Aosite, beri 1993
Ultratovush va fotoakustik mikroskopiyada suvga cho'mdiruvchi skanerlash oynalaridan foydalanish fokuslangan nurlar va ultratovush nurlarini skanerlash uchun foydali ekanligi isbotlangan. Ishlab chiqarish jarayonini yanada yaxshilash uchun ushbu nometalllarni miniatyuralashtirish va ommaviy ishlab chiqarish imkonini beruvchi yangi usul ishlab chiqildi. Ko'zgularning elektromexanik xatti-harakatlarini statik va dinamik ravishda aniq taqlid qilish uchun 3D multifizik sonli elementlar modeli ham yaratilgan. Eksperimental sinovlar va xarakteristikalar suvga cho'mdiruvchi skanerlash oynalarining skanerlash samaradorligini muvaffaqiyatli tasdiqladi.
Ushbu tadqiqotda BoPET (ikki eksenli yo'naltirilgan polietilen tereftalat) menteşesi yordamida mikromashinali ikki o'qli suvga cho'mdiruvchi skanerlash oynasi joriy etildi. Ishlab chiqarish jarayoni gibrid kremniy-BoPET substratida chuqur plazma qirqishni o'z ichiga oladi, bu yuqori aniqlikdagi naqsh va hajmli ishlab chiqarish qobiliyatini ta'minlaydi. Ushbu yondashuv yordamida ishlab chiqarilgan skanerlash oynasining prototipi 5x5x5 mm ^ 3 o'lchamini o'lchaydi, bu kremniyga asoslangan oddiy mikro skanerlash oynalari bilan solishtirish mumkin. Oyna plitasining o'lchami 4x4 mm ^ 2 bo'lib, optik yoki akustik nurni boshqarish uchun kattaroq diafragmani ta'minlaydi.
Tez va sekin o'qlarning rezonans chastotalari havoda ishlaganda mos ravishda 420 Gts va 190 Gts deb o'lchanadi. Biroq, suvga botirilganda, bu chastotalar mos ravishda 330 Gts va 160 Gts gacha kamayadi. Ko'zgu oynasining egilish burchaklari haydovchi oqimlari bilan farq qiladi, bu tez va sekin o'qlar atrofida ± 3,5 ° gacha bo'lgan egilish burchaklari bilan chiziqli munosabatni ko'rsatadi. Ikkala o'qni bir vaqtning o'zida haydash orqali ham havo, ham suv muhitida barqaror va takrorlanadigan rastr skanerlash naqshlariga erishish mumkin.
Mikromexanik suvga cho'mdiruvchi skanerlash oynalari havo va suyuqlik muhitida skanerlashning keng doiradagi optik va akustik mikroskopiya ilovalari uchun katta imkoniyatlarga ega. Ushbu yangi ishlab chiqarish jarayoni va dizayni samarali va ishonchli echimlarni taklif qilib, tasvirlash texnologiyalaridagi yutuqlarga yo'l ochadi.
Albatta, bu erda "BoPET ilgaklari yordamida mikromashinali immersion skanerlash oynasi" uchun tez-tez so'raladigan savollar namunasi.:
1. Mikromachinali immersion skaner oynasi nima?
Mikromachinali immersion skaner oynasi - bu lazerli skanerlash, tibbiy tasvirlash va displey texnologiyalari kabi turli xil ilovalarda yorug'likni yo'naltirish va skanerlash uchun ishlatiladigan kichik qurilma.
2. BoPET menteşalari nima?
BoPET (Ikki eksenli yo'naltirilgan polietilen tereftalat) ilgaklari moslashuvchan, kuchli va engil menteşe materiallari bo'lib, ular mukammal mexanik xususiyatlari tufayli mikro ishlov berishda keng qo'llaniladi.
3. Skaner oynasida BoPET ilmoqlaridan foydalanishning afzalliklari qanday?
BoPET ilgaklari yuqori moslashuvchanlik, chidamlilik va arzon ishlab chiqarishni taklif qiladi, bu ularni turli ilovalar uchun mikromashinali skanerlash oynalarida foydalanish uchun ideal qiladi.
4. Mikromachinali immersion skaner oynasi qanday ishlaydi?
Mikromachinali immersion skanerlash oynasi yorug'likni boshqariladigan tarzda samarali boshqaradigan va skanerlaydigan moslashuvchan va aniq skanerlash mexanizmini yaratish uchun BoPET ilmoqlaridan foydalanadi.
5. Mikromashinali immersion skanerlash oynasining potentsial ilovalari qanday?
Mikromachinali immersion skanerlash oynasi lazerli skanerlash, endoskopik ko'rish, optik kogerent tomografiya va kengaytirilgan haqiqat displeylarini o'z ichiga olgan keng imkoniyatlarga ega.