Micromachined Immersion Scanning Mirror Mei BoPET Hinges

It brûken fan skennenspegels foar wetterûnderdompeling yn echografie en fotoakoestyske mikroskopy hat bewiisd foardielich te wêzen foar it scannen fan rjochte stralen en ultrasoundbalken. Om it fabrikaazjeproses fierder te ferbetterjen, is in nije metoade ûntwikkele dy't miniaturisaasje en massaproduksje fan dizze spegels mooglik makket. In 3D-multyfysika-finite-elemintmodel is ek makke om it elektromeganyske gedrach fan 'e spegels sekuer te simulearjen, sawol statysk as dynamysk. Eksperimintele tests en karakterisaasjes hawwe mei súkses ferifiearre de skennen prestaasjes fan de wetter immersion skennen spegels.

Yn dizze stúdzje, in micromachined twa-assige wetter immersion skennen spegel mei help fan BoPET (biaxiaal oriïntearre polyetyleen terefthalate) Hinge is yntrodusearre. It fabrikaazjeproses omfettet djippe plasma-etsen op in hybride silisium-BoPET-substraat, wêrtroch't hege resolúsje patroanen en kapasiteit foar folumeproduksje mooglik is. De prototype skennen spegel produsearre mei dizze oanpak mjit 5x5x5 mm ^ 3, wat te fergelykjen is mei typyske silisium-basearre mikro-skennen spegels. De grutte fan 'e spegelplaat is 4x4 mm^2, en biedt in gruttere diafragma foar optyske as akoestyske beamsturing.

Resonânsjefrekwinsjes fan 'e snelle en stadige assen wurde mjitten om respektivelik 420 Hz en 190 Hz te wêzen, as se yn loft operearje. Lykwols, as ûnderdompele yn wetter, dizze frekwinsjes sakje nei 330 Hz en 160 Hz, respektivelik. De tilt hoeken fan de spegeljende spegel fariearje mei drive streamingen, showing in lineêre relaasje mei tilt hoeken oant ± 3,5 ° om de flugge en stadige assen. Troch tagelyk beide assen te riden, kinne stabile en werheljebere rasterscanpatroanen wurde berikt yn sawol loft- as wetteromjouwings.

De mikromasjineare skennenspegels foar wetterûnderdompeling hâlde enoarm potensjeel foar in breed oanbod fan skennen optyske en akoestyske mikroskopy-tapassingen, sawol yn loft- as floeibere omjouwings. Dit nije fabrikaazjeproses en ûntwerp biede effisjinte en betroubere oplossingen, en effent it paad foar foarútgong yn imagingtechnologyen.

Wis, hjir is in foarbyld FAQ foar de "Micromachined Immersion Scanning Mirror Using BoPET Hinges":
1. Wat is in micromachined immersion skennen spegel?
In mikromachined ûnderdompeling skennen spegel is in lyts apparaat brûkt foar it rjochtsjen en skennen fan ljocht yn ferskate tapassingen lykas laser skennen, medyske ôfbylding, en display technologyen.

2. Wat binne BoPET-skarnieren?
BoPET (Biaxially-oriïntearre polyetyleen terefthalate) hinges binne fleksibele, sterke en lichtgewicht hinge materialen dy't faak brûkt wurde yn mikromachining applikaasjes fanwege harren treflike meganyske eigenskippen.

3. Wat binne de foardielen fan it brûken fan BoPET-skarnieren yn in skennenspegel?
BoPET-skarnieren biede superieure fleksibiliteit, duorsumens en fabrikaazje mei lege kosten, wêrtroch't se ideaal binne foar gebrûk yn mikromasjineare skennenspegels foar ferskate tapassingen.

4. Hoe wurket de micromachined immersion skennen spegel?
De mikromachined ûnderdompeling skennen spegel brûkt de BoPET-skarnieren om in fleksibel en presys skennenmeganisme te meitsjen dat ljocht effisjint rjochtet en scant op in kontroleare manier.

5. Wat binne de potinsjele tapassingen fan in micromachined immersion skennen spegel?
De micromachined immersion skennen spegel hat in breed oanbod fan potinsjele tapassings ynklusyf laser skennen, endoscopic imaging, optyske gearhing tomography, en augmented reality displays.