అయోసైట్, నుండి 1993
అల్ట్రాసౌండ్ మరియు ఫోటోఅకౌస్టిక్ మైక్రోస్కోపీలో నీటి ఇమ్మర్షన్ స్కానింగ్ మిర్రర్ల వినియోగం ఫోకస్డ్ కిరణాలు మరియు అల్ట్రాసౌండ్ కిరణాలను స్కాన్ చేయడానికి ప్రయోజనకరంగా ఉంటుందని నిరూపించబడింది. కల్పన ప్రక్రియను మరింత మెరుగుపరచడానికి, ఈ అద్దాల సూక్ష్మీకరణ మరియు భారీ ఉత్పత్తిని అనుమతించే ఒక కొత్త పద్ధతి అభివృద్ధి చేయబడింది. అద్దాల యొక్క ఎలక్ట్రోమెకానికల్ ప్రవర్తనను స్థిరంగా మరియు డైనమిక్గా ఖచ్చితంగా అనుకరించడానికి 3D మల్టీఫిజిక్స్ పరిమిత మూలకం నమూనా కూడా సృష్టించబడింది. ప్రయోగాత్మక పరీక్షలు మరియు క్యారెక్టరైజేషన్లు నీటి ఇమ్మర్షన్ స్కానింగ్ మిర్రర్ల స్కానింగ్ పనితీరును విజయవంతంగా ధృవీకరించాయి.
ఈ అధ్యయనంలో, BoPET (బైయాక్సియల్లీ ఓరియెంటెడ్ పాలిథిలిన్ టెరెఫ్తాలేట్) హింజ్ని ఉపయోగించి మైక్రోమచిన్డ్ టూ-యాక్సిస్ వాటర్ ఇమ్మర్షన్ స్కానింగ్ మిర్రర్ పరిచయం చేయబడింది. ఫాబ్రికేషన్ ప్రక్రియలో హైబ్రిడ్ సిలికాన్-బోపెట్ సబ్స్ట్రేట్పై లోతైన ప్లాస్మా ఎచింగ్ ఉంటుంది, ఇది అధిక-రిజల్యూషన్ నమూనా మరియు వాల్యూమ్ తయారీ సామర్థ్యాన్ని అనుమతిస్తుంది. ఈ విధానాన్ని ఉపయోగించి ఉత్పత్తి చేయబడిన ప్రోటోటైప్ స్కానింగ్ మిర్రర్ 5x5x5 mm^3ని కొలుస్తుంది, ఇది సాధారణ సిలికాన్ ఆధారిత మైక్రో-స్కానింగ్ మిర్రర్లతో పోల్చవచ్చు. మిర్రర్ ప్లేట్ పరిమాణం 4x4 mm^2, ఆప్టికల్ లేదా అకౌస్టిక్ బీమ్ స్టీరింగ్ కోసం పెద్ద ఎపర్చరును అందిస్తుంది.
వేగవంతమైన మరియు నిదానమైన అక్షాల ప్రతిధ్వని పౌనఃపున్యాలు గాలిలో పనిచేసేటప్పుడు వరుసగా 420 Hz మరియు 190 Hzగా కొలుస్తారు. అయితే, నీటిలో మునిగినప్పుడు, ఈ ఫ్రీక్వెన్సీలు వరుసగా 330 Hz మరియు 160 Hzలకు తగ్గుతాయి. ప్రతిబింబించే అద్దం యొక్క వంపు కోణాలు డ్రైవ్ కరెంట్లతో మారుతూ ఉంటాయి, వేగవంతమైన మరియు నెమ్మదిగా ఉండే అక్షాల చుట్టూ ±3.5° వరకు వంపు కోణాలతో సరళ సంబంధాన్ని చూపుతాయి. రెండు అక్షాలను ఏకకాలంలో నడపడం ద్వారా, గాలి మరియు నీటి పరిసరాలలో స్థిరమైన మరియు పునరావృతమయ్యే రాస్టర్ స్కాన్ నమూనాలను సాధించవచ్చు.
