Espelho de digitalização de imersão microusinado usando dobradiças BoPET

A utilização de espelhos de varredura por imersão em água em ultrassom e microscopia fotoacústica provou ser benéfica para a varredura de feixes focados e feixes de ultrassom. Para aprimorar ainda mais o processo de fabricação, foi desenvolvido um novo método que permite a miniaturização e a produção em massa desses espelhos. Um modelo 3D multifísico de elementos finitos também foi criado para simular com precisão o comportamento eletromecânico dos espelhos, tanto estaticamente quanto dinamicamente. Testes experimentais e caracterizações verificaram com sucesso o desempenho de varredura dos espelhos de varredura de imersão em água.

Neste estudo, foi introduzido um espelho de varredura de imersão em água de dois eixos microusinado usando dobradiça BoPET (tereftalato de polietileno orientado biaxialmente). O processo de fabricação envolve gravação de plasma profundo em um substrato híbrido de silício-BoPET, permitindo padronização de alta resolução e capacidade de fabricação em volume. O protótipo de espelho de varredura produzido usando esta abordagem mede 5x5x5 mm ^ 3, o que é comparável aos típicos espelhos de microvarredura baseados em silício. O tamanho da placa do espelho é 4x4 mm^2, proporcionando uma abertura maior para direcionamento de feixe óptico ou acústico.

As frequências de ressonância dos eixos rápido e lento são medidas em 420 Hz e 190 Hz, respectivamente, quando operados no ar. Porém, quando imerso em água, essas frequências diminuem para 330 Hz e 160 Hz, respectivamente. Os ângulos de inclinação do espelho refletor variam com as correntes de acionamento, mostrando uma relação linear com ângulos de inclinação de até ±3,5° em torno dos eixos rápido e lento. Ao acionar simultaneamente ambos os eixos, padrões de varredura raster estáveis ​​e repetíveis podem ser alcançados em ambientes aéreos e aquáticos.

Os espelhos de varredura de imersão em água microusinados possuem imenso potencial para uma ampla gama de aplicações de microscopia óptica e acústica de varredura, tanto em ambientes de ar quanto de líquidos. Este novo processo de fabricação e design oferecem soluções eficientes e confiáveis, abrindo caminho para avanços nas tecnologias de imagem.

Claro, aqui está um exemplo de perguntas frequentes para o "Espelho de digitalização de imersão microusinado usando dobradiças BoPET":
1. O que é um espelho de varredura de imersão microusinado?
Um espelho de varredura de imersão microusinado é um pequeno dispositivo usado para direcionar e escanear a luz em diversas aplicações, como varredura a laser, imagens médicas e tecnologias de exibição.

2. O que são dobradiças BoPET?
As dobradiças BoPET (tereftalato de polietileno orientado biaxialmente) são materiais de dobradiça flexíveis, fortes e leves que são comumente usados ​​em aplicações de microusinagem devido às suas excelentes propriedades mecânicas.

3. Quais são as vantagens de usar dobradiças BoPET em um espelho de digitalização?
As dobradiças BoPET oferecem flexibilidade superior, durabilidade e fabricação de baixo custo, tornando-as ideais para uso em espelhos de varredura microusinados para diversas aplicações.

4. Como funciona o espelho de varredura de imersão microusinado?
O espelho de varredura de imersão microusinado usa as dobradiças BoPET para criar um mecanismo de varredura flexível e preciso que direciona e varre a luz de maneira eficiente e controlada.

5. Quais são as aplicações potenciais de um espelho de varredura de imersão microusinado?
O espelho de varredura de imersão microusinado tem uma ampla gama de aplicações potenciais, incluindo varredura a laser, imagem endoscópica, tomografia de coerência óptica e exibições de realidade aumentada.