BoPET 힌지를 사용한 미세 가공 침지형 스캐닝 거울

초음파 및 광음향 현미경에서 수중 스캐닝 거울을 활용하는 것은 집속된 빔과 초음파 빔을 스캐닝하는 데 유용한 것으로 입증되었습니다. 제조 공정을 더욱 향상시키기 위해 이러한 거울의 소형화 및 대량 생산이 가능한 새로운 방법이 개발되었습니다. 3D 다중물리 유한 요소 모델도 거울의 전기 기계 동작을 정적 및 동적으로 정확하게 시뮬레이션하기 위해 생성되었습니다. 실험적 테스트와 특성화를 통해 침수형 스캐닝 거울의 스캐닝 성능이 성공적으로 검증되었습니다.

본 연구에서는 BoPET(이축 배향 폴리에틸렌 테레프탈레이트) 힌지를 사용하여 미세 가공된 2축 침수 스캐닝 미러를 소개했습니다. 제조 공정에는 하이브리드 실리콘-BoPET 기판에 대한 심층 플라즈마 에칭이 포함되어 고해상도 패터닝 및 대량 제조 기능이 가능합니다. 이 접근 방식을 사용하여 제작된 프로토타입 스캐닝 거울의 크기는 5x5x5mm^3이며 이는 일반적인 실리콘 기반 마이크로 스캐닝 거울과 비슷합니다. 미러 플레이트 크기는 4x4mm^2이며 광학 또는 음향 빔 조정을 위해 더 큰 조리개를 제공합니다.

공기 중에서 작동할 때 빠른 축과 느린 축의 공진 주파수는 각각 420Hz와 190Hz로 측정되었습니다. 그러나 물에 담그면 이 주파수는 각각 330Hz와 160Hz로 감소합니다. 반사 거울의 기울기 각도는 구동 전류에 따라 달라지며, 빠른 축과 느린 축을 중심으로 최대 ±3.5°의 기울기 각도와 선형 관계를 보여줍니다. 두 축을 동시에 구동함으로써 대기 및 수중 환경 모두에서 안정적이고 반복 가능한 래스터 스캔 패턴을 얻을 수 있습니다.

미세 가공된 침수형 스캐닝 미러는 공기 및 액체 환경 모두에서 광범위한 스캐닝 광학 및 음향 현미경 응용 분야에 대한 엄청난 잠재력을 보유하고 있습니다. 이 새로운 제조 공정과 디자인은 효율적이고 안정적인 솔루션을 제공하여 이미징 기술 발전의 기반을 마련합니다.

물론입니다. "BoPET 힌지를 사용한 미세 가공 침수형 스캐닝 거울"에 대한 샘플 FAQ는 다음과 같습니다.:
1. 미세 가공된 이머젼 스캐닝 미러란 무엇입니까?
미세 가공된 이머젼 스캐닝 미러는 레이저 스캐닝, 의료 이미징 및 디스플레이 기술과 같은 다양한 응용 분야에서 빛의 방향을 지정하고 스캐닝하는 데 사용되는 소형 장치입니다.

2. BoPET 경첩이란 무엇입니까?
BoPET(이축 방향 폴리에틸렌 테레프탈레이트) 힌지는 유연하고 강하며 가벼운 힌지 소재로 우수한 기계적 특성으로 인해 미세 가공 분야에 일반적으로 사용됩니다.

3. 스캐닝 거울에 BoPET 힌지를 사용하면 어떤 이점이 있나요?
BoPET 힌지는 뛰어난 유연성, 내구성 및 저렴한 제조 비용을 제공하므로 다양한 응용 분야의 미세 가공 스캐닝 거울에 사용하기에 이상적입니다.

4. 미세 가공된 이머젼 스캐닝 미러는 어떻게 작동합니까?
미세 가공된 이머젼 스캐닝 미러는 BoPET 힌지를 사용하여 제어된 방식으로 빛을 효율적으로 지향하고 스캔하는 유연하고 정밀한 스캐닝 메커니즘을 만듭니다.

5. 미세 가공 침적 스캐닝 거울의 잠재적 응용 분야는 무엇입니까?
미세 가공된 이머젼 스캐닝 미러는 레이저 스캐닝, 내시경 이미징, 광 간섭 단층 촬영 및 증강 현실 디스플레이를 포함한 광범위한 응용 분야를 가지고 있습니다.