آسوٽي ، جتان 1993
الٽراسائونڊ ۽ فوٽوڪوسٽڪ مائڪرو اسڪوپي ۾ پاڻي جي وسرندڙ اسڪيننگ آئيني جو استعمال فوڪسڊ بيمز ۽ الٽراسائونڊ بيمز کي اسڪين ڪرڻ لاءِ فائديمند ثابت ٿيو آهي. ٺاھڻ جي عمل کي وڌيڪ وڌائڻ لاء، ھڪڙو نئون طريقو ٺاھيو ويو آھي جيڪو انھن آئينن جي ننڍي ڪرڻ ۽ وڏي پئماني تي پيداوار جي اجازت ڏئي ٿو. هڪ 3D ملٽي فزڪس فينيٽ عنصر ماڊل پڻ ٺاهيو ويو آهي آئيني جي اليڪٽروميڪانيڪل رويي کي صحيح نموني ڪرڻ لاءِ، ٻئي جامد ۽ متحرڪ طور تي. تجرباتي تجربا ۽ خاصيتون ڪاميابيءَ سان واٽر وسرجن اسڪيننگ آئيني جي اسڪيننگ ڪارڪردگيءَ جي تصديق ڪري چڪا آهن.
هن مطالعي ۾، BoPET (biaxially oriented polyethylene terephthalate) Hinge استعمال ڪندي هڪ micromachined two-axis water immersion scaning mirror متعارف ڪرايو ويو آهي. ٺاھڻ جي عمل ۾ ھائبرڊ سلڪون-BoPET سبسٽرٽ تي ڊيپ پلازما ايچنگ شامل آھي، اعليٰ ريزوليوشن نموني ۽ حجم جي پيداوار جي صلاحيت کي چالو ڪرڻ. پروٽوٽائپ اسڪيننگ آئيني کي استعمال ڪندي تيار ڪيو ويو آهي 5x5x5 mm^3 جي ماپ، جيڪا عام سلڪون تي ٻڌل مائڪرو اسڪيننگ آئيني جي مقابلي ۾ آهي. آئيني جي پليٽ جي سائيز 4x4 mm^2 آهي، جيڪو آپٽيڪل يا صوتي بيم اسٽيئرنگ لاءِ وڏو ايپرچر مهيا ڪري ٿو.
تيز ۽ سست محور جي گونج جي تعدد ماپ ڪئي ويندي آهي 420 Hz ۽ 190 Hz، ترتيب سان، جڏهن هوا ۾ هلندي آهي. بهرحال، جڏهن پاڻيءَ ۾ غرق ڪيو وڃي ٿو، اهي تعدد بالترتيب 330 هز ۽ 160 هز تائين گهٽجي وڃن ٿا. عڪاسي ڪندڙ آئيني جا جھڪندڙ زاويا ڊرائيو ڪرنٽ سان مختلف ٿين ٿا، تيز ۽ سست محور جي چوڌاري ±3.5° تائين جھڪندڙ زاوين سان لڪير وارو تعلق ڏيکاري ٿو. ساڳئي وقت ٻنهي محور کي هلائڻ سان، مستحڪم ۽ ورجائيندڙ راسٽر اسڪين نمونن کي هوا ۽ پاڻي جي ماحول ۾ حاصل ڪري سگهجي ٿو.
micromachined واٽر وسرجن اسڪيننگ آئيني ۾ وڏي صلاحيت رکي ٿي اسڪيننگ آپٽيڪل ۽ صوتي مائڪرو اسڪوپي ايپليڪيشنن جي وسيع رينج لاءِ، ٻئي هوا ۽ مائع ماحول ۾. هي نئون ٺاھڻ وارو عمل ۽ ڊزائين پيش ڪن ٿا موثر ۽ قابل اعتماد حل، اميجنگ ٽيڪنالاجيز ۾ ترقي لاء رستو.
يقينا، هتي هڪ نمونو سوالن جا سوال آهن "مائڪرو ماچائنڊ وسرجن اسڪيننگ آئيني استعمال ڪندي BoPET هنگز" لاءِ:
1. هڪ micromachined immersion اسڪيننگ آئيني ڇا آهي؟
هڪ micromachined immersion اسڪيننگ آئيني هڪ ننڍڙو ڊوائيس آهي جيڪو مختلف ايپليڪيشنن جهڙوڪ ليزر اسڪيننگ، ميڊيڪل اميجنگ، ۽ ڊسپلي ٽيڪنالاجيز ۾ روشني جي هدايت ۽ اسڪيننگ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي.
2. BoPET هنگس ڇا آهن؟
BoPET (Biaxially-oriented polyethylene terephthalate) ڪنگڻ لچڪدار، مضبوط، ۽ ھلڪو وزن وارا ڪنگڻ وارا مواد آھن جيڪي عام طور تي مائيڪرو مشيننگ ايپليڪيشنن ۾ استعمال ٿيندا آھن انھن جي بھترين مشيني خاصيتن جي ڪري.
3. اسڪيننگ آئيني ۾ BoPET ڪنگڻ استعمال ڪرڻ جا ڪهڙا فائدا آهن؟
BoPET ٽنگون پيش ڪن ٿيون اعلي لچڪدار، استحڪام، ۽ گهٽ قيمت جي پيداوار، انهن کي مختلف ايپليڪيشنن لاء مائڪرو مشين اسڪيننگ آئيني ۾ استعمال لاء مثالي بڻائي ٿو.
4. مائيڪرو مشينڊ وسرجن اسڪيننگ آئيني ڪيئن ڪم ڪندو آهي؟
micromachined immersion scaning mirror BoPET hinges استعمال ڪري ٿو هڪ لچڪدار ۽ درست اسڪيننگ ميڪانيزم ٺاهڻ لاءِ جيڪو موثر طريقي سان روشني کي سڌو ۽ اسڪين ڪري ٿو ڪنٽرولڊ انداز ۾.
5. هڪ micromachined immersion اسڪيننگ آئيني جي امڪاني ايپليڪيشنون ڇا آهن؟
micromachined immersion scaning mirror ۾ امڪاني ايپليڪيشنن جي وسيع رينج شامل آهي جنهن ۾ ليزر اسڪيننگ، اينڊو اسڪوپيڪ اميجنگ، آپٽيڪل ڪوهرنس ٽوموگرافي، ۽ اگمينٽيڊ ريئلٽي ڊسپلي شامل آهن.