Mikrotöötlusega sukeldusskaneerimispeegel BoPET hingedega

Vesikümblusskaneerimispeeglite kasutamine ultraheli- ja fotoakustilises mikroskoopias on osutunud kasulikuks fokuseeritud kiirte ja ultrahelikiirte skaneerimiseks. Valmistamisprotsessi edasiseks täiustamiseks on välja töötatud uus meetod, mis võimaldab nende peeglite miniaturiseerimist ja masstootmist. Samuti on loodud 3D multifüüsikaline lõplike elementide mudel, mis võimaldab täpselt simuleerida peeglite elektromehaanilist käitumist nii staatiliselt kui dünaamiliselt. Eksperimentaalsed testid ja iseloomustused on edukalt kontrollinud veekeelega skaneerimispeeglite skaneerimisvõimet.

Selles uuringus on kasutusele võetud mikromehaaniliselt töödeldud kaheteljeline veekümblus-skaneerimispeegel, kasutades BoPET (biaksiaalselt orienteeritud polüetüleentereftalaat) hinge. Tootmisprotsess hõlmab sügavat plasmasöövitamist räni-BoPET hübriidsubstraadil, mis võimaldab kõrge eraldusvõimega mustrite ja mahutootmise võimalust. Selle lähenemisviisi abil toodetud skaneerimispeegli prototüübi mõõtmed on 5x5x5 mm^3, mis on võrreldav tüüpiliste ränipõhiste mikroskaneerimispeeglitega. Peegliplaadi suurus on 4x4 mm^2, mis tagab optilise või akustilise valgusvihu juhtimiseks suurema ava.

Kiire ja aeglase telje resonantssagedused on õhus töötamisel vastavalt 420 Hz ja 190 Hz. Vette sukeldades aga vähenevad need sagedused vastavalt 330 Hz ja 160 Hz. Peegeldava peegli kaldenurgad varieeruvad sõltuvalt ajamivooludest, mis näitab lineaarset seost kaldenurkadega kuni ±3,5° ümber kiire ja aeglase telje. Mõlema telje samaaegsel juhtimisel on võimalik saavutada stabiilsed ja korratavad rasterskaneerimise mustrid nii õhu- kui ka veekeskkonnas.

Mikrotöötlusega veekümbluspeeglitel on tohutu potentsiaal paljude skaneerivate optiliste ja akustiliste mikroskoopiarakenduste jaoks nii õhu- kui ka vedelikukeskkonnas. See uus tootmisprotsess ja disain pakuvad tõhusaid ja usaldusväärseid lahendusi, sillutades teed pilditehnoloogiate arengule.

Muidugi, siin on näidis KKK "Mikrotöötlusega sukelduspeegli BoPET hingedega" kohta.:
1. Mis on mikrotöötlusega sukelskanniv peegel?
Mikrotöötlusega sukelskanniv peegel on väike seade, mida kasutatakse valguse suunamiseks ja skaneerimiseks erinevates rakendustes, nagu laserskaneerimine, meditsiiniline pildistamine ja kuvatehnoloogia.

2. Mis on BoPET hinged?
BoPET (biaksiaalselt orienteeritud polüetüleentereftalaat) hinged on painduvad, tugevad ja kerged hingematerjalid, mida nende suurepäraste mehaaniliste omaduste tõttu kasutatakse tavaliselt mikrotöötlusrakendustes.

3. Millised on BoPET-hingede kasutamise eelised skaneerimispeeglis?
BoPET-hinged pakuvad suurepärast paindlikkust, vastupidavust ja odavat tootmist, muutes need ideaalseks kasutamiseks mikrotöötlusega skaneerimispeeglites erinevate rakenduste jaoks.

4. Kuidas mikrotöötlusega sukelskanniv peegel töötab?
Mikrotöötlusega sukeldusskaneerimispeegel kasutab BoPET-hingesid, et luua paindlik ja täpne skaneerimismehhanism, mis suunab ja skannib tõhusalt valgust kontrollitud viisil.

5. Millised on mikromehaaniliselt töödeldud keelekümbluspeegli võimalikud rakendused?
Mikrotöötlusega sukeldusskaneerimispeeglil on lai valik potentsiaalseid rakendusi, sealhulgas laserskaneerimine, endoskoopiline pildistamine, optiline koherentsustomograafia ja liitreaalsuse kuvarid.