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Espejo de escaneo de inmersión micromecanizado con bisagras BoPET

La utilización de espejos de escaneo por inmersión en agua en ultrasonido y microscopía fotoacústica ha demostrado ser beneficiosa para escanear haces enfocados y haces de ultrasonido. Para mejorar aún más el proceso de fabricación, se ha desarrollado un nuevo método que permite la miniaturización y producción en masa de estos espejos. También se ha creado un modelo multifísico 3D de elementos finitos para simular con precisión el comportamiento electromecánico de los espejos, tanto de forma estática como dinámica. Las pruebas y caracterizaciones experimentales han verificado con éxito el rendimiento de escaneo de los espejos de escaneo de inmersión en agua.

En este estudio, se introdujo un espejo de escaneo de inmersión en agua de dos ejes micromecanizado que utiliza una bisagra BoPET (tereftalato de polietileno biaxialmente orientado). El proceso de fabricación implica un grabado profundo con plasma sobre un sustrato híbrido de silicio y BoPET, lo que permite crear patrones de alta resolución y capacidad de fabricación en volumen. El prototipo de espejo de escaneo producido con este método mide 5x5x5 mm^3, lo que es comparable a los típicos espejos de microescaneo basados ​​en silicio. El tamaño de la placa del espejo es de 4x4 mm^2, lo que proporciona una apertura más grande para la dirección del haz óptico o acústico.

Las frecuencias de resonancia de los ejes rápido y lento se miden en 420 Hz y 190 Hz, respectivamente, cuando se operan en el aire. Sin embargo, cuando se sumergen en agua, estas frecuencias disminuyen a 330 Hz y 160 Hz, respectivamente. Los ángulos de inclinación del espejo reflectante varían con las corrientes impulsoras, mostrando una relación lineal con ángulos de inclinación de hasta ±3,5° alrededor de los ejes rápido y lento. Al accionar simultáneamente ambos ejes, se pueden lograr patrones de escaneo ráster estables y repetibles tanto en entornos aéreos como acuáticos.

Espejo de escaneo de inmersión micromecanizado con bisagras BoPET 1

Los espejos de escaneo de inmersión en agua micromecanizados tienen un inmenso potencial para una amplia gama de aplicaciones de microscopía óptica y acústica de barrido, tanto en ambientes aéreos como líquidos. Este nuevo proceso y diseño de fabricación ofrece soluciones eficientes y confiables, allanando el camino para avances en las tecnologías de imágenes.

Claro, aquí hay un ejemplo de preguntas frecuentes sobre el "Espejo de escaneo por inmersión micromecanizado que utiliza bisagras BoPET":
1. ¿Qué es un espejo de escaneo de inmersión micromecanizado?
Un espejo de escaneo de inmersión micromecanizado es un pequeño dispositivo que se utiliza para dirigir y escanear la luz en diversas aplicaciones, como escaneo láser, imágenes médicas y tecnologías de visualización.

2. ¿Qué son las bisagras BoPET?
Las bisagras BoPET (tereftalato de polietileno biaxialmente orientado) son materiales de bisagra flexibles, resistentes y livianos que se usan comúnmente en aplicaciones de micromecanizado debido a sus excelentes propiedades mecánicas.

3. ¿Cuáles son las ventajas de utilizar bisagras BoPET en un espejo de escaneo?
Las bisagras BoPET ofrecen flexibilidad superior, durabilidad y fabricación de bajo costo, lo que las hace ideales para su uso en espejos de escaneo micromecanizados para diversas aplicaciones.

4. ¿Cómo funciona el espejo de escaneo de inmersión micromecanizado?
El espejo de escaneo de inmersión micromecanizado utiliza las bisagras BoPET para crear un mecanismo de escaneo flexible y preciso que dirige y escanea la luz de manera eficiente y controlada.

5. ¿Cuáles son las posibles aplicaciones de un espejo de escaneo de inmersión micromecanizado?
El espejo de escaneo de inmersión micromecanizado tiene una amplia gama de aplicaciones potenciales que incluyen escaneo láser, imágenes endoscópicas, tomografía de coherencia óptica y pantallas de realidad aumentada.

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