Aosite, ນັບຕັ້ງແຕ່ 1993
ການນໍາໃຊ້ແກ້ວການສະແກນການແຊ່ນ້ໍາໃນ ultrasound ແລະກ້ອງຈຸລະທັດ photoacoustic ໄດ້ພິສູດວ່າເປັນປະໂຫຍດສໍາລັບການສະແກນ beams ສຸມໃສ່ແລະ beams ultrasound. ເພື່ອເສີມຂະຫຍາຍຂະບວນການ fabrication ຕື່ມອີກ, ວິທີການໃຫມ່ໄດ້ຖືກພັດທະນາທີ່ອະນຸຍາດໃຫ້ມີຂະຫນາດນ້ອຍແລະການຜະລິດຈໍານວນຫລາຍຂອງກະຈົກເຫຼົ່ານີ້. ຮູບແບບອົງປະກອບ 3D multiphysics finite ຍັງໄດ້ຖືກສ້າງຂຶ້ນເພື່ອຈໍາລອງພຶດຕິກໍາກົນຈັກໄຟຟ້າຂອງກະຈົກໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງ, ທັງແບບຄົງທີ່ແລະແບບເຄື່ອນໄຫວ. ການທົດສອບການທົດລອງແລະລັກສະນະໄດ້ສົບຜົນສໍາເລັດການກວດສອບປະສິດທິພາບການສະແກນຂອງກະຈົກ scan immersion ນ້ໍາ.
ໃນການສຶກສານີ້, ເຄື່ອງຈັກສະແກນການຈຸ່ມນ້ໍາສອງແກນ micromachined ໂດຍໃຊ້ BoPET (biaxially oriented polyethylene terephthalate) Hinge ໄດ້ຖືກນໍາສະເຫນີ. ຂະບວນການຜະລິດປະກອບດ້ວຍການແກະສະຫຼັກໃນ plasma ເລິກໃສ່ແຜ່ນຮອງຊິລິຄອນ-BoPET ປະສົມ, ເຮັດໃຫ້ຮູບແບບທີ່ມີຄວາມລະອຽດສູງ ແລະຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດປະລິມານ. ກະຈົກສະແກນຕົ້ນແບບທີ່ຜະລິດໂດຍໃຊ້ວິທີນີ້ວັດແທກຂະໜາດ 5x5x5 mm^3, ເຊິ່ງທຽບໄດ້ກັບກະຈົກສະແກນຈຸລະພາກທີ່ໃຊ້ຊິລິຄອນ. ຂະໜາດຂອງແຜ່ນກະຈົກແມ່ນ 4x4 ມມ^2, ສະໜອງຮູຮັບແສງທີ່ໃຫຍ່ກວ່າສຳລັບການຊີ້ນໍາແບບ optical ຫຼື acoustic beam.
ຄວາມຖີ່ resonance ຂອງແກນໄວແລະຊ້າແມ່ນວັດແທກເປັນ 420 Hz ແລະ 190 Hz, ຕາມລໍາດັບ, ເມື່ອດໍາເນີນການຢູ່ໃນອາກາດ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ໃນເວລາທີ່ immersed ໃນນ້ໍາ, ຄວາມຖີ່ເຫຼົ່ານີ້ຫຼຸດລົງເປັນ 330 Hz ແລະ 160 Hz, ຕາມລໍາດັບ. ມຸມອຽງຂອງກະຈົກສະທ້ອນແສງແຕກຕ່າງກັນກັບກະແສຂັບ, ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມສໍາພັນເສັ້ນຊື່ກັບມຸມອຽງເຖິງ ±3.5° ຮອບແກນໄວ ແລະຊ້າ. ໂດຍການຂັບລົດທັງສອງແກນພ້ອມໆກັນ, ຮູບແບບການສະແກນ raster ທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຊ້ໍາກັນສາມາດບັນລຸໄດ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທັງທາງອາກາດແລະນ້ໍາ.
ກະຈົກສະແກນນ້ໍາ micromachined ມີທ່າແຮງອັນໃຫຍ່ຫຼວງສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກກ້ອງຈຸລະທັດທາງ optical ແລະ acoustic ທີ່ກວ້າງຂວາງ, ທັງໃນສະພາບແວດລ້ອມທາງອາກາດແລະຂອງແຫຼວ. ຂະບວນການຜະລິດແລະການອອກແບບໃຫມ່ນີ້ສະເຫນີການແກ້ໄຂທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະເຊື່ອຖືໄດ້, ປູທາງໄປສູ່ຄວາມກ້າວຫນ້າໃນເຕັກໂນໂລຢີການຖ່າຍຮູບ.
ແນ່ນອນ, ນີ້ແມ່ນຕົວຢ່າງ FAQ ສໍາລັບ "Micromachined Immersion Scanning Mirror ໂດຍໃຊ້ BoPET Hinges":
1. ແວ່ນການສະແກນການຈຸ່ມຕົວແບບ micromachined ແມ່ນຫຍັງ?
ກະຈົກສະແກນ micromachined immersion ເປັນອຸປະກອນຂະຫນາດນ້ອຍທີ່ໃຊ້ສໍາລັບການຊີ້ນໍາແລະສະແກນແສງສະຫວ່າງໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການສະແກນເລເຊີ, ຮູບພາບທາງການແພດ, ແລະເຕັກໂນໂລຊີການສະແດງ.
2. BoPET hinges ແມ່ນຫຍັງ?
BoPET (Biaxially-oriented polyethylene terephthalate) hinges ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ, ແຂງແຮງ, ແລະວັດສະດຸ hinge ້ໍາຫນັກເບົາທີ່ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນການນໍາໃຊ້ micromachining ເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ດີເລີດຂອງເຂົາເຈົ້າ.
3. ຂໍ້ດີຂອງການໃຊ້ BoPET hinges ໃນກະຈົກສະແກນແມ່ນຫຍັງ?
BoPET hinges ສະເຫນີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນທີ່ເຫນືອກວ່າ, ທົນທານ, ແລະການຜະລິດລາຄາຖືກ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນກະຈົກສະແກນ micromachined ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕ່າງໆ.
4. ກະຈົກສະແກນ micromachined immersion ເຮັດວຽກແນວໃດ?
ກະຈົກການສະແກນ micromachined immersion ໃຊ້ hinges BoPET ເພື່ອສ້າງກົນໄກການສະແກນທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນແລະຊັດເຈນທີ່ນໍາພາແລະສະແກນແສງສະຫວ່າງຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.
5. ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີທ່າແຮງຂອງກະຈົກສະແກນ micromachined immersion ມີຫຍັງແດ່?
ກະຈົກສະແກນ micromachined immersion ມີລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີທ່າແຮງລວມທັງການສະແກນເລເຊີ, ການຖ່າຍຮູບ endoscopic, tomography optical coherence, ແລະການສະແດງຄວາມເປັນຈິງເພີ່ມຂຶ້ນ.