Aosite, bəri 1993
Ultrasəs və fotoakustik mikroskopiyada suya batırılmış skan edən güzgülərin istifadəsi fokuslanmış şüaları və ultrasəs şüalarını skan etmək üçün faydalı olduğunu sübut etdi. İstehsal prosesini daha da təkmilləşdirmək üçün bu güzgülərin miniatürləşdirilməsinə və kütləvi istehsalına imkan verən yeni üsul işlənib hazırlanmışdır. Güzgülərin elektromexaniki davranışını həm statik, həm də dinamik olaraq dəqiq simulyasiya etmək üçün 3D multifizika sonlu elementlər modeli də yaradılmışdır. Eksperimental sınaqlar və xarakteristikalar suya daldırma skan edən güzgülərin skan performansını uğurla təsdiqlədi.
Bu işdə, BoPET (ikioxlu yönümlü polietilen tereftalat) Menteşəsindən istifadə edərək mikroişlənmiş iki oxlu suya batırılmış skan edən güzgü təqdim edilmişdir. İstehsal prosesi yüksək rezolyusiyada modelləşdirmə və həcmli istehsal qabiliyyətinə imkan verən hibrid silikon-BoPET substratı üzərində dərin plazma aşındırılmasını nəzərdə tutur. Bu yanaşma ilə istehsal edilən prototip skan edən güzgü 5x5x5 mm^3 ölçüdədir ki, bu da adi silikon əsaslı mikro skan edən güzgülərlə müqayisə edilə bilər. Güzgü boşqabının ölçüsü 4x4 mm^2-dir, optik və ya akustik şüaların idarə edilməsi üçün daha böyük diyaframı təmin edir.
Sürətli və yavaş oxların rezonans tezlikləri havada işləyərkən müvafiq olaraq 420 Hz və 190 Hz olaraq ölçülür. Lakin suya batırıldıqda bu tezliklər müvafiq olaraq 330 Hz və 160 Hz-ə qədər azalır. Yansıtıcı güzgünün əyilmə bucaqları sürücü cərəyanlarına görə dəyişir, sürətli və yavaş oxlar ətrafında ±3,5°-ə qədər əyilmə bucaqları ilə xətti əlaqəni göstərir. Hər iki oxu eyni vaxtda idarə etməklə, həm hava, həm də su mühitində sabit və təkrarlanan rastr tarama nümunələrinə nail olmaq olar.
Mikro emal edilmiş suya batırılmış skan edən güzgülər həm hava, həm də maye mühitlərdə geniş spektrli skan edən optik və akustik mikroskop tətbiqləri üçün böyük potensiala malikdir. Bu yeni istehsal prosesi və dizayn təsvir texnologiyalarında irəliləyişlərə yol açaraq səmərəli və etibarlı həllər təklif edir.
Əlbəttə, burada "BoPET menteşələrindən istifadə edən mikro emallı daldırma skan edən güzgü" üçün tez-tez verilən suallar nümunəsidir.:
1. Mikromexaniki immersion skan edən güzgü nədir?
Mikromallaşdırılmış immersion skan edən güzgü lazer skanı, tibbi görüntüləmə və ekran texnologiyaları kimi müxtəlif tətbiqlərdə işığı istiqamətləndirmək və skan etmək üçün istifadə edilən kiçik bir cihazdır.
2. BoPET menteşələri nədir?
BoPET (Biaxially-oriented polietilen tereftalat) menteşələri mükəmməl mexaniki xüsusiyyətlərinə görə mikro emal tətbiqlərində geniş istifadə olunan çevik, möhkəm və yüngül menteşə materiallarıdır.
3. Skan güzgüsündə BoPET menteşələrindən istifadə etməyin üstünlükləri hansılardır?
BoPET menteşələri üstün çeviklik, davamlılıq və aşağı qiymətli istehsal təklif edir ki, bu da onları müxtəlif tətbiqlər üçün mikro emal edilmiş skan güzgülərində istifadə üçün ideal edir.
4. Mikro emal edilmiş daldırma skan edən güzgü necə işləyir?
Mikro emal edilmiş immersion skan edən güzgü, işığı idarə olunan şəkildə səmərəli şəkildə istiqamətləndirən və skan edən çevik və dəqiq tarama mexanizmi yaratmaq üçün BoPET menteşələrindən istifadə edir.
5. Mikro emal edilmiş daldırma skan güzgüsünün potensial tətbiqləri hansılardır?
Mikromexaniki immersion skan edən güzgü lazer skanı, endoskopik görüntüləmə, optik koherens tomoqrafiya və artırılmış reallıq displeyləri daxil olmaqla geniş potensial tətbiqlərə malikdir.