שוין, זינט 1993
די נוצן פון וואַסער טבילה סקאַנינג מירערז אין אַלטראַסאַונד און פאָטאָאַקאָוסטיק מיקראָסקאָפּי איז פּראָווען צו זיין וווילטויק פֿאַר סקאַנינג פאָוקיסט בימז און אַלטראַסאַונד בימז. צו פאַרבעסערן די פאַבריקיישאַן פּראָצעס, אַ נייַע אופֿן איז דעוועלאָפּעד וואָס אַלאַוז מיניאַטוריזאַטיאָן און מאַסע פּראָדוקציע פון די מירערז. א 3 ד מולטיפיסיקס ענדלעך עלעמענט מאָדעל איז אויך באשאפן צו אַקיעראַטלי סימולירן די עלעקטראָמעטשאַניקאַל נאַטור פון די מירערז, ביידע סטאַטיקלי און דינאַמיקאַללי. עקספּערימענטאַל טעסץ און קעראַקטעריסטיקס האָבן הצלחה וועראַפייד די סקאַנינג פאָרשטעלונג פון די וואַסער טבילה סקאַנינג מירערז.
אין דעם לערנען, אַ מיקראָמאַטשינעד צוויי-אַקס וואַסער טבילה סקאַנינג שפּיגל ניצן באָפּעט (ביאַקסיאַל אָריענטיד פּאַליעטאַלין טערעפטהאַלאַטע) הינגע איז באַקענענ. דער פאַבריקיישאַן פּראָצעס ינוואַלווז טיף פּלאַזמע עטשינג אויף אַ כייבריד סיליציום-BoPET סאַבסטרייט, וואָס אַלאַוז הויך-האַכלאָטע מוסטערונג און באַנד מאַנופאַקטורינג פיייקייט. דער פּראָוטאַטייפּ סקאַנינג שפּיגל געשאפן מיט דעם צוגאַנג מיטלען 5 קס 5 קס 5 מם ^ 3, וואָס איז פאַרגלייַכלעך צו טיפּיש סיליציום-באזירט מיקראָ-סקאַן מירערז. דער שפּיגל טעלער גרייס איז 4x4 מם ^ 2, פּראַוויידינג אַ גרעסערע עפענונג פֿאַר אָפּטיש אָדער אַקוסטיש שטראַל סטירינג.
רעזאַנאַנס פריקוואַנסיז פון די שנעל און פּאַמעלעך אַקסעס זענען געמאסטן צו זיין 420 הז און 190 הז ריספּעקטיוולי ווען אַפּערייטאַד אין לופט. אָבער, ווען געטובלט אין וואַסער, די פריקוואַנסיז פאַרמינערן צו 330 הז און 160 הז ריספּעקטיוולי. די טילט אַנגלעס פון די ריפלעקטינג שפּיגל בייַטן מיט פאָר קעראַנץ, ווייַזונג אַ לינעאַר שייכות מיט טילט אַנגלעס אַרויף צו ± 3.5 ° אַרום די שנעל און פּאַמעלעך אַקסעס. דורך סיימאַלטייניאַסלי דרייווינג ביידע אַקסעס, סטאַביל און ריפּיטאַבאַל ראַסטער יבערקוקן פּאַטערנז קענען זיין אַטשיווד אין ביידע לופט און וואַסער ינווייראַנמאַנץ.
די מיקראָמאַטשינעד וואַסער טבילה סקאַנינג מירערז האָבן גוואַלדיק פּאָטענציעל פֿאַר אַ ברייט קייט פון סקאַנינג אָפּטיש און אַקוסטיש מיקראָסקאָפּי אַפּלאַקיישאַנז, ביידע אין לופט און פליסיק ינווייראַנמאַנץ. דער נייַע פאַבריקיישאַן פּראָצעס און פּלאַן פאָרשלאָגן עפעקטיוו און פאַרלאָזלעך סאַלושאַנז, פּייווינג דעם וועג פֿאַר אַדוואַנטידזשיז אין ימאַגינג טעקנאַלאַדזשיז.
זיכער, דאָ איז אַ מוסטער FAQ פֿאַר די "מיקראָמאַטשינעד טבילה סקאַנינג שפּיגל ניצן באָפּעט כינדזשיז":
1. וואָס איז אַ מיקראָמאַשינד טבילה סקאַנינג שפּיגל?
א מיקראָמאַשינד טבילה סקאַנינג שפּיגל איז אַ קליין מיטל געניצט פֿאַר דירעקטינג און סקאַנינג ליכט אין פאַרשידן אַפּלאַקיישאַנז אַזאַ ווי לאַזער סקאַנינג, מעדיציניש ימידזשינג און אַרויסווייַזן טעקנאַלאַדזשיז.
2. וואָס זענען BoPET כינדזשיז?
באָפּעט (ביאַקסאַלי-אָריענטיד פּאַליעטאַלין טערעפטהאַלאַטע) כינדזשיז זענען פלעקסאַבאַל, שטאַרק און לייטווייט הינגע מאַטעריאַלס וואָס זענען קאַמאַנלי געניצט אין מיקראָמאַשינינג אַפּלאַקיישאַנז רעכט צו זייער ויסגעצייכנט מעטשאַניקאַל פּראָפּערטיעס.
3. וואָס זענען די אַדוואַנטידזשיז פון ניצן BoPET כינדזשיז אין אַ סקאַנינג שפּיגל?
BoPET כינדזשיז פאָרשלאָגן העכער בייגיקייַט, געווער און נידעריק-פּרייַז מאַנופאַקטורינג, וואָס מאכט זיי ידעאַל פֿאַר נוצן אין מיקראָמאַטשינעד סקאַנינג מירערז פֿאַר פאַרשידן אַפּלאַקיישאַנז.
4. ווי טוט די מיקראָמאַטשינעד טבילה סקאַנינג שפּיגל אַרבעט?
די מיקראָמאַטשינע טבילה סקאַנינג שפּיגל ניצט די BoPET כינדזשיז צו שאַפֿן אַ פלעקסאַבאַל און גענוי סקאַנינג מעקאַניזאַם אַז יפישאַנטלי דירעקטעד און סקאַנז ליכט אין אַ קאַנטראָולד שטייגער.
5. וואָס זענען די פּאָטענציעל אַפּלאַקיישאַנז פון אַ מיקראָמאַשינד טבילה סקאַנינג שפּיגל?
די מיקראָמאַטשינע טבילה סקאַנינג שפּיגל האט אַ ברייט קייט פון פּאָטענציעל אַפּלאַקיישאַנז, אַרייַנגערעכנט לאַזער סקאַנינג, ענדאָסקאָפּיק ימידזשינג, אָפּטיש קאָוכיראַנס טאָמאָגראַפי און אַגרעסד פאַקט דיספּלייז.