Mikromegmunkálású merülő szkennelő tükör BoPET zsanérokkal

A vízbe merülő pásztázó tükrök ultrahangban és fotoakusztikus mikroszkópiában történő alkalmazása előnyösnek bizonyult a fókuszált és ultrahangsugarak pásztázásában. A gyártási folyamat további javítása érdekében egy új módszert fejlesztettek ki, amely lehetővé teszi ezen tükrök miniatürizálását és tömeggyártását. A tükrök elektromechanikai viselkedésének statikus és dinamikus pontos szimulálására 3D-s többfizikai végeselem-modellt is készítettek. Kísérleti tesztek és jellemzések sikeresen igazolták a vízbe merülő letapogató tükrök szkennelési teljesítményét.

Ebben a tanulmányban egy mikrogéppel megmunkált, kéttengelyes vízbemerítésű letapogató tükröt vezettek be BoPET (biaxiálisan orientált polietilén-tereftalát) csuklópánttal. A gyártási folyamat magában foglalja a mélyplazma maratást egy hibrid szilícium-BoPET hordozón, amely lehetővé teszi a nagy felbontású mintázatot és a térfogatgyártást. Az ezzel a megközelítéssel előállított leolvasó tükör prototípus mérete 5x5x5 mm^3, ami a tipikus szilícium alapú mikroszkennelő tükrökéhez hasonlítható. A tükörlap mérete 4x4 mm^2, nagyobb nyílást biztosítva optikai vagy akusztikus sugárkormányzáshoz.

A gyors és lassú tengely rezonanciafrekvenciája 420 Hz, illetve 190 Hz, ha levegőben működnek. Vízbe merítve azonban ezek a frekvenciák 330 Hz-re, illetve 160 Hz-re csökkennek. A visszaverő tükör dőlésszöge a meghajtóáramoktól függően változik, lineáris összefüggést mutatva a ±3,5°-os dőlésszöggel a gyors és lassú tengely körül. Mindkét tengely egyidejű meghajtásával stabil és megismételhető raszteres pásztázási minták érhetők el levegőben és vízben egyaránt.

A mikromegmunkálású vízbemerítéses letapogató tükrök óriási lehetőségeket rejtenek a pásztázó optikai és akusztikus mikroszkópos alkalmazások széles körében, levegőben és folyékony környezetben egyaránt. Ez az új gyártási folyamat és tervezés hatékony és megbízható megoldásokat kínál, és utat nyit a képalkotó technológiák fejlődéséhez.

Persze, itt van egy minta GYIK a "Mikrogéppel megmunkált merülő szkennelési tükör BoPET csuklópántokkal":
1. Mi az a mikrogéppel megmunkált merülő letapogató tükör?
A mikromegmunkálású merülő szkennelő tükör egy kis eszköz, amelyet fény irányítására és letapogatására használnak különféle alkalmazásokban, például lézerszkennelésben, orvosi képalkotásban és megjelenítési technológiákban.

2. Mik azok a BoPET zsanérok?
A BoPET (biaxiálisan orientált polietilén-tereftalát) zsanérok rugalmas, erős és könnyű csuklópántok, amelyeket kiváló mechanikai tulajdonságaik miatt gyakran használnak mikromegmunkálási alkalmazásokban.

3. Melyek a BoPET zsanérok letapogató tükörben való használatának előnyei?
A BoPET zsanérok kiemelkedő rugalmasságot, tartósságot és alacsony gyártási költséget kínálnak, így ideálisak a mikromegmunkálású leolvasó tükrökben való használatra különféle alkalmazásokhoz.

4. Hogyan működik a mikromegmunkálású merülő letapogató tükör?
A mikromegmunkálású merülő letapogató tükör a BoPET csuklópántokat használja, hogy rugalmas és precíz letapogatási mechanizmust hozzon létre, amely hatékonyan irányítja és ellenőrzött módon pásztázza a fényt.

5. Melyek a mikromegmunkálású merülő letapogató tükör lehetséges alkalmazásai?
A mikromegmunkálású merülő szkennelő tükör számos alkalmazási lehetőséget kínál, beleértve a lézeres szkennelést, az endoszkópos képalkotást, az optikai koherencia-tomográfiát és a kiterjesztett valóság kijelzőit.