Mikromehāniski apstrādāts iegremdējams skenēšanas spogulis, izmantojot BoPET eņģes

Ūdens iegremdēšanas skenēšanas spoguļu izmantošana ultraskaņas un fotoakustiskajā mikroskopijā ir izrādījusies izdevīga fokusētu staru un ultraskaņas staru skenēšanai. Lai vēl vairāk uzlabotu ražošanas procesu, ir izstrādāta jauna metode, kas ļauj miniaturizēt un masveidā ražot šos spoguļus. Ir izveidots arī 3D daudzfizikas galīgo elementu modelis, lai precīzi simulētu spoguļu elektromehānisko uzvedību gan statiski, gan dinamiski. Eksperimentālie testi un raksturojumi ir veiksmīgi pārbaudījuši ūdens iegremdēšanas skenēšanas spoguļu skenēšanas veiktspēju.

Šajā pētījumā tika ieviests mikromehāniski apstrādāts divu asu ūdens iegremdēšanas skenēšanas spogulis, izmantojot BoPET (biaksiāli orientēta polietilēntereftalāta) viru. Ražošanas process ietver dziļu plazmas kodināšanu uz hibrīda silīcija-BoPET substrāta, nodrošinot augstas izšķirtspējas rakstīšanu un apjoma ražošanas iespējas. Skenēšanas spoguļa prototips, kas ražots, izmantojot šo pieeju, ir 5x5x5 mm^3, kas ir salīdzināms ar tipiskiem mikroskenēšanas spoguļiem uz silīcija bāzes. Spoguļa plāksnes izmērs ir 4x4 mm^2, nodrošinot lielāku atvērumu optiskai vai akustiskai staru kūļa vadībai.

Ātrās un lēnās ass rezonanses frekvences tiek mērītas attiecīgi 420 Hz un 190 Hz, ja tās darbojas gaisā. Taču, iegremdējot ūdenī, šīs frekvences samazinās līdz attiecīgi 330 Hz un 160 Hz. Atstarojošā spoguļa slīpuma leņķi mainās atkarībā no piedziņas strāvām, parādot lineāru attiecību ar slīpuma leņķiem līdz ±3,5° ap ātro un lēno asi. Vienlaicīgi virzot abas asis, var panākt stabilus un atkārtojamus rastra skenēšanas modeļus gan gaisa, gan ūdens vidē.

Mikromehāniski apstrādātiem ūdens iegremdēšanas skenēšanas spoguļiem ir milzīgs potenciāls plašam skenēšanas optiskās un akustiskās mikroskopijas lietojumu klāstam gan gaisa, gan šķidruma vidē. Šis jaunais ražošanas process un dizains piedāvā efektīvus un uzticamus risinājumus, paverot ceļu attēlveidošanas tehnoloģiju attīstībai.

Protams, šeit ir FAQ paraugs "Mikromašīnas iegremdēšanas skenēšanas spogulis, izmantojot BoPET eņģes":
1. Kas ir mikromehāniski apstrādāts iegremdēšanas skenēšanas spogulis?
Mikromehāniski apstrādāts iegremdēšanas skenēšanas spogulis ir neliela ierīce, ko izmanto gaismas virzīšanai un skenēšanai dažādās lietojumprogrammās, piemēram, lāzerskenēšanā, medicīniskajā attēlveidošanā un displeja tehnoloģijās.

2. Kas ir BoPET eņģes?
BoPET (biaksiāli orientētas polietilēntereftalāta) eņģes ir elastīgi, spēcīgi un viegli eņģes materiāli, ko parasti izmanto mikroapstrādē, pateicoties to lieliskām mehāniskajām īpašībām.

3. Kādas ir BoPET eņģu izmantošanas priekšrocības skenēšanas spogulī?
BoPET eņģes piedāvā izcilu elastību, izturību un zemas ražošanas izmaksas, padarot tās ideāli piemērotas izmantošanai mikromehāniski apstrādātos skenēšanas spoguļos dažādiem lietojumiem.

4. Kā darbojas mikromehāniski apstrādāts iegremdēšanas skenēšanas spogulis?
Mikromehāniski apstrādāts iegremdējamais skenēšanas spogulis izmanto BoPET eņģes, lai izveidotu elastīgu un precīzu skenēšanas mehānismu, kas efektīvi virza un kontrolētā veidā skenē gaismu.

5. Kādi ir potenciālie mikromehāniski apstrādāta iegremdēšanas skenēšanas spoguļa pielietojumi?
Mikromehāniski apstrādātajam iegremdēšanas skenēšanas spogulim ir plašs potenciālo pielietojumu klāsts, tostarp lāzerskenēšana, endoskopiskā attēlveidošana, optiskās koherences tomogrāfija un paplašinātās realitātes displeji.