoang hangata lits'ebetsong tsa micromachining ka lebaka la thepa ea tsona e ntle ea mochini.
3. Melemo ea ho sebelisa lihokelo tsa BoPET seiponeng sa ho hlahloba ke efe?
Li-hinges tsa BoPET li fana ka maemo a holimo, ho tšoarella, le tlhahiso e theko e tlaase, e leng se etsang hore e be tse loketseng ho sebelisoa liipone tsa ho hlahloba tse nyenyane bakeng sa lits'ebetso tse fapaneng.
4. Seipone sa ho qoelisoa se entsoeng ka micromachine se sebetsa joang?
Seipone sa ho qoelisoa se nang le micromachined se sebelisa lihokelo tsa BoPET ho etsa mochine o tenyetsehang le o nepahetseng oa ho lekola o tsamaisang le ho lekola leseli ka mokhoa o laolehileng.
5. Ke lisebelisoa life tse ka bang teng tsa seipone sa ho qoelisoa se entsoeng ka micromachine?
Seipone sa ho qoelisoa se nang le micromachined se na le mefuta e mengata ea lisebelisoa tse kenyeletsang laser scanning, endoscopic imaging, optical coherence tomography, le lipontšo tse eketsehileng tsa nnete.