使用 BoPET 鉸鏈的微機械浸入式掃描鏡
事實證明，在超音波和光聲顯微鏡中使用水浸掃描鏡有利於掃描聚焦光束和超音波束。 為了進一步改進製造工藝，開發了一種新方法，可以實現這些鏡子的小型化和大規模生產。 還創建了 3D 多物理場有限元素模型，以準確模擬鏡子的靜態和動態機電行為。 實驗測試和表徵成功驗證了水浸式掃描鏡的掃描性能。
在這項研究中，介紹了一種使用 BoPET（雙向拉伸聚對苯二甲酸乙二醇酯）鉸鏈的微機械雙軸水浸掃描鏡。 製造流程涉及在混合矽-BoPET 基板上進行深度等離子蝕刻，從而實現高解析度圖案化和批量製造能力。 使用此方法生產的原型掃描鏡尺寸為 5x5x5 mm^3，與典型的矽基微掃描鏡相當。 鏡板尺寸為 4x4 mm^2，為光學或聲束控制提供更大的孔徑。
在空氣中操作時，測得快軸和慢軸的共振頻率分別為 420 Hz 和 190 Hz。 然而，當浸入水中時，這些頻率分別降低至 330 Hz 和 160 Hz。 反射鏡的傾斜角度隨驅動電流的變化而變化，在快軸和慢軸周圍的傾斜角度呈現±3.5°的線性關係。 透過同時驅動兩個軸，可以在空氣和水環境中實現穩定且可重複的光柵掃描模式。
微機械水浸掃描鏡在空氣和液體環境中的各種掃描光學和聲學顯微鏡應用中具有巨大的潛力。 這種新的製造流程和設計提供了高效可靠的解決方案，為成像技術的進步鋪平了道路。
當然，這是「使用 BoPET 鉸鏈的微機械浸入式掃描鏡」的常見問題範例:
1. 什麼是微機械浸沒掃描鏡？
微機械浸沒式掃描鏡是一種小型設備，用於在雷射掃描、醫學成像和顯示技術等各種應用中引導和掃描光。
2. 什麼是 BoPET 鉸鏈？
BoPET（雙向拉伸聚對苯二甲酸乙二醇酯）鉸鍊是一種靈活、堅固且輕質的鉸鏈材料，由於其優異的機械性能而常用於微加工應用。
3. 在掃描鏡中使用 BoPET 鉸鏈有哪些優點？
BoPET 鉸鏈具有卓越的靈活性、耐用性和低成本製造能力，非常適合用於各種應用的微機械掃描鏡。
4. 微機械浸沒式掃描鏡如何運作？
微機械浸入式掃描鏡使用 BoPET 鉸鏈創建靈活且精確的掃描機制，以受控方式有效引導和掃描光線。
5. 微機械浸沒式掃描鏡有哪些潛在應用？
微機械浸沒掃描鏡具有廣泛的潛在應用，包括雷射掃描、內視鏡成像、光學相干斷層掃描和擴增實境顯示。
建立家庭評分標準