Aosite, vì 1993
Việc sử dụng gương quét ngâm trong nước trong kính hiển vi siêu âm và quang âm đã được chứng minh là có lợi cho việc quét chùm tia hội tụ và chùm siêu âm. Để nâng cao hơn nữa quá trình chế tạo, một phương pháp mới đã được phát triển cho phép thu nhỏ và sản xuất hàng loạt những chiếc gương này. Một mô hình phần tử hữu hạn đa vật lý 3D cũng đã được tạo ra để mô phỏng chính xác hoạt động cơ điện của gương, cả tĩnh và động. Các thử nghiệm và đặc tính thực nghiệm đã xác minh thành công hiệu suất quét của gương quét ngâm trong nước.
Trong nghiên cứu này, gương quét ngâm trong nước hai trục được gia công vi mô sử dụng Bản lề BoPET (polyethylen terephthalate định hướng hai trục) đã được giới thiệu. Quá trình chế tạo bao gồm việc khắc plasma sâu trên đế silicon-BoPET lai, cho phép tạo khuôn có độ phân giải cao và khả năng sản xuất khối lượng. Gương quét nguyên mẫu được sản xuất bằng phương pháp này có kích thước 5x5x5 mm^3, tương đương với gương quét vi mô dựa trên silicon thông thường. Kích thước tấm gương là 4x4 mm^2, cung cấp khẩu độ lớn hơn cho việc điều khiển chùm tia quang học hoặc âm thanh.
Tần số cộng hưởng của trục nhanh và trục chậm được đo tương ứng là 420 Hz và 190 Hz khi hoạt động trong không khí. Tuy nhiên, khi ngâm trong nước, các tần số này giảm xuống lần lượt là 330 Hz và 160 Hz. Góc nghiêng của gương phản chiếu thay đổi theo dòng điện truyền động, thể hiện mối quan hệ tuyến tính với góc nghiêng lên tới ±3,5° xung quanh trục nhanh và trục chậm. Bằng cách dẫn động đồng thời cả hai trục, có thể đạt được kiểu quét raster ổn định và có thể lặp lại trong cả môi trường không khí và nước.
Các gương quét ngâm trong nước được gia công vi mô có tiềm năng to lớn cho nhiều ứng dụng quét kính hiển vi quang học và âm thanh, cả trong môi trường không khí và chất lỏng. Quy trình chế tạo và thiết kế mới này cung cấp các giải pháp hiệu quả và đáng tin cậy, mở đường cho những tiến bộ trong công nghệ hình ảnh.
Chắc chắn rồi, đây là Câu hỏi thường gặp mẫu về "Gương quét nhúng được gia công bằng máy vi mô sử dụng bản lề BoPET":
1. Gương quét ngâm được gia công vi mô là gì?
Gương quét ngâm vi cơ là một thiết bị nhỏ được sử dụng để định hướng và quét ánh sáng trong các ứng dụng khác nhau như quét laze, hình ảnh y tế và công nghệ hiển thị.
2. Bản lề BoPET là gì?
Bản lề BoPET (Polyetylen terephthalate định hướng hai trục) là vật liệu bản lề linh hoạt, chắc chắn và nhẹ, thường được sử dụng trong các ứng dụng gia công vi mô nhờ các đặc tính cơ học tuyệt vời của chúng.
3. Ưu điểm của việc sử dụng bản lề BoPET trong gương quét là gì?
Bản lề BoPET mang lại tính linh hoạt, độ bền vượt trội và chi phí sản xuất thấp, khiến chúng trở nên lý tưởng để sử dụng trong gương quét vi cơ cho nhiều ứng dụng khác nhau.
4. Gương quét ngâm được gia công bằng máy vi mô hoạt động như thế nào?
Gương quét nhúng được gia công vi mô sử dụng bản lề BoPET để tạo ra cơ chế quét linh hoạt và chính xác giúp định hướng và quét ánh sáng một cách hiệu quả một cách có kiểm soát.
5. Các ứng dụng tiềm năng của gương quét ngâm được gia công vi mô là gì?
Gương quét nhúng vi cơ có nhiều ứng dụng tiềm năng bao gồm quét laser, chụp ảnh nội soi, chụp cắt lớp kết hợp quang học và hiển thị thực tế tăng cường.