Oglindă de scanare prin imersiune micromașinată folosind balamale BoPET

Utilizarea oglinzilor de scanare cu imersie în apă în microscopia cu ultrasunete și fotoacustică s-a dovedit a fi benefică pentru scanarea fasciculelor focalizate și a fasciculelor ultrasunete. Pentru a îmbunătăți și mai mult procesul de fabricație, a fost dezvoltată o nouă metodă care permite miniaturizarea și producerea în masă a acestor oglinzi. De asemenea, a fost creat un model de elemente finite multifizic 3D pentru a simula cu acuratețe comportamentul electromecanic al oglinzilor, atât static, cât și dinamic. Testele și caracterizările experimentale au verificat cu succes performanța de scanare a oglinzilor de scanare cu scufundare în apă.

În acest studiu, a fost introdusă o oglindă de scanare cu imersie în apă micromașinată cu două axe folosind balama BoPET (tereftalat de polietilenă orientată biaxial). Procesul de fabricație implică gravarea cu plasmă profundă pe un substrat hibrid siliciu-BoPET, permițând modelarea de înaltă rezoluție și capacitatea de producție în volum. Prototipul de oglindă de scanare produsă folosind această abordare măsoară 5x5x5 mm^3, ceea ce este comparabil cu oglinzile tipice de micro-scanare pe bază de siliciu. Dimensiunea plăcii oglinzii este de 4x4 mm^2, oferind o deschidere mai mare pentru direcția fasciculului optic sau acustic.

Frecvențele de rezonanță ale axelor rapide și lente sunt măsurate a fi de 420 Hz și, respectiv, 190 Hz atunci când sunt operate în aer. Cu toate acestea, atunci când sunt scufundate în apă, aceste frecvențe scad la 330 Hz și, respectiv, 160 Hz. Unghiurile de înclinare ale oglinzii reflectorizante variază în funcție de curenții de antrenare, arătând o relație liniară cu unghiurile de înclinare de până la ±3,5° în jurul axelor rapide și lente. Prin conducerea simultană a ambelor axe, se pot obține modele de scanare raster stabile și repetabile atât în ​​medii cu aer cât și pe apă.

Oglinzile de scanare cu scufundare în apă microprelucrate dețin un potențial imens pentru o gamă largă de aplicații de scanare de microscopie optică și acustică, atât în ​​medii de aer cât și lichide. Acest nou proces de fabricație și design oferă soluții eficiente și fiabile, deschizând calea pentru progrese în tehnologiile de imagistică.

Sigur, iată un exemplu de întrebări frecvente pentru „Oglinda de scanare cu imersie micromașinată folosind balamale BoPET”:
1. Ce este o oglindă de scanare cu imersiune micromașinată?
O oglindă de scanare cu imersiune micromașinată este un dispozitiv mic folosit pentru dirijarea și scanarea luminii în diverse aplicații, cum ar fi scanarea cu laser, imagistica medicală și tehnologiile de afișare.

2. Ce sunt balamalele BoPET?
Balamalele BoPET (tereftalat de polietilenă orientată biaxial) sunt materiale pentru balamale flexibile, puternice și ușoare, utilizate în mod obișnuit în aplicațiile de microprelucrare datorită proprietăților lor mecanice excelente.

3. Care sunt avantajele utilizării balamalelor BoPET într-o oglindă de scanare?
Balamalele BoPET oferă flexibilitate superioară, durabilitate și producție la costuri reduse, făcându-le ideale pentru utilizare în oglinzi de scanare microprelucrate pentru diverse aplicații.

4. Cum funcționează oglinda de scanare cu imersiune micromașinată?
Oglinda de scanare cu imersiune microprelucrată folosește balamalele BoPET pentru a crea un mecanism de scanare flexibil și precis care direcționează și scanează eficient lumina într-un mod controlat.

5. Care sunt aplicațiile potențiale ale unei oglinzi de scanare cu imersiune micromașinată?
Oglinda de scanare cu imersiune micromașinată are o gamă largă de aplicații potențiale, inclusiv scanarea laser, imagistica endoscopică, tomografia cu coerență optică și afișajele cu realitate augmentată.