Аосит, түүнээс хойш 1993
Хэт авиан болон фотоакустик микроскопод усанд дүрэх сканнерийн толин тусгалыг ашиглах нь төвлөрсөн цацраг болон хэт авианы цацрагийг сканнердахад тустай болох нь батлагдсан. Үйлдвэрлэлийн процессыг улам боловсронгуй болгохын тулд эдгээр толийг жижигрүүлж, олноор нь үйлдвэрлэх боломжийг олгодог шинэ аргыг боловсруулсан. Толин тусгалуудын цахилгаан механик үйлдлийг статик болон динамик байдлаар үнэн зөв загварчлахын тулд 3D олон физикийн төгсгөлөг элементийн загварыг бий болгосон. Туршилтын туршилтууд болон шинж чанарууд нь усанд дүрэх сканнерын толины сканнерийн гүйцэтгэлийг амжилттай баталгаажуулсан.
Энэхүү судалгаанд BoPET (хоёр тэнхлэгт чиглэсэн полиэтилен терефталат) нугас ашиглан микромашинаар хийсэн хоёр тэнхлэгт усанд дүрэх толин тусгалыг нэвтрүүлсэн. Үйлдвэрлэлийн процесс нь эрлийз цахиур-BoPET субстрат дээр плазмын гүн сийлбэрийг багтаасан бөгөөд энэ нь өндөр нарийвчлалтай хэв маяг, эзлэхүүн үйлдвэрлэх боломжийг олгодог. Энэхүү аргыг ашиглан үйлдвэрлэсэн сканнерын тольны загвар нь 5х5х5 мм^3 хэмжээтэй бөгөөд энэ нь ердийн цахиурт суурилсан микро сканнерийн тольтой харьцуулах боломжтой юм. Толин тусгал хавтангийн хэмжээ нь 4х4 мм^2 бөгөөд оптик эсвэл акустик цацрагийг удирдахад илүү том нүх гаргадаг.
Агаарт ажиллах үед хурдан ба удаан тэнхлэгүүдийн резонансын давтамжийг 420 Гц ба 190 Гц гэж хэмждэг. Гэсэн хэдий ч усанд дүрэх үед эдгээр давтамжууд 330 Гц ба 160 Гц хүртэл буурдаг. Тусгал толины хазайлтын өнцөг нь хөтчийн гүйдлээс хамаарч өөр өөр байдаг бөгөөд хурдан ба удаан тэнхлэгийн эргэн тойронд ± 3.5 ° хүртэл налалтын өнцөгтэй шугаман хамаарлыг харуулдаг. Хоёр тэнхлэгийг нэгэн зэрэг хөдөлгөснөөр агаар болон усны орчинд тогтвортой, давтагдах растер сканнерийн хэв маягийг олж авах боломжтой.
Микромашинаар хийгдсэн усанд дүрэх сканнерийн толь нь агаар болон шингэн орчинд сканнердах оптик болон акустик микроскопийн өргөн хүрээний хэрэглээнд асар их боломжийг агуулдаг. Энэхүү шинэ үйлдвэрлэлийн үйл явц, дизайн нь үр дүнтэй, найдвартай шийдлүүдийг санал болгож, дүрслэх технологийн дэвшилд хүрэх замыг нээж өгдөг.
Мэдээжийн хэрэг, энд "BoPET нугас ашиглан микро машинд дүрэх сканнерийн толин тусгал"-ын тухай түгээмэл асуултуудын жишээ энд байна.:
1. Микро машинд дүрэх сканнер толь гэж юу вэ?
Микромашинаар хийсэн дүрэх сканнерийн толь нь лазер сканнер, эмнэлгийн дүрслэл, дэлгэцийн технологи гэх мэт төрөл бүрийн хэрэглээнд гэрлийг чиглүүлэх, скан хийхэд ашигладаг жижиг төхөөрөмж юм.
2. BoPET нугас гэж юу вэ?
BoPET (Biaxially-oriented полиэтилен терефталат) нугас нь уян хатан, бат бөх, хөнгөн жинтэй нугас материал бөгөөд маш сайн механик шинж чанараараа микро боловсруулахад өргөн хэрэглэгддэг.
3. Scanning толинд BoPET нугасыг ашиглах нь ямар давуу талтай вэ?
BoPET нугасууд нь дээд зэргийн уян хатан байдал, бат бөх чанар, хямд өртөгтэй үйлдвэрлэлийг санал болгодог тул янз бүрийн хэрэглээнд зориулж микромашинаар сканнердах толинд ашиглахад тохиромжтой.
4. Микро машинд дүрэх сканнер толь хэрхэн ажилладаг вэ?
Микромашинаар хийсэн дүрэх сканнерийн толин тусгал нь BoPET нугасуудыг ашиглан гэрлийг удирдан чиглүүлж, сканнердах уян хатан, нарийн сканнерийн механизмыг бий болгодог.
5. Микро машинд дүрэх сканнер толины боломжит хэрэглээ юу вэ?
Микромашинаар хийсэн дүрэх сканнерийн толин тусгал нь лазер сканнер, дурангийн дүрслэл, оптик когерент томограф, нэмэгдсэн бодит байдлын дэлгэц зэрэг өргөн хүрээний боломжит хэрэглээтэй.