Mikrostrojno uronjeno zrcalo za skeniranje s BoPET šarkama

Primjena zrcala za skeniranje uronjenom u vodu u ultrazvučnoj i fotoakustičnoj mikroskopiji pokazala se korisnom za skeniranje fokusiranih zraka i ultrazvučnih zraka. Kako bi se dodatno poboljšao proces izrade, razvijena je nova metoda koja omogućuje minijaturizaciju i masovnu proizvodnju ovih ogledala. Također je stvoren 3D multifizički model konačnih elemenata za točnu simulaciju elektromehaničkog ponašanja zrcala, statički i dinamički. Eksperimentalni testovi i karakterizacije uspješno su potvrdili performanse skeniranja zrcala za skeniranje uronjenim u vodu.

U ovoj studiji predstavljeno je mikrostrojno dvoosno zrcalo za skeniranje uronjeno u vodu koje koristi BoPET (biaksijalno orijentirani polietilen tereftalat) zglob. Proces izrade uključuje duboko plazma jetkanje na hibridnoj podlozi od silicija i BoPET-a, što omogućuje izradu uzoraka visoke razlučivosti i mogućnost masovne proizvodnje. Prototip zrcala za skeniranje proizveden ovim pristupom mjeri 5x5x5 mm^3, što je usporedivo s tipičnim zrcalima za mikro skeniranje na bazi silicija. Veličina zrcalne ploče je 4x4 mm^2, pružajući veći otvor za optičko ili akustično upravljanje snopom.

Rezonantne frekvencije brze i spore osi izmjerene su na 420 Hz, odnosno 190 Hz, kada se radi u zraku. Međutim, kada se uroni u vodu, te se frekvencije smanjuju na 330 Hz odnosno 160 Hz. Kutovi nagiba reflektirajućeg zrcala variraju s pogonskim strujama, pokazujući linearni odnos s kutovima nagiba do ±3,5° oko brze i spore osi. Istodobnim pokretanjem obje osi mogu se postići stabilni i ponovljivi uzorci rasterskog skeniranja u zračnom i vodenom okruženju.

Mikrostrojno obrađena zrcala za skeniranje uronjena u vodu imaju ogroman potencijal za širok raspon primjena skenirajuće optičke i akustične mikroskopije, kako u zračnom tako iu tekućem okruženju. Ovaj novi proces izrade i dizajn nude učinkovita i pouzdana rješenja, utirući put napretku u tehnologijama snimanja.

Naravno, ovdje je primjer često postavljanih pitanja za "Mikrostrojno imerzijsko zrcalo za skeniranje s BoPET šarkama":
1. Što je mikrostrojno imerzijsko zrcalo za skeniranje?
Mikrostrojno imerzijsko zrcalo za skeniranje mali je uređaj koji se koristi za usmjeravanje i skeniranje svjetla u raznim primjenama kao što su lasersko skeniranje, medicinsko snimanje i tehnologije prikaza.

2. Što su BoPET šarke?
BoPET (dvoosno orijentirani polietilen tereftalat) šarke su fleksibilni, čvrsti i lagani materijali za šarke koji se obično koriste u primjenama mikrostrojne obrade zbog svojih izvrsnih mehaničkih svojstava.

3. Koje su prednosti korištenja BoPET šarki u zrcalu za skeniranje?
BoPET šarke nude vrhunsku fleksibilnost, izdržljivost i jeftinu proizvodnju, što ih čini idealnim za upotrebu u zrcalima za mikrostrojno skeniranje za različite primjene.

4. Kako radi mikrostrojno imerzijsko zrcalo za skeniranje?
Mikrostrojno imerzijsko zrcalo za skeniranje koristi BoPET šarke za stvaranje fleksibilnog i preciznog mehanizma za skeniranje koji učinkovito usmjerava i skenira svjetlost na kontrolirani način.

5. Koje su potencijalne primjene mikrostrojno obrađenog zrcala za uranjanje?
Mikrostrojno imerzijsko zrcalo za skeniranje ima širok raspon potencijalnih primjena uključujući lasersko skeniranje, endoskopsko snimanje, optičku koherentnu tomografiju i prikaze proširene stvarnosti.