Микромашинско огледало за скенирање уроњене помоћу БоПЕТ шарки

Коришћење огледала за скенирање потапањем у воду у ултразвучној и фотоакустичној микроскопији показало се корисним за скенирање фокусираних зрака и ултразвучних зрака. Да би се додатно унапредио процес производње, развијен је нови метод који омогућава минијатуризацију и масовну производњу ових огледала. Такође је креиран 3Д мултифизички модел коначних елемената да прецизно симулира електромеханичко понашање огледала, како статички тако и динамички. Експериментални тестови и карактеризације су успешно потврдили перформансе скенирања огледала за скенирање потопљених у воду.

У овој студији, уведено је микромашинско огледало за скенирање са потапањем у воду са две осе користећи БоПЕТ (биаксијално оријентисани полиетилен терефталат) шарке. Процес производње укључује дубоко плазма гравирање на хибридној силицијум-БоПЕТ подлози, омогућавајући моделирање високе резолуције и капацитет производње. Прототип огледала за скенирање произведен овим приступом има димензије 5к5к5 мм^3, што је упоредиво са типичним огледалима за микро скенирање на бази силицијума. Величина плоче огледала је 4к4 мм^2, пружајући већи отвор за оптичко или акустично управљање снопом.

Резонантне фреквенције брзе и споре осе су измерене на 420 Хз и 190 Хз, респективно, када се раде у ваздуху. Међутим, када се уроне у воду, ове фреквенције се смањују на 330 Хз и 160 Хз, респективно. Углови нагиба рефлектујућег огледала варирају у зависности од погонских струја, показујући линеарну везу са угловима нагиба до ±3,5° око брзе и споре осе. Истовременим покретањем обе осе, могу се постићи стабилни и поновљиви обрасци скенирања растера и у ваздушном и у воденом окружењу.

Микромашинска огледала за скенирање потапањем у воду имају огроман потенцијал за широк спектар апликација скенирајуће оптичке и акустичне микроскопије, како у ваздуху тако иу течном окружењу. Овај нови процес производње и дизајн нуде ефикасна и поуздана решења, утирући пут напретку у технологијама снимања.

Наравно, ево примера честих питања за „Микромашинско огледало за скенирање уроњавањем користећи БоПЕТ шарке“:
1. Шта је микромашинско урањајуће огледало за скенирање?
Микромашинско огледало за скенирање је мали уређај који се користи за усмеравање и скенирање светлости у различитим апликацијама као што су ласерско скенирање, медицинско снимање и технологије приказа.

2. Шта су БоПЕТ шарке?
БоПЕТ (биаксијално оријентисани полиетилен терефталат) шарке су флексибилни, јаки и лагани материјали за шарке који се због својих одличних механичких својстава обично користе у апликацијама микромашине.

3. Које су предности коришћења БоПЕТ шарки у огледалу за скенирање?
БоПЕТ шарке нуде врхунску флексибилност, издржљивост и ниску цену производње, што их чини идеалним за употребу у микромашинским огледалима за скенирање за различите примене.

4. Како ради микромашинско урањајуће огледало за скенирање?
Огледало за скенирање са микромашином користи БоПЕТ шарке да створи флексибилан и прецизан механизам за скенирање који ефикасно усмерава и скенира светлост на контролисан начин.

5. Које су потенцијалне примене микромашинског огледала за скенирање са потапањем?
Огледало за скенирање микромашином има широк спектар потенцијалних примена укључујући ласерско скенирање, ендоскопско снимање, оптичку кохерентну томографију и приказе проширене стварности.