మైక్రోమచిన్డ్ వాటర్ ఇమ్మర్షన్ స్కానింగ్ మిర్రర్లు గాలి మరియు ద్రవ పరిసరాలలో విస్తృత శ్రేణి స్కానింగ్ ఆప్టికల్ మరియు ఎకౌస్టిక్ మైక్రోస్కోపీ అప్లికేషన్ల కోసం అపారమైన సామర్థ్యాన్ని కలిగి ఉంటాయి. ఈ కొత్త ఫ్యాబ్రికేషన్ ప్రక్రియ మరియు డిజైన్ సమర్థవంతమైన మరియు నమ్మదగిన పరిష్కారాలను అందిస్తాయి, ఇమేజింగ్ టెక్నాలజీలలో పురోగతికి మార్గం సుగమం చేస్తుంది.
ఖచ్చితంగా, "BoPET హింగ్లను ఉపయోగించి మైక్రోమచిన్డ్ ఇమ్మర్షన్ స్కానింగ్ మిర్రర్" కోసం ఇక్కడ ఒక నమూనా FAQ ఉంది:
1. మైక్రోమచిన్డ్ ఇమ్మర్షన్ స్కానింగ్ మిర్రర్ అంటే ఏమిటి?
మైక్రోమచిన్డ్ ఇమ్మర్షన్ స్కానింగ్ మిర్రర్ అనేది లేజర్ స్కానింగ్, మెడికల్ ఇమేజింగ్ మరియు డిస్ప్లే టెక్నాలజీల వంటి వివిధ అప్లికేషన్లలో కాంతిని డైరెక్ట్ చేయడానికి మరియు స్కాన్ చేయడానికి ఉపయోగించే ఒక చిన్న పరికరం.
2. BoPET కీలు అంటే ఏమిటి?
BoPET (Biaxially-oriented polyethylene terephthalate) కీలు అనువైనవి, బలమైనవి మరియు తేలికైన కీలు పదార్థాలు, ఇవి సాధారణంగా వాటి అద్భుతమైన యాంత్రిక లక్షణాల కారణంగా మైక్రోమ్యాచింగ్ అప్లికేషన్లలో ఉపయోగించబడతాయి.
3. స్కానింగ్ మిర్రర్లో బోపెట్ హింగ్లను ఉపయోగించడం వల్ల కలిగే ప్రయోజనాలు ఏమిటి?
BoPET అతుకులు ఉన్నతమైన సౌలభ్యం, మన్నిక మరియు తక్కువ-ధర తయారీని అందిస్తాయి, వాటిని వివిధ అప్లికేషన్ల కోసం మైక్రోమెషిన్డ్ స్కానింగ్ మిర్రర్లలో ఉపయోగించడానికి అనువైనవిగా చేస్తాయి.
4. మైక్రోమచిన్డ్ ఇమ్మర్షన్ స్కానింగ్ మిర్రర్ ఎలా పని చేస్తుంది?
మైక్రోమచిన్డ్ ఇమ్మర్షన్ స్కానింగ్ మిర్రర్ BoPET అతుకులను ఉపయోగించి ఒక సౌకర్యవంతమైన మరియు ఖచ్చితమైన స్కానింగ్ మెకానిజంను రూపొందించడం ద్వారా కాంతిని నియంత్రిత పద్ధతిలో సమర్థవంతంగా నిర్దేశిస్తుంది మరియు స్కాన్ చేస్తుంది.
5. మైక్రోమచిన్డ్ ఇమ్మర్షన్ స్కానింగ్ మిర్రర్ యొక్క సంభావ్య అప్లికేషన్లు ఏమిటి?
మైక్రోమచిన్డ్ ఇమ్మర్షన్ స్కానింగ్ మిర్రర్లో లేజర్ స్కానింగ్, ఎండోస్కోపిక్ ఇమేజింగ్, ఆప్టికల్ కోహెరెన్స్ టోమోగ్రఫీ మరియు ఆగ్మెంటెడ్ రియాలిటీ డిస్ప్లేలు వంటి అనేక రకాల సంభావ్య అప్లికేషన్లు ఉన్నాయి.