Микромашинско огледало за скенирање со потопување со помош на BoPET шарки

Употребата на огледала за скенирање со потопување во вода во ултразвук и фотоакустична микроскопија се покажа како корисна за скенирање на фокусирани зраци и ултразвучни зраци. За дополнително подобрување на процесот на изработка, развиен е нов метод кој овозможува минијатуризација и масовно производство на овие огледала. Создаден е и 3D мултифизички модел на конечни елементи за прецизно симулирање на електромеханичкото однесување на огледалата, и статички и динамички. Експерименталните тестови и карактеризации успешно ги потврдија перформансите на скенирање на огледалата за скенирање со потопување во вода.

Во оваа студија, воведено е микромашинско огледало за скенирање со потопување во вода со две оски со помош на шарка BoPET (биаксијално ориентирана полиетилен терефталат). Процесот на изработка вклучува длабоко плазма офорт на хибридна супстрат од силикон-BoPET, овозможувајќи шаблони со висока резолуција и способност за производство на волумен. Прототипот на огледалото за скенирање произведено со овој пристап има димензии 5x5x5 mm^3, што е споредливо со типичните ретровизори за микроскенирање базирани на силикон. Големината на плочата на огледалото е 4x4 mm^2, обезбедувајќи поголема бленда за управување со оптички или акустични зрак.

Резонанцните фреквенции на брзата и бавната оска се мерат да бидат 420 Hz и 190 Hz, соодветно, кога работат во воздух. Меѓутоа, кога се потопуваат во вода, овие фреквенции се намалуваат на 330 Hz и 160 Hz, соодветно. Аглите на навалување на рефлектирачкото огледало се разликуваат во зависност од погонските струи, покажувајќи линеарна врска со аглите на навалување до ±3,5° околу брзите и бавните оски. Со истовремено возење на двете оски, може да се постигнат стабилни и повторливи шеми на растерско скенирање и во воздушни и водени средини.

Микромашинските ретровизори за скенирање со потопување во вода имаат огромен потенцијал за широк опсег на апликации за скенирање на оптичка и акустична микроскопија, и во воздушни и течни средини. Овој нов процес на изработка и дизајн нудат ефикасни и сигурни решенија, отворајќи го патот за напредок во технологиите за сликање.

Секако, тука е примерок ЧПП за „Микромашинско огледало за скенирање со потопување со помош на BoPET шарки“:
1. Што е микро-машинско огледало за скенирање со потопување?
Микромашинско огледало за скенирање со потопување е мал уред што се користи за насочување и скенирање на светлината во различни апликации како што се ласерско скенирање, медицински слики и технологии за прикажување.

2. Што се BoPET шарки?
Шарките BoPET (биаксијално ориентирани полиетилен терефталат) се флексибилни, силни и лесни материјали за шарки кои вообичаено се користат во апликациите за микромашина поради нивните одлични механички својства.

3. Кои се предностите од користењето BoPET шарки во огледало за скенирање?
Шарките BoPET нудат супериорна флексибилност, издржливост и производство со ниска цена, што ги прави идеални за употреба во микро-машински ретровизори за скенирање за различни апликации.

4. Како функционира ретровизорот за скенирање со потопување со микромашина?
Микромашинското огледало за скенирање со потопување ги користи шарките BoPET за да создаде флексибилен и прецизен механизам за скенирање кој ефикасно ја насочува и скенира светлината на контролиран начин.

5. Кои се потенцијалните апликации на огледалото за скенирање со потопување со микромашина?
Микромашинското огледало за скенирање со потопување има широк опсег на потенцијални апликации, вклучувајќи ласерско скенирање, ендоскопско снимање, оптичка кохерентна томографија и дисплеи со зголемена реалност.