Aosite, niwon 1993
Awọn lilo ti omi immersion digi digi ni olutirasandi ati photoacoustic maikirosikopu ti fihan lati wa ni anfani ti fun Antivirus fojusi nibiti ati olutirasandi nibiti. Lati mu ilana iṣelọpọ sii siwaju sii, ọna tuntun ti ni idagbasoke ti o fun laaye fun miniaturization ati iṣelọpọ pupọ ti awọn digi wọnyi. Awoṣe aropin multiphysics multiphysics 3D tun ti ṣẹda lati ṣe adaṣe deede ihuwasi elekitiroki ti awọn digi, mejeeji ni iṣiro ati ni agbara. Awọn idanwo idanwo ati awọn ẹya ara ẹrọ ti ṣe idaniloju aṣeyọri iṣẹ ṣiṣe ọlọjẹ ti awọn digi immersion omi.
Ninu iwadi yii, micromachined meji-axis omi immersion digi ti n ṣayẹwo ni lilo BoPET (iṣalaye ti polyethylene terephthalate) Hinge ti jẹ ifihan. Ilana iṣelọpọ pẹlu etching pilasima ti o jinlẹ lori sobusitireti silikoni-BoPET arabara, ti n mu ilana ti o ga-giga ati agbara iṣelọpọ iwọn didun ṣiṣẹ. Digi wíwo Afọwọkọ ti a ṣe ni lilo ọna yii ṣe iwọn 5x5x5 mm^3, eyiti o jẹ afiwera si awọn digi ọlọjẹ-micro-orisun silikoni aṣoju. Iwọn awo digi jẹ 4x4 mm ^ 2, pese aaye ti o tobi julọ fun idari opitika tabi ohun afetigbọ.
Awọn igbohunsafẹfẹ resonance ti iyara ati awọn aake ti o lọra jẹ iwọn lati jẹ 420 Hz ati 190 Hz, ni atele, nigba ti a ṣiṣẹ ni afẹfẹ. Bibẹẹkọ, nigba ibọmi ninu omi, awọn igbohunsafẹfẹ wọnyi dinku si 330 Hz ati 160 Hz, lẹsẹsẹ. Awọn igun titẹ ti digi ti n ṣe afihan yatọ pẹlu awọn ṣiṣan wakọ, nfihan ibatan laini pẹlu awọn igun titẹ titi de ± 3.5 ° ni ayika awọn aake ti o yara ati o lọra. Nipa wiwakọ awọn aake mejeeji nigbakanna, iduroṣinṣin ati awọn ilana ọlọjẹ raster atunwi le ṣee ṣe ni afẹfẹ ati agbegbe omi mejeeji.
Awọn digi iboju immersion omi micromachined mu agbara nla mu fun ọpọlọpọ awọn ohun elo opitika ọlọjẹ ati awọn ohun elo acoustic, mejeeji ni afẹfẹ ati awọn agbegbe omi. Ilana iṣelọpọ tuntun yii ati apẹrẹ nfunni ni awọn solusan ti o munadoko ati igbẹkẹle, fifin ọna fun awọn ilọsiwaju ninu awọn imọ-ẹrọ aworan.
Daju, eyi ni apẹẹrẹ FAQ kan fun “Digi Ṣiṣayẹwo Immersion Micromachined Lilo BoPET Hinges”:
1. Kí ni a micromachined immersion digi?
Digi ọlọjẹ immersion micromachined jẹ ohun elo kekere ti a lo fun didari ati ṣiṣayẹwo ina ni awọn ohun elo lọpọlọpọ gẹgẹbi ọlọjẹ laser, aworan iṣoogun, ati awọn imọ-ẹrọ ifihan.
2. Kini awọn isunmọ BoPET?
BoPET (Biaxially-Oorun polyethylene terephthalate) awọn mitari jẹ rọ, ti o lagbara, ati awọn ohun elo isunmọ iwuwo fẹẹrẹ ti o wọpọ ni awọn ohun elo micromachining nitori awọn ohun-ini ẹrọ ti o dara julọ.
3. Kini awọn anfani ti lilo awọn isunmọ BoPET ni digi ọlọjẹ kan?
Awọn hinges BoPET nfunni ni irọrun ti o ga julọ, agbara, ati iṣelọpọ idiyele kekere, ṣiṣe wọn jẹ apẹrẹ fun lilo ninu awọn digi ọlọjẹ micromachined fun awọn ohun elo lọpọlọpọ.
4. Báwo ni digi wíwo immersion micromachined ṣe n ṣiṣẹ?
Digi immersion immersion micromachined nlo awọn isunmọ BoPET lati ṣẹda ẹrọ ti o ni irọrun ati kongẹ ti o ṣe itọsọna daradara ati ṣayẹwo ina ni ọna iṣakoso.
5. Kini awọn ohun elo ti o pọju ti digi ọlọjẹ immersion micromachined?
Digi ọlọjẹ immersion micromachined ni ọpọlọpọ awọn ohun elo ti o pọju pẹlu wiwa laser, aworan endoscopic, tomography isọdọkan opiti, ati awọn ifihan otito ti a pọ si.