Micromachined Immersion Scanning Spigel Mat BoPET Scharnéier

D'Benotzung vu Waasser-Immersiounsscannungsspigelen an Ultraschall a photoakustescher Mikroskopie huet bewisen datt se profitabel sinn fir fokusséiert Strahlen an Ultraschallstrahlen ze scannen. Fir de Fabrikatiounsprozess weider ze verbesseren, gouf eng nei Method entwéckelt, déi Miniaturiséierung a Masseproduktioun vun dëse Spigelen erlaabt. En 3D Multiphysik endlech Element Modell gouf och erstallt fir dat elektromechanescht Verhalen vun de Spigel präzis ze simuléieren, souwuel statesch wéi dynamesch. Experimentell Tester a Charakteriséierungen hunn d'Scannerleistung vun de Waasser-Immersiounsscannungsspigelen erfollegräich verifizéiert.

An dëser Etude ass e micromachined zwee-Achs Waasser immersion Scanner Spigel benotzt BoPET (biaxial orientéiert polyethylene terephthalate) Scharnier gouf agefouert. De Fabrikatiounsprozess involvéiert déif Plasma Ätzen op engem Hybrid Silizium-BoPET Substrat, wat d'Héichopléisung Musterung a Volumen Fabrikatiounskapazitéit erméiglecht. De Prototyp Scanner Spigel produzéiert mat dëser Approche moosst 5x5x5 mm ^ 3, wat vergläichbar ass mat typesche Silizium-baséiert Mikro-Scann Spigelen. D'Spigelplackgréisst ass 4x4 mm ^ 2, bitt eng méi grouss Ouverture fir optesch oder akustesch Strahllenkung.

Resonanzfrequenzen vun de schnellen a luesen Achsen gi gemooss op 420 Hz respektiv 190 Hz, respektiv, wann se an der Loft bedriwwe ginn. Wéi och ëmmer, wann se am Waasser ënnergeet ginn, falen dës Frequenzen op 330 Hz respektiv 160 Hz. D'Schréiewinkel vum reflektéierte Spigel variéiere mat Fuertstréimen, a weisen eng linear Relatioun mat Schréiegtwinkelen bis zu ± 3,5° ronderëm déi séier a lues Achsen. Andeems Dir gläichzäiteg béid Axen dreift, kënne stabil a widderhuelend Raster Scan Muster a béid Loft- a Waasserëmfeld erreecht ginn.

D'micromachined Waasser Immersion Scanner Spigelen halen immens Potenzial fir eng breet Palette vun Scannen opteschen an akustesch Mikroskopie Uwendungen, souwuel a Loft a flësseg Ëmfeld. Dësen neie Fabrikatiounsprozess an Design bidden effizient an zouverlässeg Léisungen, déi de Wee fir Fortschrëtter an der Imaging Technologien erweidert.

Sécher, hei ass e Beispill FAQ fir den "Micromachined Immersion Scanning Mirror Using BoPET Hinges":
1. Wat ass e micromachined immersion Scanning Spigel?
E micromachined immersion Scanning Spigel ass e klengen Apparat dat benotzt gëtt fir Liicht a verschiddenen Uwendungen ze riichten an ze scannen wéi Laser Scannen, medizinesch Imaging a Displaytechnologien.

2. Wat sinn BoPET Scharnéier?
BoPET (Biaxial-orientéiert Polyethylenterephthalat) Scharnéier si flexibel, staark a liicht Scharniermaterialien, déi allgemeng a Mikromachining Uwendungen benotzt ginn wéinst hiren exzellente mechanesche Eegeschaften.

3. Wat sinn d'Virdeeler fir BoPET Scharnéier an engem Scannespigel ze benotzen?
BoPET Scharnéier bidden eng super Flexibilitéit, Haltbarkeet a Low-Cost Fabrikatioun, sou datt se ideal sinn fir ze benotzen a mikromachinéierte Scansspigelen fir verschidden Uwendungen.

4. Wéi funktionéiert de micromachined immersion Scanning Spigel?
De micromachined Immersiounsscanner Spigel benotzt d'BoPET Scharnéier fir e flexibelen a präzise Scannemechanismus ze kreéieren deen effizient d'Liicht op eng kontrolléiert Manéier leet a scannt.

5. Wat sinn déi potenziell Uwendungen vun engem micromachined immersion Scanning Spigel?
De micromachined immersion Scanning Spigel huet eng breet Palette vu potenziellen Uwendungen, dorënner Laser Scannen, endoskopesch Imaging, optesch Kohärenztomographie, an augmentéiert Realitéit Affichage.