Aosite, mai 1993
Ko te whakamahi i nga whakaata matawai rumaki wai i roto i te ultrasound me te moroiti photoacoustic kua kitea he painga mo te matawai i nga kurupae arotahi me nga kurupae ultrasound. Hei whakarei ake i te mahi tito, kua hangaia he tikanga hou e taea ai te whakaiti me te hanga papatipu o enei whakaata. He tauira huānga mutunga 3D multiphysics kua hangaia hei whakataurite tika i te whanonga hiko o nga whakaata, i runga i te ahua me te hihiko. Ko nga whakamatautau me nga tohu tohu kua tutuki pai te mahi matawai o nga whakaata matawai rumaki wai.
I roto i tenei rangahau, he whakaata matawai rumaki wai tuka-rua ma te whakamahi i te BoPET (biaxially oriented polyethylene terephthalate) Hinge. Kei roto i te mahi hangahanga he tarai plasma hohonu ki runga i te tïpako silicon-BoPET ranu, e taea ai te tauira taumira teitei me te kaha ki te hanga pukapuka. Ko te whakaata matawai tauira i hangaia ma te whakamahi i tenei huarahi ine te 5x5x5 mm^3, he rite ki nga whakaata matawai moroiti-a-silicon. Ko te rahi o te pereti whakaata he 4x4 mm^2, e whakarato ana i te kohao nui ake mo te urungi kurupae oro, oro ranei.
Ka inehia nga auau oro o nga toki tere me te puhoi ki te 420 Hz me te 190 Hz, ina mahi i te hau. Heoi, ka rukuhia ki te wai, ka heke enei iarere ki te 330 Hz me te 160 Hz, ia. He rereke nga koki honga o te whakaata whakaata ki nga au puku, e whakaatu ana i te hononga raina me nga koki honga ki te ±3.5° huri noa i nga toki tere me te puhoi. Ma te taraiwa i nga toki e rua, ka taea nga tauira matawai raster pumau me te tukurua i nga taiao hau me te wai.
Ko nga whakaata matawai rumaki wai micromachined e mau ana i te kaha nui mo te whānuitanga o nga tono moroiti matawai me te acoustic microscopy, i roto i te hau me te taiao wai. Ko tenei mahinga hanga me te hoahoa hou e tuku ana i nga otinga pai me te pono, e para ana i te huarahi mo te ahunga whakamua i roto i nga hangarau whakaahua.
Ae, koinei te tauira FAQ mo te "Micromachined Immersion Scanning Mirror Using BoPET Hinges":
1. He aha te whakaata matawai rumaki micromachined?
Ko te whakaata matawai rumaki micromachined he taputapu iti e whakamahia ana hei arahi me te matawai rama i roto i nga momo tono penei i te matawai taiaho, te atahanga rongoa, me nga hangarau whakaatu.
2. He aha nga here BoPET?
Ko nga here BoPET (Biaxially-oriented polyethylene terephthalate) he mea ngawari, he kaha, he maamaa nga rauemi hinge e whakamahia nuitia ana i roto i nga tono miihini miihini na te pai o o raatau taonga miihini.
3. He aha nga painga o te whakamahi i nga inihi BoPET i roto i te whakaata matawai?
Ko nga inihi BoPET he pai ake te ngawari, te mauroa, me te hanga utu iti, he pai mo te whakamahi i nga whakaata matawai miihini miihini mo nga momo tono.
4. He pehea te mahi a te whakaata matawai rumaki miihini miihini?
Ka whakamahia e te whakaata matawai rumaki micromachined nga hiwi BoPET ki te hanga i tetahi tikanga matawai ngawari me te tika e tika ana te arahi me te matawai i te marama i runga i te whakahaere.
5. He aha nga whakamahinga o te whakaata matawai rumaki miihini miihini?
Ko te whakaata matawai rumaki micromachined he maha nga momo tono ka taea te whakamahi tae atu ki te matawai taiaho, te atahanga endoscopic, te tomography hononga whatu, me nga whakaaturanga mooni kua whakanuia.