Mirall d'escaneig d'immersió micromecanitzat amb frontisses BoPET

La utilització de miralls d'escaneig d'immersió en aigua a la microscòpia d'ultrasons i fotoacústica ha demostrat ser beneficiosa per a l'exploració de feixos enfocats i raigs d'ultrasons. Per millorar encara més el procés de fabricació, s'ha desenvolupat un nou mètode que permet la miniaturització i la producció massiva d'aquests miralls. També s'ha creat un model d'elements finits multifísics en 3D per simular amb precisió el comportament electromecànic dels miralls, tant de manera estàtica com dinàmica. Les proves i caracteritzacions experimentals han verificat amb èxit el rendiment d'escaneig dels miralls d'escaneig d'immersió en aigua.

En aquest estudi, s'ha introduït un mirall d'escaneig d'immersió en aigua de dos eixos micromecanitzat amb frontissa BoPET (tereftalat de polietilè orientat biaxialment). El procés de fabricació implica gravat amb plasma profund sobre un substrat híbrid de silici-BoPET, que permet un model d'alta resolució i una capacitat de fabricació de volums. El prototip de mirall d'escaneig produït amb aquest enfocament mesura 5x5x5 mm ^ 3, que és comparable als típics miralls d'escaneig basats en silici. La mida de la placa del mirall és de 4x4 mm^2, proporcionant una obertura més gran per a la direcció del feix òptic o acústic.

Les freqüències de ressonància dels eixos ràpid i lent es mesuren a 420 Hz i 190 Hz, respectivament, quan s'utilitzen a l'aire. Tanmateix, quan es submergeix a l'aigua, aquestes freqüències disminueixen a 330 Hz i 160 Hz, respectivament. Els angles d'inclinació del mirall reflector varien amb els corrents d'accionament, mostrant una relació lineal amb angles d'inclinació de fins a ± 3,5 ° al voltant dels eixos ràpid i lent. En conduir simultàniament ambdós eixos, es poden aconseguir patrons d'exploració ràster estables i repetibles tant en entorns d'aire com d'aigua.

Els miralls d'escaneig d'immersió en aigua micromecanitzats tenen un potencial immens per a una àmplia gamma d'aplicacions de microscòpia òptica i acústica d'escaneig, tant en ambients d'aire com líquids. Aquest nou procés de fabricació i disseny ofereix solucions eficients i fiables, obre el camí per als avenços en les tecnologies d'imatge.

Per descomptat, aquí teniu una mostra de PMF per al "Mirall d'escaneig d'immersió micromecanitzat amb frontisses BoPET":
1. Què és un mirall d'escaneig d'immersió micromecanitzat?
Un mirall d'escaneig d'immersió micromecanitzat és un petit dispositiu utilitzat per dirigir i escanejar la llum en diverses aplicacions com ara l'escaneig làser, la imatge mèdica i les tecnologies de visualització.

2. Què són les frontisses BoPET?
Les frontisses BoPET (tereftalat de polietilè orientat biaxialment) són materials de frontisses flexibles, forts i lleugers que s'utilitzen habitualment en aplicacions de micromecanitzat a causa de les seves excel·lents propietats mecàniques.

3. Quins són els avantatges d'utilitzar frontisses BoPET en un mirall d'escaneig?
Les frontisses BoPET ofereixen una flexibilitat, durabilitat i una fabricació de baix cost superiors, cosa que les fa ideals per utilitzar-les en miralls d'escaneig micromecanitzats per a diverses aplicacions.

4. Com funciona el mirall d'escaneig d'immersió micromecanitzat?
El mirall d'escaneig d'immersió micromecanitzat utilitza les frontisses BoPET per crear un mecanisme d'escaneig flexible i precís que dirigeix ​​i escaneja la llum de manera eficient i controlada.

5. Quines són les aplicacions potencials d'un mirall d'escaneig d'immersió micromecanitzat?
El mirall d'escaneig d'immersió micromecanitzat té una àmplia gamma d'aplicacions potencials, com ara l'escaneig làser, la imatge endoscòpica, la tomografia de coherència òptica i les pantalles de realitat augmentada.