Aosite, siitä lähtien 1993
Vesiimmersiopyyhkäisypeilien käyttö ultraääni- ja fotoakustisessa mikroskopiassa on osoittautunut hyödylliseksi tarkennettujen säteiden ja ultraäänisäteiden skannauksessa. Valmistusprosessin tehostamiseksi on kehitetty uusi menetelmä, joka mahdollistaa näiden peilien pienentämisen ja massatuotannon. 3D-monifysiikka elementtimalli on myös luotu simuloimaan tarkasti peilien sähkömekaanista käyttäytymistä sekä staattisesti että dynaamisesti. Kokeelliset testit ja karakterisoinnit ovat onnistuneesti varmistaneet vesiupotuspeilien skannaussuorituskyvyn.
Tässä tutkimuksessa esiteltiin mikrokoneistettu kaksiakselinen veteen upotettu skannauspeili, jossa on käytetty BoPET (biaksiaalisesti orientoitu polyeteenitereftalaatti) saranaa. Valmistusprosessi sisältää syvän plasmaetsauksen hybridipii-BoPET-substraatille, mikä mahdollistaa korkearesoluutioisen kuvioinnin ja tilavuusvalmistuksen. Tällä menetelmällä valmistetun skannauspeilin prototyypin mitat ovat 5x5x5 mm^3, mikä on verrattavissa tyypillisiin piipohjaisiin mikroskannauspeileihin. Peililevyn koko on 4x4 mm^2, mikä tarjoaa suuremman aukon optiseen tai akustiseen säteen ohjaukseen.
Nopeiden ja hitaiden akselien resonanssitaajuuksiksi mitataan 420 Hz ja 190 Hz, kun niitä käytetään ilmassa. Veteen upotettuna nämä taajuudet kuitenkin laskevat 330 Hz:iin ja 160 Hz:iin. Heijastavan peilin kallistuskulmat vaihtelevat käyttövirtojen mukaan, mikä osoittaa lineaarisen suhteen kallistuskulmiin jopa ±3,5° nopean ja hitaan akselin ympärillä. Molempia akseleita samanaikaisesti ajamalla voidaan saavuttaa vakaat ja toistettavat rasteripyyhkäisykuviot sekä ilma- että vesiympäristöissä.
Mikrokoneistetut vesiupotusskannauspeilit tarjoavat valtavan potentiaalin monenlaisiin skannausoptisiin ja akustisiin mikroskopiasovelluksiin sekä ilmassa että nestemäisessä ympäristössä. Tämä uusi valmistusprosessi ja suunnittelu tarjoavat tehokkaita ja luotettavia ratkaisuja, jotka tasoittavat tietä kuvantamistekniikoiden kehitykselle.
Toki, tässä on esimerkki usein kysytyistä kysymyksistä "Mikrokoneistettu upotusskannauspeili BoPET-saranoilla":
1. Mikä on mikrokoneistettu upotusskannauspeili?
Mikrokoneistettu upotettu skannauspeili on pieni laite, jota käytetään valon ohjaamiseen ja skannaamiseen erilaisissa sovelluksissa, kuten laserskannauksessa, lääketieteellisessä kuvantamisessa ja näyttötekniikoissa.
2. Mitä ovat BoPET-saranat?
BoPET (biaksiaalisesti orientoitu polyeteenitereftalaatti) saranat ovat joustavia, vahvoja ja kevyitä saranamateriaaleja, joita käytetään yleisesti mikrotyöstösovelluksissa erinomaisten mekaanisten ominaisuuksiensa ansiosta.
3. Mitä etuja on BoPET-saranoiden käyttämisestä skannauspeilissä?
BoPET-saranat tarjoavat erinomaista joustavuutta, kestävyyttä ja edullisia valmistuskustannuksia, joten ne sopivat ihanteellisesti mikrokoneistettuihin skannauspeileihin erilaisiin sovelluksiin.
4. Kuinka mikrokoneistettu upotusskannauspeili toimii?
Mikrokoneistettu upotusskannauspeili käyttää BoPET-saranoita joustavan ja tarkan skannausmekanismin luomiseen, joka ohjaa ja skannaa valoa tehokkaasti hallitusti.
5. Mitkä ovat mikrokoneistetun upotuspyyhkäisypeilin mahdolliset sovellukset?
Mikrokoneistetun upotusskannauspeilillä on laaja valikoima potentiaalisia sovelluksia, mukaan lukien laserskannaus, endoskooppinen kuvantaminen, optinen koherenssitomografia ja lisätyn todellisuuden näytöt.