Specchio di scansione d'immersione micromacinata cù cerniere BoPET

L'utilizazione di specchi di scansione à immersione in acqua in microscopia ultrasound è fotoacustica hà dimustratu chì hè benefica per scanning fasci focalizzati è fasci ultrasound. Per rinfurzà ancu u prucessu di fabricazione, hè statu sviluppatu un novu metudu chì permette a miniaturizazione è a pruduzzioni di massa di sti specchi. Un mudellu di elementi finiti multifisica 3D hè statu ancu creatu per simule accuratamente u cumpurtamentu elettromeccanicu di i specchi, sia staticamente sia dinamicamente. Testi sperimentali è caratterizazioni anu verificatu cù successu a prestazione di scanning di i specchi di scanning d'immersione in acqua.

In questu studiu, hè statu introduttu un specchiu di scansione à immersione in acqua micromachined à dui assi chì utilizanu BoPET (tereftalate di polietilene orientatu biaxialmente). U prucessu di fabricazione implica l'incisione di plasma profonda nantu à un sustrato ibridu di silicone-BoPET, chì permette un mudellu di alta risoluzione è capacità di fabricazione di volumi. U specchiu di scanning prototipu pruduciutu utilizendu stu approcciu misura 5x5x5 mm^3, chì hè paragunabile à i specchi tipici di micro-scansione basati in siliciu. A dimensione di a piastra di specchiu hè 4x4 mm ^ 2, chì furnisce una apertura più grande per a guida di fasciu otticu o acusticu.

E frequenze di risonanza di l'assi veloci è lenti sò misurati per esse 420 Hz è 190 Hz, rispettivamente, quandu sò operati in l'aria. Tuttavia, quandu immerse in l'acqua, queste frequenze diminuite à 330 Hz è 160 Hz, rispettivamente. L'anguli d'inclinazione di u specchiu riflettente varianu cù i currenti di guida, chì mostra una relazione lineale cù l'anguli di inclinazione finu à ± 3,5 ° intornu à l'assi veloci è lenti. Cunducendu simultaneamente i dui assi, mudelli di scansione raster stabile è ripetibile ponu esse ottenuti in ambienti di l'aria è l'acqua.

I specchi di scansione à immersione d'acqua micromachined anu un immensu potenziale per una larga gamma di applicazioni di microscopia ottica è acustica di scansione, sia in ambienti di l'aria sia di liquidi. Stu novu prucessu di fabricazione è u disignu offrenu suluzioni efficaci è affidabili, aprendu a strada per l'avanzamenti in e tecnulugia di imaging.

Di sicuru, quì hè un esempiu FAQ per u "Micromachined Immersion Scanning Mirror Using BoPET Hinges":
1. Cosa hè un specchiu di scanning d'immersione micromachined?
Un specchiu di scanning d'immersione micromachined hè un picculu dispositivu utilizatu per dirige è scanning a luce in diverse applicazioni cum'è scanning laser, imaging medicale è tecnulugia di visualizazione.

2. Chì sò e cerniere BoPET?
I cerniere BoPET (tereftalate di polietilene orientatu biaxialmente) sò materiali di cerniere flessibili, forti è ligeri chì sò comunmente usati in applicazioni di micromachining per via di e so eccellenti proprietà meccaniche.

3. Chì sò i vantaghji di utilizà e cerniere BoPET in un specchiu di scanning?
I cerniere BoPET offrenu una flessibilità superiore, una durabilità è una fabricazione à pocu costu, facendu ideali per l'usu in specchi di scansione micromachined per diverse applicazioni.

4. Cumu funziona u specchiu di scansione d'immersione micromachined ?
U specchiu di scansione à immersione micromachined usa e cerniere BoPET per creà un mecanismu di scanning flexible è precisu chì dirige in modu efficiente è scansa a luce in modu cuntrullatu.

5. Chì sò l'applicazioni putenziali di un specchiu di scanning d'immersione micromachined?
U specchiu di scansione d'immersione micromachined hà una larga gamma di applicazioni potenziali cumprese scanning laser, imaging endoscopic, tomografia di coerenza ottica è display di realtà aumentata.