Aosite, hatramin'izay 1993
Ny fampiasana fitaratra fanindronana rano amin'ny fitarafana sy ny microscopy photoacoustic dia voaporofo fa mahasoa amin'ny fijerena ireo taratra mifantoka sy ny taratra ultrasound. Mba hanamafisana bebe kokoa ny fizotry ny fanamboarana, dia nisy fomba vaovao novolavolaina izay ahafahan'ny miniaturization sy ny famokarana faobe ireo fitaratra ireo. Modely singa finite 3D multifizika dia noforonina ihany koa mba hanahafana tsara ny fitondran-tena elektromekanika amin'ny fitaratra, na statika na mavitrika. Ny fitsapana andrana sy ny fanoritsoritana dia nanamarina tamim-pahombiazana ny fahombiazan'ny fitarafana ny fitaratra fitsirihana rano.
Ao anatin'ity fanadihadiana ity dia nampidirina ny fitaratra fitsirihana rano asitrika roa-axis miodina mampiasa BoPET (biaxially oriented polyethylene terephthalate) Hinge. Ny fizotry ny fanamboaran-damba dia misy fisintahana plasma lalina amin'ny substrate silisiôma-BoPET hybrid, ahafahan'ny lamina avo lenta sy ny fahaiza-mamokatra boky. Mirefy 5x5x5 mm^3 ny prototype scanning fitaratra novokarina tamin'ity fomba ity, izay azo ampitahaina amin'ny fitaratry ny micro-scanning mahazatra mifototra amin'ny silisiôma. Ny haben'ny takelaka fitaratra dia 4x4 mm ^ 2, manome aperture lehibe kokoa ho an'ny familiana taratra optika na acoustic.
Ny habetsan'ny resonance amin'ny famaky haingana sy miadana dia refesina ho 420 Hz sy 190 Hz, tsirairay avy, rehefa miasa amin'ny rivotra. Na izany aza, rehefa aroboka ao anaty rano, dia mihena hatrany amin'ny 330 Hz sy 160 Hz ireo frequency ireo. Ny zoro fitongilanan'ny fitaratra mitaratra dia miovaova amin'ny korianan'ny fiara, mampiseho fifandraisana tsipika miaraka amin'ny zoro fitongilana hatramin'ny ± 3.5 ° manodidina ny famaky haingana sy miadana. Amin'ny alàlan'ny fampandehanana ny famaky roa, ny maodely scan raster azo averina sy azo averina amin'ny tontolo rivotra sy rano.
Ny fitaratra fanindronana rano amin'ny micromachined dia manana fahafaha-manao lehibe ho an'ny karazana fampiasa microscopy optika sy acoustic scanning, na amin'ny tontolo rivotra sy rano. Ity dingana fanamboarana sy famolavolana vaovao ity dia manolotra vahaolana mahomby sy azo itokisana, manokatra ny lalana ho amin'ny fandrosoana amin'ny teknolojian'ny sary.
Azo antoka, ity misy santionany FAQ momba ny "Micromachined Immersion Scanning Mirror mampiasa BoPET Hinges":
1. Inona no atao hoe fitaratra asitrika asitrika micromachined?
Ny fitaratra fanindronana asitrika micromachined dia fitaovana kely ampiasaina amin'ny fitarihana sy fitarafana hazavana amin'ny fampiharana isan-karazany toy ny scanning laser, sary ara-pitsaboana, ary teknolojia fampisehoana.
2. Inona no atao hoe entona BoPET?
BoPET (Biaxially-oriented polyethylene terephthalate) hinge dia fitaovana azo esorina, matanjaka ary maivana izay matetika ampiasaina amin'ny fampiharana micromachining noho ny toetra mekanika tena tsara.
3. Inona avy ireo tombony amin'ny fampiasana ny entona BoPET amin'ny fitaratra fitarafana?
Ny savily BoPET dia manome flexibility ambony, faharetana ary famokarana mora vidy, ka mahatonga azy ireo ho tsara ampiasaina amin'ny fitaratra scan micromachined ho an'ny fampiharana isan-karazany.
4. Ahoana no fiasan'ny fitaratra fanindronana asitrika micromachined?
Ny fitaratra fanindronana asitrika micromachined dia mampiasa ny entona BoPET mba hamoronana mekanika scanning mora sy mazava tsara izay mitarika sy mi-scan ny hazavana amin'ny fomba voafehy.
5. Inona avy ireo mety ho fampiharana amin'ny fitaratra fitsirihana asitrika micromachined?
Ny fitaratry ny fitsirihana asitrika micromachined dia manana fampiharana maro isan-karazany ao anatin'izany ny scan laser, ny sary endoscopique, ny tomographie cohérence optika, ary ny fampisehoana zava-misy mitombo.