BoPET топсалары арқылы микромашиналы батырылған сканерлеу айнасы

Ультрадыбыстық және фотоакустикалық микроскопияда суға батырылған сканерлеу айналарын пайдалану фокусталған сәулелер мен ультрадыбыстық сәулелерді сканерлеу үшін тиімді екендігі дәлелденді. Өндіріс процесін одан әрі жақсарту үшін осы айналарды кішірейтуге және жаппай өндіруге мүмкіндік беретін жаңа әдіс әзірленді. Сондай-ақ айналардың электромеханикалық әрекетін статикалық және динамикалық түрде дәл модельдеу үшін 3D мультифизикалық ақырлы элементтер моделі жасалды. Эксперименттік сынақтар мен сипаттамалар суға батырылған сканерлеу айналарының сканерлеу өнімділігін сәтті растады.

Бұл зерттеуде BoPET (екі осьті бағытталған полиэтилентерефталат) топсасын қолданатын микромашиналы екі осьті суға батыру айнасы енгізілді. Өндіріс процесі гибридті кремний-BoPET субстратында терең плазмалық оюды қамтиды, бұл жоғары ажыратымдылықтағы үлгілеуге және көлемді өндіруге мүмкіндік береді. Осы тәсілмен жасалған сканерлеу айнасының прототипі 5x5x5 мм^3 өлшемін алады, бұл әдеттегі кремний негізіндегі микро сканерлеу айналарымен салыстырылады. Айна пластинасының өлшемі 4x4 мм^2, оптикалық немесе акустикалық сәулені басқару үшін үлкенірек апертураны қамтамасыз етеді.

Жылдам және баяу осьтердің резонанстық жиіліктері ауада жұмыс істегенде сәйкесінше 420 Гц және 190 Гц болып өлшенеді. Дегенмен, суға батырылған кезде бұл жиіліктер сәйкесінше 330 Гц және 160 Гц-ке дейін төмендейді. Шағылыстыратын айнаның көлбеу бұрыштары жетек токтарына байланысты өзгеріп отырады, бұл жылдам және баяу осьтер айналасында ±3,5°-қа дейінгі көлбеу бұрыштарымен сызықтық қатынасты көрсетеді. Екі осьті бір уақытта жылжыту арқылы ауада да, суда да тұрақты және қайталанатын растрлық сканерлеу үлгілеріне қол жеткізуге болады.

Микромашиналы суға батырылған сканерлеу айналары ауада да, сұйық ортада да сканерлеуге арналған оптикалық және акустикалық микроскопиялық қолданбалардың кең ауқымы үшін үлкен әлеуетке ие. Бұл жаңа өндіру процесі мен дизайн кескіндеу технологияларындағы жетістіктерге жол ашатын тиімді және сенімді шешімдерді ұсынады.

Әрине, мұнда «BoPET топсаларын қолданатын микромашиналық батырылған сканерлеу айнасы» туралы жиі қойылатын сұрақтар үлгісі берілген.:
1. Микромашиналы батырылған сканерлеу айнасы дегеніміз не?
Микромашиналы батырылған сканерлеу айнасы лазерлік сканерлеу, медициналық бейнелеу және дисплей технологиялары сияқты әртүрлі қолданбаларда жарықты бағыттау және сканерлеу үшін пайдаланылатын шағын құрылғы.

2. BoPET топсалары дегеніміз не?
BoPET (Биаксиалды бағдарланған полиэтилентерефталат) ілмектер икемді, берік және жеңіл топса материалдары болып табылады, олар өздерінің тамаша механикалық қасиеттеріне байланысты микро өңдеу қолданбаларында жиі қолданылады.

3. BoPET топсаларын сканерлеу айнасында пайдаланудың артықшылықтары қандай?
BoPET топсалары жоғары икемділік, ұзақ мерзімділік және арзан өндірісті ұсынады, бұл оларды әртүрлі қолданбаларға арналған микромашиналық сканерлеу айналарында пайдалану үшін өте қолайлы етеді.

4. Микромашиналы батырылған сканерлеу айнасы қалай жұмыс істейді?
Микромашиналы батырылған сканерлеу айнасы жарықты басқарылатын жолмен тиімді бағыттайтын және сканерлейтін икемді және дәл сканерлеу механизмін жасау үшін BoPET топсаларын пайдаланады.

5. Микромашиналы батырылған сканерлеу айнасының әлеуетті қолданбалары қандай?
Микромашиналы батырылған сканерлеу айнасының кең ауқымды әлеуетті қолданбалары бар, соның ішінде лазерлік сканерлеу, эндоскопиялық бейнелеу, оптикалық когерентті томография және толықтырылған шындық дисплейлері.