Aosit, síðan 1993
Notkun skönnunarspegla í vatni í ómskoðun og ljóssmásjá hefur reynst gagnleg til að skanna fókusgeisla og ómgeisla. Til að efla framleiðsluferlið enn frekar hefur ný aðferð verið þróuð sem gerir ráð fyrir smæðingu og fjöldaframleiðslu þessara spegla. Einnig hefur verið búið til þrívíddar fjöleðlisfræði endanlegt frumefnislíkan til að líkja nákvæmlega eftir rafvélrænni hegðun speglana, bæði kyrrstætt og kraftmikið. Tilraunaprófanir og persónulýsingar hafa með góðum árangri sannreynt skannaframmistöðu skönnunarspegla í vatni.
Í þessari rannsókn hefur örvélaður tveggja ása vatnsdýfingarspegill sem notar BoPET (tvíása stillt pólýetýlen tereftalat) löm verið kynntur. Framleiðsluferlið felur í sér djúpa plasmaætingu á blendings sílikon-BoPET hvarfefni, sem gerir háupplausnarmynstur og rúmmálsframleiðslumöguleika kleift. Frumgerð skannaspegilsins sem framleidd er með þessari aðferð mælist 5x5x5 mm^3, sem er sambærilegt við dæmigerða kísil-undirstaða örskönnunarspegla. Stærð spegilplötunnar er 4x4 mm^2, sem gefur stærra ljósop fyrir sjón- eða hljóðgeislastýringu.
Ómun tíðni hröðu og hægu ásanna er mæld 420 Hz og 190 Hz, í sömu röð, þegar þær eru notaðar í lofti. Hins vegar, þegar þær eru sökktar í vatni, lækkar þessar tíðnir í 330 Hz og 160 Hz, í sömu röð. Hallahorn spegilsins eru breytileg eftir drifstraumum, sem sýnir línulegt samband við hallahorn allt að ±3,5° um hraða og hæga ásinn. Með því að keyra báða ása samtímis er hægt að ná stöðugu og endurteknu rasterskannamynstri í bæði lofti og vatni.
Örvéluðu vatnsdýfingarskönnunarspeglarnir hafa gríðarlega möguleika fyrir margs konar skönnun ljós- og hljóðsmásjár, bæði í lofti og vökvaumhverfi. Þetta nýja framleiðsluferli og hönnun bjóða upp á skilvirkar og áreiðanlegar lausnir, sem ryður brautina fyrir framfarir í myndtækni.
Jú, hér er sýnishorn af algengum spurningum fyrir „Micromachined Immersion Scanning Mirror Using BoPET Hinges“:
1. Hvað er örvélaður dýfingarskannaspegill?
Örvélaður dýfingarskönnunarspegill er lítið tæki sem notað er til að beina og skanna ljós í ýmsum forritum eins og leysiskönnun, læknisfræðilegum myndgreiningum og skjátækni.
2. Hvað eru BoPET lamir?
BoPET (Biaxially-oriented polyethylene terephthalate) lamir eru sveigjanleg, sterk og létt löm efni sem eru almennt notuð í örvinnsluforritum vegna framúrskarandi vélrænni eiginleika þeirra.
3. Hverjir eru kostir þess að nota BoPET lamir í skönnunarspegli?
BoPET lamir bjóða upp á yfirburða sveigjanleika, endingu og framleiðslu á litlum tilkostnaði, sem gerir þær tilvalnar til notkunar í örvélaða skönnunarspegla fyrir ýmis forrit.
4. Hvernig virkar örvélaður dýfingarskönnunarspegillinn?
Örvélaður dýfingarskönnunarspegillinn notar BoPET lamir til að búa til sveigjanlegan og nákvæman skönnunarbúnað sem beinir og skannar ljós á skilvirkan hátt á stjórnaðan hátt.
5. Hver eru möguleg notkunarmöguleikar örvélaðs dýfingarskönnunarspegils?
Örvélaður dýfingarskönnunarspegillinn hefur fjölbreytt úrval mögulegra nota, þar á meðal leysiskönnun, endoscopic myndgreiningu, sjónsamhengissneiðmynd og aukinn raunveruleikaskjái.