Aosite, saprak 1993
Pamakéan kaca spion immersion scanning cai dina ultrasound jeung mikroskop photoacoustic geus kabuktian mangpaatna pikeun scanning fokus balok jeung ultrasound balok. Pikeun ningkatkeun deui prosés fabrikasi, metode anyar dikembangkeun anu ngamungkinkeun pikeun miniaturisasi sareng produksi masal kaca spion ieu. Modél unsur terhingga multifisika 3D ogé geus dijieun pikeun akurat simulate paripolah éléktromékanis kaca spion, duanana statis jeung dinamis. Tés ékspérimén sareng karakterisasi parantos suksés marios kinerja panyeken kaca spion nyeken cai.
Dina ulikan ieu, hiji micromachined dua-sumbu cai immersion scanning eunteung ngagunakeun BoPET (biaxially berorientasi poliétilén terephthalate) hinge geus diwanohkeun. Prosés fabrikasi ngalibatkeun étsa plasma jero dina substrat silikon-BoPET hibrid, ngamungkinkeun pola résolusi luhur sareng kamampuan manufaktur volume. Prototipe eunteung scanning dihasilkeun ngagunakeun pendekatan ieu ukuran 5x5x5 mm^3, nu comparable jeung spion micro-scanning basis silikon has. Ukuran plat eunteung nyaeta 4x4 mm ^ 2, nyadiakeun aperture badag pikeun steering beam optik atawa akustik.
Frékuénsi résonansi sumbu gancang sareng sumbu laun diukur masing-masing 420 Hz sareng 190 Hz nalika dioperasikeun dina hawa. Sanajan kitu, lamun immersed dina cai, frékuénsi ieu turun ka 330 Hz jeung 160 Hz, masing-masing. Sudut Dengdekkeun eunteung reflecting rupa-rupa jeung arus drive, némbongkeun hubungan liniér jeung sudut Dengdekkeun nepi ka ± 3,5 ° sabudeureun sumbu gancang sarta slow. Ku cara nyetir duanana sumbu sakaligus, pola scan raster stabil sareng tiasa diulang tiasa dihontal dina lingkungan hawa sareng cai.
Kaca spion immersion cai micromachined gaduh poténsi anu ageung pikeun rupa-rupa scanning aplikasi mikroskop optik sareng akustik, boh dina hawa sareng lingkungan cair. Prosés fabrikasi sareng desain énggal ieu nawiskeun solusi anu éfisién sareng dipercaya, nyayogikeun jalan pikeun kamajuan dina téknologi pencitraan.
Pasti, ieu mangrupikeun conto FAQ pikeun "Micromachined Immersion Scanning Mirror Ngagunakeun BoPET Hinges":
1. Naon eunteung scanning immersion micromachined?
Eunteung scanning immersion micromachined mangrupikeun alat leutik anu dianggo pikeun ngarahkeun sareng nyeken cahaya dina sababaraha aplikasi sapertos scanning laser, pencitraan médis, sareng téknologi tampilan.
2. Naon engsel BoPET?
Engsel BoPET (Biaxially-oriented polyethylene terephthalate) mangrupikeun bahan hinge anu fleksibel, kuat, sareng hampang anu biasa dianggo dina aplikasi micromachining kusabab sipat mékanis anu saé.
3. Naon kaunggulan ngagunakeun engsel BoPET dina eunteung scanning?
Engsel BoPET nawiskeun kalenturan unggul, daya tahan, sareng manufaktur béaya rendah, ngajantenkeun aranjeunna cocog pikeun dianggo dina kaca spion scan micromachined pikeun sagala rupa aplikasi.
4. Kumaha eunteung scanning immersion micromachined tiasa dianggo?
Eunteung panyeken immersion micromachined ngagunakeun engsel BoPET pikeun nyiptakeun mékanisme panyeken anu fleksibel sareng tepat anu éfisién ngarahkeun sareng nyeken cahaya dina cara anu dikontrol.
5. Naon aplikasi poténsial eunteung scanning immersion micromachined?
Eunteung panyeken immersion micromachined boga rupa-rupa aplikasi poténsial kaasup scanning laser, pencitraan endoskopik, tomografi kohérénsi optik, sareng tampilan kanyataanana nambahan.